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以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置制造方法及图纸
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下载以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置的技术资料
文档序号:16035747
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本发明公开一种以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置。该检查物体的方法包括:提供包括一标靶材料的物体。对物体的一试样位置照射一激光光束,激光光束具有波长λ。聚焦激光光束的一焦点于物体的试样位置上,通过同时吸收n个激光光束的入射光子...
该专利属于奇美视像科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过奇美视像科技股份有限公司授权不得商用。
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