以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置。该检查物体的方法包括：提供包括一标靶材料的物体。对物体的一试样位置照射一激光光束，激光光束具有波长λ。聚焦激光光束的一焦点于物体的试样位置上，通过同时吸收n个激光光束的入射光子而产生标靶材料的分子激发，其中n等于或大于2。以一检测器分析自物体发出的一输出光，其中分析的输出光的波长范围在0.8λ至1.2λ之间。

【技术实现步骤摘要】
以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置
本专利技术涉及一种检查物体的方法及其测量物体的装置，且特别是涉及一种以多光子激发技术检查物体的方法和以改良式激光扫描显微镜(modifiedlaserscanningmicroscopy)测量物体的装置。
技术介绍
通过掺杂不同活性材料于基板或基体中，可进行各种不同光学操作，例如光放大(opticalamplification)、光吸收、波长过滤、固态发光和偏振区分等等。以下是其中一些例子。首先，由活性离子掺杂至一块状晶体所形成的激光晶体是光放大的要素。例如钛蓝宝石激光晶体(Ti:Sapphirelasercrystal)是一蓝宝石(Al2O3)晶体掺杂钛离子。第二，对于光吸收和波长过滤，可使用吸收滤光片和有色玻璃滤光片(colorglassfilters，CGF)，其通常由添加了吸收活性离子(absorptiveactive-ions)的玻璃或塑胶所制得。这些活性离子传送光的某些波长部分但对于其他波长部分则具有相当高的吸收常数使此部分的光衰减。在许多滤光问题中，这些有掺杂离子的波长过滤片(ion-dopedwavelengthfil本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查物体的方法，包括：提供包括一标靶材料(target material)的该物体；对该物体的一试样位置(sampling position)照射一激光光束，该激光光束具有波长λ；聚焦该激光光束的一焦点(focal point)于该物体的该试样位置上，通过同时吸收n个该激光光束的入射光子而产生该标靶材料的分子激发，其中n等于或大于2；以及以一检测器分析自该物体发出的一输出光(output light)，其中分析的该输出光的波长范围在0.8λ至1.2λ之间。

【技术特征摘要】
2016.01.15 US 62/278,9951.一种检查物体的方法，包括：提供包括一标靶材料(targetmaterial)的该物体；对该物体的一试样位置(samplingposition)照射一激光光束，该激光光束具有波长λ；聚焦该激光光束的一焦点(focalpoint)于该物体的该试样位置上，通过同时吸收n个该激光光束的入射光子而产生该标靶材料的分子激发，其中n等于或大于2；以及以一检测器分析自该物体发出的一输出光(outputlight)，其中分析的该输出光的波长范围在0.8λ至1.2λ之间。2.如权利要求1所述的方法，其中该激光光束的波长λ大于900nm。3.如权利要求1所述的方法，其中该激光光束的波长λ在大于900nm但小于1600nm的范围内。4.如权利要求1所述的方法，其中该激光光束的波长λ在大于900nm但小于1200nm的范围内。5.如权利要求1所述的方法，还包括：在进行分析前，以一光学滤片(opticalfilter)滤掉波长小于0.8λ或大于1.2λ的光，或是以至少两该光学滤片滤掉波长小于0.8λ或大于1.2λ的光。6.如权利要求1所述的方法，还包括：在该输出光自该物体发出后，以一光学滤片(opticalfilter)滤掉波长小于λ或大于λ的光，或是以至少两该光学滤片滤掉波长小于λ或大于λ的光。7.如权利要求1所述的方法，其中该物体具有平行于xy-平面的一表面，该方法包括：在垂直于该xy-平面的z-方向对位于该试样位置的该物体进行扫描，且每次所述扫描包括前述照射步骤、聚焦步骤和分析步骤。8.如权利要求7所述的方法，其中所述分析步骤包括：以该检测器检测该输出光的一光强度，以获得该激光光束于波长范围0.8λ至1.2λ的入射光子的一光强度损失。9.如权利要求1所述的方法，其中n等于2。10.如权利要求1所述的方法，其中该物体为一偏光板，该标靶材料为掺杂的碘离子。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李汪洋，詹明哲，陈香凝，
申请(专利权)人：奇美视像科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71