安装装置与测量方法制造方法及图纸

将电子零件安装于基板的安装装置包括：安装工具14，利用作为前端面的保持面14a来保持电子零件；移动机构，使安装工具14相对于基板相对地移动；角度检测机构，对保持于保持面14a的平板状的测量夹具64的斜度进行测量；以及控制部，对安装装置的驱动进行控制，控制部在保持面14a的检查时，使安装工具14保持测量夹具64，并且使角度检测机构对测量夹具64的斜度进行测量。由此，提供一种安装装置，可更准确地测量安装工具的保持面的状态。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】安装装置与测量方法
本专利技术涉及一种将电子零件安装于基板的安装装置、以及对在安装装置中保持电子零件的安装工具的保持面的状态进行测量的测量方法。
技术介绍
近年来，实现了如下的方法(approach)：伴随电子装置的高性能化、高功能化，对构成所述电子装置的电子零件附加多种功能，从而即便电子零件自身大型化，也可实现作为电子装置的小型高功能化。伴随此，在将电子零件安装于基板上时，为了获得凸块与电极间的优选的接合状态，而寻求使分散地配置于一定程度以上的区域的所有凸块均等地与电极接触，且附加均等的负载。而且，近年来，也使用有对电子零件附加光学功能者，从而期望所述电子零件维持高平行度(parallelism)地接合于附加了光波导等的电路基板。因此，以前，提出在将电子零件安装于基板的安装装置中，在安装电子零件之前，对保持所述电子零件的安装工具的保持面的平行度进行测量或对斜度进行调整。例如，专利文献1中揭示了如下技术：将接触销埋设于基板平台的表面，使安装部(安装工具)下降，使电子零件的吸附面(保持面)的多个部位与接触销前端接触，求出此时的安装部与安装单元的相对移动量，并根据所述相对移动量来以数值形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种安装装置，将电子零件安装于基板，其特征在于包括：安装工具，由作为前端面的保持面来保持所述电子零件；移动机构，使所述安装工具相对于所述基板而相对地进行移动；平板状的测量夹具，保持于所述保持面；角度检测机构，对所述夹具的斜度进行测量；以及控制部，对所述安装装置的驱动进行控制，所述控制部在所述保持面的检查时，使所述安装工具保持所述测量夹具，并且使所述角度检测机构对所述测量夹具的斜度进行测量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.08.13 JP 2014-1650191.一种安装装置，将电子零件安装于基板，其特征在于包括：安装工具，由作为前端面的保持面来保持所述电子零件；移动机构，使所述安装工具相对于所述基板而相对地进行移动；平板状的测量夹具，保持于所述保持面；角度检测机构，对所述夹具的斜度进行测量；以及控制部，对所述安装装置的驱动进行控制，所述控制部在所述保持面的检查时，使所述安装工具保持所述测量夹具，并且使所述角度检测机构对所述测量夹具的斜度进行测量。2.根据权利要求1所述的安装装置，其中所述角度检测机构包括：接触销，朝向所述保持面突出并被固定住；以及运算部，根据位置信息来运算所述测量夹具的斜度，所述位置信息是使所述接触销依次与保持在所述保持面的所述测量夹具的表面的多个部位进行接触时的所述安装工具的相对的位置信息。3.根据权利要求1或2所述的安装装置，其中所述控制部根据所述测量的斜度来调整所...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤亮，瀬山耕平，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：日本,JP