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本实用新型提供了一种形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，自动抽气系统（1）、磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）设置于真空镀膜室体（2）上；自动抽气系统（1）包括机械泵、高真空油扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵；真空镀膜室体（...
该专利属于中信戴卡股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中信戴卡股份有限公司授权不得商用。

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