风机化学过滤单元制造技术

本实用新型专利技术涉及风机化学过滤单元，包括箱体，箱体的上端面设置有进风口，下端面设置有出风口，在箱体上端面上位于进风口的一侧设置有控制盒，所述进风口处设置有叶轮，所述叶轮由轴向连接在叶轮下方的电机驱动，所述进风口上方设有安装在箱体上的引流板，所述引流板上层叠式安装第一初效过滤器、第二初效过滤器和化学过滤器，所述化学过滤器设置在第一初效过滤器和第二初效过滤器之间；所述出风口的下端安装有连接在箱体底部的高效过滤器。本实用新型专利技术装置能够有效的过滤空气中的化学污染物，还具有高效率、高静压、低能耗的特点。

Fan chemical filter unit

The utility model relates to a fan chemical filtration unit, which comprises a box body, the box is arranged on the upper end face of the air inlet, the lower end is provided with an air outlet, in the box on the end of the air inlet is arranged at one side of the control box, the air inlet is arranged at the impeller, the impeller is connected in the motor driven by the axial impeller. And the air inlet is arranged above the drainage plate is arranged on the box body, the drainage of the first primary filter, second primary filter and chemical filter mounting plate laminated type, the chemical filter is disposed between the first filter and the second filter; the air outlet is arranged at the lower end of HEPA filter the connection on the bottom of the box. The device of the utility model can effectively filter the chemical pollutants in the air, and has the characteristics of high efficiency, high static pressure and low energy consumption.

【技术实现步骤摘要】
风机化学过滤单元
：本技术涉及到风机过滤单元，尤其是风机化学过滤单元。
技术介绍
：随着半导体、液晶面板、硬盘等电子设备行业产品加工尺寸的细微化，对生产环境清洁度的要求进一步严格。除了一直以来已被关注的尘埃微粒污染之外，AMC（即分子状物质污染）最近已被IC生产厂商高度关注，更被认为是某些加工工序或工序间晶片传送及存放过程中影响成品率的重要因素。化学污染AMC划分成：分子酸（MA）、分子碱（MB）、分子凝缩剂（MC）、分子添加剂（MD）、分子金属（MM）等种类。当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降低到近乎为零，在芯片上的线宽小到0.5μm时，人们发现空气中的化学污染成了影响成品率的主要危害，于是化学过滤器被芯片厂家普遍应用。
技术实现思路
：针对以上技术问题，本技术设计了风机化学过滤单元，包括箱体，箱体的上端面设置有进风口，下端面设置有出风口，在箱体上端面上位于进风口的一侧设置有控制盒，所述进风口处设置有叶轮，所述叶轮由轴向连接在叶轮下方的电机驱动，所述进风口上方设有安装在箱体上的引流板，所述引流板上层叠式安装第一初效过滤器、第二初效过滤器和化学过滤器，所述化学过滤器设置在第一初效过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种风机化学过滤单元，包括箱体（1），箱体（1）的上端面设置有进风口（2），下端面设置有出风口（3），在箱体（1）上端面上位于进风口（2）的一侧设置有控制盒（4），所述进风口（2）处设置有叶轮（5），所述叶轮（5）由轴向连接在叶轮（5）下方的电机（6）驱动，其特征在于：所述进风口（2）上方设有安装在箱体（1）上的引流板（7），所述引流板（7）上层叠式安装第一初效过滤器（8）、第二初效过滤器（9）和化学过滤器（10），所述化学过滤器（10）设置在第一初效过滤器（8）和第二初效过滤器（9）之间；所述出风口（3）的下端安装有连接在箱体（1）底部的高效过滤器（11）；所述第一初效过滤器（8）、第二初效...

【技术特征摘要】
1.一种风机化学过滤单元，包括箱体（1），箱体（1）的上端面设置有进风口（2），下端面设置有出风口（3），在箱体（1）上端面上位于进风口（2）的一侧设置有控制盒（4），所述进风口（2）处设置有叶轮（5），所述叶轮（5）由轴向连接在叶轮（5）下方的电机（6）驱动，其特征在于：所述进风口（2）上方设有安装在箱体（1）上的引流板（7），所述引流板（7）上层叠式安装第一初效过滤器（8）、第二初效过滤器（9）和化学过滤器（10），所述化学过滤器（10）设置在第一初效过滤器（8）和第二初效过滤器（9）之间；所述出风口（3）的下端...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛钧，黄文才，周亦诚，
申请(专利权)人：苏州英德尔室内空气技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32