一种ITO薄膜NO2气体传感器的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种ITO薄膜NO2气体传感器的制备方法，通过在一定浓度的氨水溶液中对ITO薄膜进行电化学处理，控制电压在10‑50V之间；在电化学处理后的玻璃表面刷铂浆，粘铂丝，制得ITO薄膜NO2气体传感器。本发明专利技术制备的NO2传感器具有结构简单，易于合成，灵敏度高，测试温度和检测限低，选择性好等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO薄膜NO2气体传感器的制备方法
本专利技术涉及NO2传感器
，尤其是一种用ITO薄膜玻璃制备NO2气体传感器的方法。
技术介绍
气体传感器分为光学气体传感器，半导体气体传感器，固体电解质气体传感器等。近年来研究最为广泛的是半导体气体传感器。金属氧化物的半导体气体传感器由于具有价格低廉、灵敏度高、响应和恢复速度快等优点,受到人们的普遍关注。In2O3是一种典型的n型半导体金属氧化物,具有优良的光学和电学性质。向In2O3中添加少量的Sn元素可以有效的提高它的光电性能。ITO薄膜(In2O3掺杂少量SnO2)的制备方法有磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、喷雾热解法等。这些方法做成的NO2传感器工作温度均在200℃以上，并且响应较低，传感器的灵敏度不高。相对而言，ITO薄膜玻璃做传感器原料方便易得，成本低，但是ITO薄膜玻璃表面比较光滑，比表面积较小，不利于气体分子的吸附，大大降低了界面化学反应的速率。因而在实际应用中需要对ITO薄膜玻璃的表面进行再处理，得到比表面积大的ITO膜，以吸附更多的气体分子，增强传感器的响应并增大它的灵敏度。专利技术内容本专利技术的目的是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ITO薄膜NO2气体传感器的制备方法，其特征在于,该方法包括以下具体步骤：步骤1：对ITO薄膜进行电化学处理ⅰ）将负载在玻璃上的ITO薄膜分别在丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗20min，自然晾干；ⅱ）配置0.1M的氨水，作为电解液；ⅲ）阴极阳极均为ITO薄膜玻璃，导电的一面相对，面间距为1cm，连接电极，插入ⅱ）中所配置的电解液中，用直流电源控制电压10‑50V之间，时间为5min；ⅳ）取下阴极ITO薄膜玻璃，去离子水冲洗表面，自然晾干；步骤2：NO2气体传感器的制备晾干后的阴极ITO薄膜玻璃表面用毛刷刷两个铂浆电极，两个电极之间距离1cm，并引出铂丝,用胶水固定铂丝；在80‑100℃烘箱...

【技术特征摘要】
1.一种ITO薄膜NO2气体传感器的制备方法，其特征在于,该方法包括以下具体步骤：步骤1：对ITO薄膜进行电化学处理ⅰ）将负载在玻璃上的ITO薄膜分别在丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗20min，自然晾干；ⅱ）配置0.1M的氨水，作为电解液；ⅲ）阴极阳极均为ITO薄膜玻璃，导电的一面相对，面间距为1cm，连接电极，插入ⅱ）中所配置的电解液中，用直流电...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，郑晓虹，郑慧萍，杨薇，王丹丹，杜元生，张艳艳，李喜，李鑫，沈艺波，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：上海,31