气体传感器制造技术

气体传感器。一种用于确定气体浓度的测量装置包括：气敏元件，其用于吸收气体；扫描装置，其用于在预先确定的时间段内确定元件的参数，其中参数依赖于气体的被吸收的量；刺激设备，其用于刺激所述元件，以便加速气体从所述元件中的解吸；以及处理设备。在此，处理设备被配置为：确定参数的改变速度；控制所述刺激，使得所述元件中的气体的浓度处于平衡状态之外；以及基于改变速度来确定气体浓度。

【技术实现步骤摘要】
气体传感器
本专利技术涉及一种气体传感器。本专利技术尤其是涉及用于以经改善的方式确定气体的浓度的一种装置以及一种方法。
技术介绍
气体传感器被配置为确定诸如空气之类的流体介质中的预先确定的气体、例如臭氧的浓度。为此，气体传感器遵循间接测量原理，其中设置气敏元件，在气敏元件处能够确定可能受气体浓度影响的参数。该参数理想地仅仅依赖于要测量的气体的浓度（选择性）。气体浓度的小的改变就已经应当以可测量的方式影响参数。在气体浓度与可测量的参数之间应当存在所定义的关联（精确度）。要测量的特性应当尽可能快地随着气体浓度改变（短测量时间）。此外，这些改变应当是可逆的（传感器的寿命）。浓度应当可以以低成本来测量（费用和小型化能力），并且测量方法应当仅仅需要少量能量，以便适于例如智能电话中的移动应用。小型构造并且间接测量的气体传感器通常基于场效应晶体管（FET）或金属氧化物层（MOX层）。在基于FET的传感器的情况下，要测量的气体大多影响安装在栅电极上的气敏层的逸出功，并且因此大多导致源极-漏极电流的改变。这样的传感器的示例在申请DE102008048715或EP110488482中予以描述。在基于MO本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于确定气体浓度的方法，其中所述方法包括下列步骤：‑借助于气敏元件（110）来吸收气体（105）；‑在预先确定的时间段内确定所述元件（110）的参数的改变速度（230），其中所述参数依赖于所吸收的气体（105）的量；‑刺激所述元件（110），以便加速所述气体（105）从所述元件（110）中的解吸；‑其中进行所述刺激，使得在元件（110）中的气体（105）的浓度处于平衡状态以外；以及‑基于所述改变速度（230）来确定所述浓度。

【技术特征摘要】
2016.02.10 DE 102016201950.31.一种用于确定气体浓度的方法，其中所述方法包括下列步骤：-借助于气敏元件（110）来吸收气体（105）；-在预先确定的时间段内确定所述元件（110）的参数的改变速度（230），其中所述参数依赖于所吸收的气体（105）的量；-刺激所述元件（110），以便加速所述气体（105）从所述元件（110）中的解吸；-其中进行所述刺激，使得在元件（110）中的气体（105）的浓度处于平衡状态以外；以及-基于所述改变速度（230）来确定所述浓度。2.根据权利要求1所述的方法，其中周期性地进行所述刺激，以便将所述元件（110）中的气体（105）的浓度保持在预先确定的范围内。3.根据权利要求2所述的方法，其中直接在切断刺激物以后基于所述改变速度（230）来确定所述气体浓度。4.根据前述权利要求之一所述的方法，其中基于下列关联来确定所述气体浓度K：，其中R是所述参数并且B≈2。5.根据前述权利要求之一所述的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：A彼得森，A克劳斯，M巴德亚，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE