一种石英舟及取放石英舟的双叉制造技术

本实用新型专利技术涉及集成电路半导体晶圆生成制造领域，尤其涉及一种石英舟及取放石英舟的双叉，该石英舟包括：舟体和底座，舟体包括相对设置的两个U型石英架、用于连接两个U型石英架左右侧壁的两根开槽石英棒、靠近所述两个开槽石英棒均设置石英管、每个U型石英架开口上设置一根石英管，底座为贯穿在两个U型石英架底部的两根开槽石英棒，位于U型石英架开口上石英管两端的用于对晶圆限位的圆柱石英台阶，进而实现了方便在高温条件下取放和平放晶圆时限位和固定的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟及取放石英舟的双叉
本技术涉及集成电路半导体晶圆生成制造领域，尤其涉及一种石英舟及取放石英舟的双叉。
技术介绍
在半导体晶圆生产过程中，有部分工艺需要在高温下进行。而在高温反应腔室或高温反应炉需要特殊的载具承载晶圆。石英舟是最为常见的一种载具。石英舟为石英玻璃加工而成。具有耐高温，耐氧化等特性。晶圆在高温反应后经常会需要从高温腔室及时取出。经高温后，石英舟温度会很高，取出石英舟时存在烫伤的风险。手放晶圆到高温腔室时，同样有烫伤的风险。传统石英舟在高温条件下并不能很方便取放。高温烫伤风险较大，取放也不方便。同时，在晶圆生产工艺调试过程中，经常会选择不同的晶圆放置位置，进行测试和验证。传统的石英舟只能竖放晶圆，不能解决晶圆平放的问题。
技术实现思路
本技术实施例通过提供一种石英舟，解决了现有技术中石英舟由于在高温条件下使用后取放不方便的技术问题。为了解决上述技术问题，本技术实施例提供了一种石英舟，包括：舟体和底座，舟体包括相对设置的两个U型石英架、用于连接两个U型石英架左右侧壁的两根开槽石英棒、靠近所述两个开槽石英棒均设置石英管、每个U型石英架开口上设置一根石英管，底座为贯穿在两个U型石英架底部的两根开槽石英棒，位于U型石英架开口上石英管两端的用于对晶圆限位的圆柱石英台阶。进一步地，靠近两个开槽石英棒设置的石英管位于所述两个开槽石英棒的上方或者下方。进一步地，靠近所述两个开槽石英棒设置的石英管与每个U型石英架开口上设置的石英管相互垂直。另一方面，本技术还提供了一种取放石英舟的双叉，包括把手部和叉子，叉子包括平行的两个叉脚，把手部包括叉脚调节槽和握持端，两个叉脚卡嵌于叉脚调节槽内，可调节两个叉脚之间的间距。采用本技术中的一个或者多个技术方案，具有如下有益效果：本技术提供的石英舟，由于在舟体上设置两组石英管，且两组石英管分别为横向设置和纵向设置，方便在高温条件下取放，在该石英舟的上方一组石英管两端上设置石英台阶，便于晶圆平放时限位和固定。附图说明图1为本技术实施例中石英舟的侧视图；图2为本技术实施例中石英舟竖放晶圆的结构示意图；图3为本技术实施例中石英舟横放晶圆的结构示意图；图4为本技术实施例中取放石英舟的双叉的结构示意图。具体实施方式本技术实施例通过提供一种石英舟，解决了现有技术中石英舟由于在高温条件下使用后取放不方便的技术问题。为了解决上述技术问题，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对本技术的技术方案进行详细的说明。本技术实施例提供了一种石英舟，如图1所示，包括舟体和底座，该舟体包括两个U型石英架2-1,2-2、用于连接两个U型石英架2-1,2-2左右侧壁的两根开槽石英棒3-1,3-2，靠近两个开槽石英棒2-1,2-2均设置石英管5-1,5-2，每个U型石英架2-1,2-2开口上设置一根石英管4-1,4-2，从而形成舟体，两组石英管5-1,5-2以及4-1,4-2主要作用是方便使用叉子取放石英舟，在该舟体下方的底座为贯穿在两个U型石英架1-1,1-2，用于支撑整个石英舟。位于U型石英架2-1,2-2上石英管4-1,4-2两端上的用于对晶圆限位的圆柱石英台阶6-1,6-2,6-3,6-4，使得晶圆平放时能够限位固定晶圆。采用本申请中的石英舟，相较于现有技术来说，不仅可以实现晶圆的竖放，还可以实现晶圆的平放。在具体的实施方式中，该靠近两个开槽石英棒3-1,3-2设置的石英管5-1,5-2位于该两个开槽石英棒3-1,3-2的上方或者下方。靠近两个开槽石英棒3-1,3-2设置的石英管5-1,5-2与每个U型石英架2-1,2-2外侧设置的石英管4-1,4-2相互垂直，这样，使得在用叉子取放石英舟时，从横向方向和纵向方向都可以取放。图2、图3分别为竖放晶圆和横放晶圆的结构示意图。另一方面，本技术还提供了一种取放石英舟的双叉，如图4所示，包括把手部和叉子，叉子包括平行的两个叉脚301，把手部包括叉脚调节槽302和握持端303，两个叉脚301卡嵌于叉脚调节槽302内，可调节两个叉脚301之间的间距。使用该双叉，可以将石英舟方便地取放。尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英舟，其特征在于，包括：舟体和底座，舟体包括相对设置的两个U型石英架、用于连接两个U型石英架左右侧壁的两根开槽石英棒、靠近所述两个开槽石英棒均设置石英管、每个U型石英架开口上设置一根石英管，底座为贯穿在两个U型石英架底部的两根开槽石英棒，位于U型石英架开口上石英管两端的用于对晶圆限位的圆柱石英台阶。

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，其特征在于，包括：舟体和底座，舟体包括相对设置的两个U型石英架、用于连接两个U型石英架左右侧壁的两根开槽石英棒、靠近所述两个开槽石英棒均设置石英管、每个U型石英架开口上设置一根石英管，底座为贯穿在两个U型石英架底部的两根开槽石英棒，位于U型石英架开口上石英管两端的用于对晶圆限位的圆柱石英台阶。2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，靠近两个开槽石英棒设置的石...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宗超，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51