一种气浮基台及喷墨打印装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种气浮基台及喷墨打印装置，涉及薄膜封装工艺技术领域，能够解决现有封装工艺过程中，悬浮于气浮基台并在气浮基台上的工艺基台和承接基台之间移动的待封装基板的平坦度较差的问题。气浮基台包括工艺基台；承接基台，设置在工艺基台的待封装基板移动方向的两侧，承接基台与工艺基台的水平高度相同且相互连接；其中，在工艺基台和承接基台的表面均布设置有送气管道和吸气管道。

【技术实现步骤摘要】
一种气浮基台及喷墨打印装置
本专利技术涉及薄膜封装工艺
，尤其涉及一种气浮基台及喷墨打印装置。
技术介绍
有机电致发光器件(OLED)具有超薄性、全固态、高发光亮度和效率、优异的色彩饱和度以及宽视角、快速响应、应用温度范围大(-40°～70°)等特点，在显示
具有广阔的应用前景。但是，空气中的水汽和氧气一旦进入有机电致发光器件内部，会与有机电致发光器件内部的金属电极和有机物材料发生一系列的反应并释放出气体，一方面，这样会影响电荷的注入；另一方面，这一系列反应释放出的气体会在有机电致发光器件内部形成气泡，导致有机电致发光器件性能的下降。这就需要对制作完成的有机电致发光器件进行封装，使有机电致发光器件与外界空气和水汽之间隔绝，以避免上述反应发生对有机电致发光器件的性能和寿命产生不利的影响。薄膜封装技术(TFE)作为一种显示器件的封装技术，与其他现有的封装技术相比，由于能够减轻显示器件的重量和厚度，大大降低成本，而且稳定性强，已经越来越广泛的在显示器件的封装工艺中应用。在显示器件的封装工艺过程中，为了防止待封装基板与承载基台之间摩擦产生并累积静电而在待封装基板上发生静电击穿等不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气浮基台，其特征在于，包括：工艺基台；承接基台，设置在所述工艺基台的待封装基板移动方向的两侧，所述承接基台与所述工艺基台的水平高度相同且相互连接；其中，在所述工艺基台和所述承接基台的表面均布设置有送气管道和吸气管道。

【技术特征摘要】
1.一种气浮基台，其特征在于，包括：工艺基台；承接基台，设置在所述工艺基台的待封装基板移动方向的两侧，所述承接基台与所述工艺基台的水平高度相同且相互连接；其中，在所述工艺基台和所述承接基台的表面均布设置有送气管道和吸气管道。2.根据权利要求1所述的气浮基台，其特征在于，所述工艺基台与所述承接基台为一体结构。3.根据权利要求1或2所述的气浮基台，其特征在于，还包括设置在所述气浮基台上垂直于所述待封装基板移动方向的一侧的基板抓持部件，所述基板抓持部件通过抓持所述待封装基板的一侧边以对所述待封装基板的水平位置进行固定，并能够带动所述待封装基板在所述气浮基台上沿所述待封装基板移动方向移动。4.根据权利要求3所述的气浮基台，其特征在于，所述基板抓持部件包括抓持平面，在所述抓持平面上设置有真空孔，所述真空孔的吸附作用将所述待封装基板的一侧边吸附固定在所述抓持平...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杨扬，肖昂，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11