基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元，包括金属银衬底（1），所述金属银衬底（1）上设置有位于同一直线上的输入波导腔（2）和输出波导腔（5），所述金属银衬底（1）上位于输入波导腔（2）和输出波导腔（5）之间设置有矩形谐振腔（4），所述矩形谐振腔（4）的轴线与传输波导腔的轴线垂直；所述金属银衬底（1）上位于矩形谐振腔（4）的一侧设置有环形谐振腔（3）。本实用新型专利技术“基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元”，能够增强测量的准确度，由于是微量测量，不会影响待测物质。从原理上讲，该方案简便易行，易于操作，具有较好的市场应用价值。

【技术实现步骤摘要】
基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元
本技术属于表面等离子光学领域和微纳系统领域，具体为一种基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元。
技术介绍
计算机技术与互联网技术的发展，使得其运行速度与信息处理能力日渐强大，传统基于电子回路信息传递在热损耗等方面的局限愈专利技术显。光子器件在低热损耗、高速处理能力方面优于电子器件，并且随着纳米技术的发展，光子器件在实用的道路上愈来愈近。表面等离子激元共振现象的发现，突破传统光学衍射极限的限制，为纳米光子器件的发展带来新的契机。表面等离激元(SurfacePlasmonPolaritons,SPPs)被定义为电荷密度波，是等离子体和光子之间耦合的结果，其光场振幅在垂直界面方向以指数形式衰减。SPPs克服了光波衍射极限限制，使得制作纳米光子器件成为可能。近年来，随着金属亚波长波导器件的广泛应用，SPPs吸引了广泛的研究，并已成为一个新兴学科，如生物传感器、SPPs光刻以及超高分辨率成像。由于基于SPPs的金属-绝缘体-金属(Metal-Insulator-Metal,MIM)易于芯片化集成，因而引起了广泛的关注。等离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元，其特征在于：包括金属银衬底（1），所述金属银衬底（1）上设置有位于同一直线上的输入波导腔（2）和输出波导腔（5），所述金属银衬底（1）上位于输入波导腔（2）和输出波导腔（5）之间设置有矩形谐振腔（4），所述矩形谐振腔（4）的轴线与传输波导腔的轴线垂直；所述金属银衬底（1）上位于矩形谐振腔（4）的一侧设置有环形谐振腔（3）。

【技术特征摘要】
1.一种基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元，其特征在于：包括金属银衬底（1），所述金属银衬底（1）上设置有位于同一直线上的输入波导腔（2）和输出波导腔（5），所述金属银衬底（1）上位于输入波导腔（2）和输出波导腔（5）之间设置有矩形谐振腔（4），所述矩形谐振腔（4）的轴线与传输波导腔的轴线垂直；所述金属银衬底（1）上位于矩形谐振腔（4）的一侧设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志东，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：新型
国别省市：山西,14