形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置
本技术涉及多层合金保护膜表面处理设备领域。
技术介绍
目前，物理汽相淀积法（PVD）广泛运用到汽车零部件表面处理工艺中，在汽车车标、汽车轮毂盖帽、汽车轮毂等零部件表面处理上发挥重要作用。物理汽相淀积法特点是表面达到金属白亮镜面光泽装饰效果，与传统喷涂底粉+色漆+透明漆相比，涂层性能相当，外观可以达到电镀效果。
技术实现思路
因此，本技术目的是提供一种改进的高真空直流磁控溅射装置。形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，包括自动抽气系统，真空镀膜室体，磁控靶材A、磁控靶材B、车轮公转装置、车轮自转装置、车轮固定卡扣、进气装置。自动抽气系统、磁控靶材A、磁控靶材B设置于真空镀膜室体上。真空抽气系统包括机械泵、高真空油扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵；泵开启后，真空度降低，不同真空度自动开启相关泵。真空镀膜室体设置为立式，设置两个平面磁控靶，并设置透明观察口，便于观察里面镀膜情况。真空镀膜室体内工作时先抽取真空，再充入工作气体。磁控靶材A、磁控靶材B包括靶座，强磁铁，平面金属靶。车轮公转装置使车轮在真空室内进行匀速公转，公转周期可调；车轮自转装置使车轮安装到镀膜机，车轮可以旋转，保证整个车轮镀膜厚度一致。车轮固定卡扣设置在车轮与真空镀膜室体之间；进气装置设置于真空镀膜室体。附图说明图1为本技术形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置示意图。图中：1-自动抽气系统，2-真空镀膜室体，3-真空镀膜室体内，4-磁控靶材A，5-磁控靶材B，6-车轮公转装置，7-车轮自转装置，8-车轮，9-车轮固定...
【技术保护点】
形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，包括自动抽气系统（1），真空镀膜室体（2），磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）、车轮公转装置（6）、车轮自转装置（7）、车轮固定卡扣（9）、进气装置（10），其特征在于：自动抽气系统（1）、磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）设置于真空镀膜室体（2）上； 自动抽气系统（1）包括机械泵、高真空油扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵；真空镀膜室体（2）设置为立式，设置两个平面磁控靶，并设置透明观察口，磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）包括靶座、强磁铁、平面金属靶；车轮公转装置（6）使车轮匀速公转，车轮自转装置（7）使车轮安装到镀膜机，车轮可以旋转，车轮固定卡扣（9）设置在车轮（8）与真空镀膜室体（2）之间；进气装置（10）设置于真空镀膜室体（2）。
【技术特征摘要】
1.形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，包括自动抽气系统（1），真空镀膜室体（2），磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）、车轮公转装置（6）、车轮自转装置（7）、车轮固定卡扣（9）、进气装置（10），其特征在于：自动抽气系统（1）、磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）设置于真空镀膜室体（2）上；自动抽气系统（1）包括机械泵、高真空油扩...
【专利技术属性】
技术研发人员：王再德，魏庆旺，刘磊，张胜超，马焕明，王英锋，
申请(专利权)人：中信戴卡股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13
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