具有宽线宽的导电图案及其生产方法技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有宽线宽的导电图案及其生产方法
本公开涉及具有带有宽线宽的导电图案的制品及其形成方法。
技术介绍
常规丝网印刷工艺已用于在基材上制备金属图案，在该基材处导电浆料通过印刷板直接印刷到基材表面上以形成金属图案。微接触印刷已用于在基材的表面上生成官能化分子的图案以形成图案化的自组装单层(SAM)。参见例如美国专利5,512,131(Kumar等人)。
技术实现思路
虽然通过常规丝网印刷工艺制成的具有导电图案的膜可包括具有宽线宽(例如，100微米或更大)的金属迹线，但是金属迹线的质量不稳定且对性能具有一定技术限制。因此，存在改善具有宽线宽(例如，30微米或更大)的导电迹线的大规模生产能力和质量的期望。本文所述的一些实施方案提供可通过丝网印刷工艺制备的母模工具。本文所述的一些母模工具可提供具有至少10微米的浮雕高度和至少30微米的侧向尺寸的图案元件。通过常规光刻技术制备光阻材料图案(例如，在美国专利5,512,131中的硅上的光阻材料图案)以获得如在本公开中实现的如此高的浮雕高度和如此宽的侧向尺寸在技术上是困难的、耗时的和昂贵的。简而言之，在一个方面，本公开描述了在基材上形成...
【技术保护点】
一种方法，所述方法包括：将墨图案丝网印刷到母模工具的主表面上，所述墨图案包括延伸离开所述主表面的多个墨图案元件，和在彼此邻近的相应墨图案元件之间形成的一个或多个压痕；以及将印模制作材料施加至所述母模工具的所述主表面上以形成具有压印图案的弹性印模，所述压印图案为所述母模工具的所述墨图案的负像，所述压印图案包括基础表面和延伸离开所述基础表面的一个或多个压印图案元件，所述压印图案元件对应于所述母模工具的所述压痕，并且所述压印图案元件中的每个压印图案元件具有压印表面。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.30 US 62/057,5461.一种方法，所述方法包括：将墨图案丝网印刷到母模工具的主表面上，所述墨图案包括延伸离开所述主表面的多个墨图案元件，和在彼此邻近的相应墨图案元件之间形成的一个或多个压痕；以及将印模制作材料施加至所述母模工具的所述主表面上以形成具有压印图案的弹性印模，所述压印图案为所述母模工具的所述墨图案的负像，所述压印图案包括基础表面和延伸离开所述基础表面的一个或多个压印图案元件，所述压印图案元件对应于所述母模工具的所述压痕，并且所述压印图案元件中的每个压印图案元件具有压印表面。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述墨图案元件中的至少一个图案元件具有至少10微米的浮雕高度。3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述墨图案元件中的至少一个墨图案元件具有至少30微米的侧向尺寸。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述墨图案元件中的至少一个墨图案元件具有0度至10度的拔模角度。5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述母模工具的所述压痕中的至少一个压痕具有至少30微米的侧向尺寸。6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中对所述墨图案进行丝网印刷进一步包括：提供在其上具有丝网图案的丝网，所述丝网图案包括被构造为允许流体经过所述丝网的开口区域；将所述丝网定位成邻近所述母模工具的所述主表面；以及施加墨以经过所述丝网的所述开口区域，从而在所述母模工具的所述主表面上形成墨图案。7.根据权利要求6所述的方法，其中提供所述丝网进一步包括：在所述丝网上提供光敏乳胶层，以及经由光掩模曝光所述光敏乳胶层以在其上显影所述丝网图案。8.根据权利要求7所述的方法，其中所述光敏乳胶层包含包括聚乙酸乙烯酯、聚乙烯醇、丙烯酸酯单体或它们的组合的光敏材料。9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述印模制作材料包括未固化的聚二甲基硅氧烷(PDMS)。10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述母模工具包括玻璃基材。11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述压印表面中的至少一个压印表面具有至少30微米的侧向尺寸。12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述压印图案元件中的至少一个压印图案元件具有至少10微米的特征高度。13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述压印表面中的至少一个压印表面具有至少50微米的侧向尺寸。14.一种弹性印模，所述弹性印模通过前述权利要求中任一项所述的方法产生。15.一种在基材上形成导电图案的方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈季汎，陈琬珺，林于智，王泽元，刘家瑗，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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