电容器及其生产工艺制造技术

本发明专利技术提供一种卷起型电容器，包括防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层，其中，依次层叠有防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层的叠层卷起，使得上电极层在内侧，并且防扩散层通过原子层沉积法形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电容器及其生产工艺
本专利技术涉及电容器及其生产工艺。
技术介绍
近来，与电子装置的高密度封装相关联，需要具有更高电容和更小尺寸的电容器。作为这样的电容器，例如专利文献1公开了一种叠层卷起的卷起(roll-up)的卷起型电容器，所述叠层中层叠有第一电绝缘层、第一导电层、第二电绝缘层和第二导电层。这种卷起型电容器如下制造。首先在衬底上形成牺牲层，并在其上层叠第一电绝缘层、第一导电层、第二电绝缘层和第二导电层以获得叠层。从叠层开始卷起的一侧供给蚀刻溶液，从而逐渐去除牺牲层。通过去除牺牲层，叠层从本体上剥离并卷起。最后，连接电极端子以生产专利文献1中公开的卷起型电容器。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]DE2023357A1
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题为了实现高电容，优选使用具有高介电常数的电介质材料作为电介质层的材料。已知钙钛矿型电介质材料是具有高介电常数的电介质材料。然而，需要进行高温处理以形成钙钛矿型电介质材料的层，使得该层具有高介电常数。发现当在专利文献1中公开的卷起型电容器的电介质层中使用钙钛矿型电介质材料时，由于用于形成钙钛矿型电介质材料层的高温处理，牺牲层的成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卷起型电容器，包括防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层，其中，依次层叠有防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层的叠层卷起，使得上电极层在内侧，并且防扩散层通过原子层沉积法形成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种卷起型电容器，包括防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层，其中，依次层叠有防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层的叠层卷起，使得上电极层在内侧，并且防扩散层通过原子层沉积法形成。2.根据权利要求1所述的卷起型电容器，其中，所述防扩散层由氧化铝形成。3.根据权利要求1或2所述的卷起型电容器，其中，所述防扩散层的厚度为5-10nm。4.根据权利要求1-3中任一项所述的卷起型电容器，其中，所述电介质层由钙钛矿型复合氧化物形成。5.根据权利要求4所述的卷起型电容器，其中，所述钙钛矿型复合氧化物是钛-钙钛矿型复合氧化物。6.根据权利要求4或5所述的卷起型电容器，其中，所述钙钛矿型复合氧化物是BaTiO3、SrTiO3、CaTiO3、(BaSr)TiO3、(BaCa)TiO3、(SrCa)TiO3、Ba(TiZr)O3、Sr(TiZr)O3、Ca(TiZr)O3、(BaSr)(TiZr)O3、(BaCa)(TiZr)O...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木祥一郎，掘露伊保龙，伴野晃一，奥利弗·G·施密特，丹尼尔·格林，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，德累斯顿莱布尼兹固态和材料研究所，
类型：发明
国别省市：日本,JP