下载电容器及其生产工艺的技术资料

文档序号:16049415

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本发明提供一种卷起型电容器,包括防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层,其中,依次层叠有防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层的叠层卷起,使得上电极层在内侧,并且防扩散层通过原子层沉积法形成。...
该专利属于株式会社村田制作所;德累斯顿莱布尼兹固态和材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所;德累斯顿莱布尼兹固态和材料研究所授权不得商用。

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