一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法制造方法及图纸

一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，通过电化学反应使金属丝一端形成尖锐的针尖；阻止已形成的针尖继续被腐蚀；使金属丝其他部分形成特殊几何形貌的轮廓；其制备装置包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置，在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置，两个支撑立柱的上部固定有安装基板，在安装基板上装有金属丝定位装置；还配备有电解电源和控制装置。实现了精确地控制用于制备探针的金属丝的位移；对电化学反应状态和终点进行准确的探测与控制。具有低成本、高精度地批量制作各类具有特殊形貌轮廓的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法
本专利技术涉及一种特种扫描探针制作方法及实施该方法的装置，主要用于加工具有特殊形貌的扫描探针，可用于扫描探针显微镜、原子力显微镜、扫描隧道显微镜及其它基于针尖扫描拓展型的超分辨成像系统、近场成像与光谱系统、共焦光学显微机构、微机电集成测量与传感等领域。
技术介绍
在扫描探针显微镜、原子力显微镜、扫描隧道显微镜及其它基于针尖扫描拓展型的超分辨成像系统、近场成像与光谱系统、共焦光学显微机构、微机电集成测量与传感等领域中，扫描探针是核心部件。常用于制备扫描探针的材料有钨丝、金丝、银丝、铂铱合金、金刚石、硅、碳纳米管等，其中钨丝的强度、刚性、导电性和导热性较好。制备钨丝探针的方法有化学或电化学的腐蚀法、研磨法、抛光法、机械剪切法、光蚀刻法、电子束沉积法、离子铣削法、蚀刻沉积法等。对于一些特种测量，采用锥形探针所取得的探测结果和精度不理想。若把探针形状进行特殊的设计，如具有葫芦状轮廓而不是传统的圆锥形或棱锥形轮廓，可在探测中取得更高精度、更大范围的测量结果。现有采用电化学腐蚀法制作探针的方法和设备可控变量少，难以精确控制金属丝与电解质溶液的相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，适用于可控制备具有特殊几何形貌的特种探针及针尖控制技术，包括：提供一基底；在所述基底上安装一电解槽固定装置；在所述基底上安装一针尖定位系统；在所述的针尖定位系统中实施探针制作与控制。

【技术特征摘要】
1.一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，适用于可控制备具有特殊几何形貌的特种探针及针尖控制技术，包括：提供一基底；在所述基底上安装一电解槽固定装置；在所述基底上安装一针尖定位系统；在所述的针尖定位系统中实施探针制作与控制。2.如权利要求1所述的用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，其特征在于，所述制作方法为通过电化学反应使金属丝一端形成尖锐的针尖；阻止已形成的针尖继续被腐蚀；使金属丝其他部分形成特殊几何形貌的轮廓。3.如权利要求1所述的用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，其特征在于，所述基底包括底座、支撑立柱和手柄；所述电解槽固定装置包括U型管、U型管固定板和二维位移台。4.如权利要求1所述的用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，其特征在于，所述针尖定位系统为可控步进式直线位移电机、电机固定支架、抗震支撑架、线性位移导轨、过渡支撑板、可控精密位移压电促动器、单轴圆弧型柔性铰链和高刚度水平板的联用机构。5.如权利要求3所述的用于针尖型扫描显微测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：高思田，徐靖涛，黄鹭，施玉书，李琪，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：北京,11