一种矩形梳状慢波结构的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种双排或单排矩形梳状慢波结构的制造方法。其主要步骤为：制造上下梳栅网毛坯、上下矩形梳底板和矩形梳结构用管壳；用激光切割方法在上下梳栅网毛坯上制造出上下矩形梳栅网；将上下矩形梳栅网分别焊接在上下矩形梳底板上，形成无电子注通道的上下矩形梳结构；在无电子注通道的上下矩形梳结构上制造出半圆形电子注通道，形成上下矩形梳结构；最后把上下矩形梳结构塞入双排矩形梳结构用管壳，制成双排矩形梳状慢波结构；或仅把下矩形梳结构塞入单排矩形梳结构用管壳，制成单排矩形梳状慢波结构。本发明专利技术所制造的矩形梳状慢波结构可用于微波、毫米波、亚毫米波乃至THz行波管、返波管和分布作用速调管(EIK)等。

【技术实现步骤摘要】
一种矩形梳状慢波结构的制造方法
本专利技术属于真空电子器件技术及太赫兹
，特别地涉及一种双排或单排矩形梳状慢波结构的制造方法。
技术介绍
近年来，人们对THz领域的研究在国内外都引起了极高的热情。太赫兹(Tera-Hertz，简称THz，1Thz＝1012Hz)频段介于微波与红外之间，其具体频率范围的定义有多种说法：其中一种说法是指频率范围0.1THz～10THz，相应的波长从3000μm～30μm；另一种按照波长的定义，认为其代表波长为1mm～100μm的电磁波，对应的频率为300GHz～3000GHz，所以THz波又可以被称为亚毫米波。无论采用哪种定义，THz波在电磁波谱中的地位都非常重要。THz频谱的长波段与毫米波相重合，其短波段与红外光相重合，是宏观经典理论向微观量子理论的过渡区，也是电子学向光子学的过渡区，被称为电磁波谱的“太赫兹空隙(THzgap)”。由于太赫兹技术处于电子学和光学的交界处，它在基础研究、高新技术和国防技术中具有特殊意义，在世界各国都受到了极大的重视。2004年，美国政府将THz科技评为“改变未来世界的十大技术”之一；日本于2005年将THz技术列为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种矩形梳状慢波结构的制造方法，该方法包括：(1)制造梳栅网毛坯、矩形梳底板和矩形梳结构用管壳；(2)用激光切割方法对梳栅网毛坯进行处理以得到矩形梳栅网；(3)利用矩形梳栅网和矩形梳底板获得矩形梳结构；(4)将矩形梳结构挤塞入矩形梳结构用管壳，得到矩形梳状慢波结构；其中梳栅网毛坯是利用电火花线切割或其他任何可行方法制造的长条形薄板，长度与矩形梳状慢波结构的长度相同，宽度方向的中间为矩形梳栅网预留区域，宽度方向两边分别为左侧支撑定位边沿和右侧支撑定位边沿，厚度为矩形梳状慢波结构的厚度与后续加工所需冗余层的厚度之和；步骤(2)具体为利用激光切割方法在梳栅网毛坯的矩形梳栅网预留区域中制造一系列相同尺...

【技术特征摘要】
1.一种矩形梳状慢波结构的制造方法，该方法包括：(1)制造梳栅网毛坯、矩形梳底板和矩形梳结构用管壳；(2)用激光切割方法对梳栅网毛坯进行处理以得到矩形梳栅网；(3)利用矩形梳栅网和矩形梳底板获得矩形梳结构；(4)将矩形梳结构挤塞入矩形梳结构用管壳，得到矩形梳状慢波结构；其中梳栅网毛坯是利用电火花线切割或其他任何可行方法制造的长条形薄板，长度与矩形梳状慢波结构的长度相同，宽度方向的中间为矩形梳栅网预留区域，宽度方向两边分别为左侧支撑定位边沿和右侧支撑定位边沿，厚度为矩形梳状慢波结构的厚度与后续加工所需冗余层的厚度之和；步骤(2)具体为利用激光切割方法在梳栅网毛坯的矩形梳栅网预留区域中制造一系列相同尺寸的矩形通槽得到矩形梳栅网，这些矩形通槽沿着梳栅网毛坯的长度方向均布排列，通槽之间的部分称为栅梁，栅梁厚度与通槽宽度相等；其中，所述梳栅网毛坯、矩形梳底板和矩形梳结构用管壳分别为上、下梳栅网毛坯，上、下矩形梳底板和双排矩形梳结构用管壳，则得到的矩形梳状慢波结构为双排矩形梳状慢波结构，上矩形梳栅网中，上下两端以栅梁开始；下矩形梳栅网中，上下两端以豁口的通槽开始，且上下两端的豁口通槽的宽度之和与处在中间区域的一个矩形通槽的宽度相同。2.根据权利要求1所述的方法，梳栅网毛坯的材料是熔点在1000℃以上的、无磁性、具有较好机械加工性能和具有导电性能的任何金属材料。3.根据权利要求1所述的方法，梳栅网毛坯的材料是钼。4.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(1)中用铣或电火花线切割方法制造矩形梳底板，矩形梳底板长度和宽度分别与梳栅网毛坯的长度和宽度相同，厚度根据所需机械强度的要求选择。5.根据权利要求4所述的方法，矩形梳底板的厚度取为0.5-1.5mm。6.根据权利要求4或5所述的方法，矩形梳底板的材料是熔点在1000℃以上的、无磁性、具有较好机械加工性能和具有较好导电性能的任何金属材料。7.根据权利要求4或5所述的方法，其中矩形梳底板的材料是钼。8.根据权利要求6所述的方法，如果矩形梳底板的材料不是铜，则进行镀铜或覆铜，铜膜为5μm。9.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(1)中用电火花线切割制造矩形梳结构用管壳。10.根据权利要求1或9所述的方法，其中矩形梳结构用管壳的材料为熔点在1000℃以上的、无磁性、具有较好机械加工性能和具有导电性能的任何金属材料。11.根据权利要求1或9所述的方法，其中矩形梳结构用管壳的材料为蒙乃尔。12.根据权利要求9所述的方法，其中制造好的矩形梳结构用管壳采用化学方法清洗。13.根据权利要求1所述的方法，其中，得到矩形梳栅网后，用细砂纸或平整刀具磨石打磨激光入射的反面，或者用电火花方法，把矩形梳栅网的有毛刺的一面除去冗余层，所除去的部分的厚度为预留的冗余层的厚度。14.根据权利要求1所述的方法，得到矩形梳栅网后，接着使用化学方法清洗矩形梳栅网，并用电镀方法在矩形梳栅网上镀铜或覆铜，铜膜为5μm。15.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(3)具体为把矩形梳栅网和矩形梳底板重叠在一起，并置入氢炉或真空炉中在1000℃条件下保温0.5小时，以实现二者之间的扩散焊接，得到无电子注通道矩形梳结构。16.根据权利要求15所述的方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：王自成，胡京军，李现霞，刘青伦，李海强，徐安玉，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11