一种纳米梯度结构材料表层EBSD样品的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种纳米梯度结构材料表层EBSD样品的制备方法，属于电镜样品制备技术领域。本发明专利技术针对当前纳米梯度结构材料表层EBSD样品制备周期长、成本高、标定效果差、最表层信号遮挡等不足，提出了一种操作简单、快速、成本低、抛光效果好的纳米梯度结构材料表层EBSD样品的制备方法，且成功解决了纳米梯度材料最表层微米尺度区域内标定时保护层遮挡信号的问题。具体工艺为：(1)电镀；(2)砂纸研磨；(3)机械抛光；(4)短时间电解抛光。砂纸研磨之前先对样品进行电镀以保护材料表面的纳米梯度结构，然后经砂纸研磨至5000目，机械抛光至0.25μm的粒度、时间3‑4分钟，最后进行短时间电解抛光，时间取该类金属正常电解抛光工艺所用时间的1/3‑1/5。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米梯度结构材料表层EBSD样品的制备方法
本专利技术属于电镜样品制备
，具体涉及一种纳米梯度结构材料表层EBSD样品的制备方法。
技术介绍
上世纪九十年代以来，装配在扫描电镜上的电子背散射花样(ElectronBack-scatteringPatterns，简称EBSP)晶体微区取向及晶体结构的分析技术取得了较大发展，已在材料微观组织结构及微织构表征中得到广泛应用。该技术又被称为电子背散射衍射(ElectronBackscatteredDiffraction，简称EBSD)。该技术是基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析，进而确定晶体结构、取向及相关信息的方法，在晶体材料的组织表征和分析中有着重要的作用。在钢铁材料中，EBSD主要应用于物相、组织鉴定、取向分析、微织构分析、晶界分析、晶粒度测量等。纳米梯度结构材料是通过对材料结构单元的多级筑构，使材料的结构单元尺寸(如晶粒尺寸或层片厚度)在空间上呈现梯度变化，从纳米尺度连续增加到宏观尺度。材料一部分由纳米结构组成，一部分由粗晶结构组成，这种结构尺寸的梯度变化有别于不同特征尺寸结构(如纳米晶粒、亚微本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米结构材料表层EBSD样品的制备方法，其特征在于，包括以下具体工艺步骤：(1)电镀：配制镀液，将经过清洗的样品放入镀液中进行电镀。(2)砂纸研磨：将试样进行金相砂纸打磨，用水作为润滑剂，砂纸型号依次为400目、800目、1000目、2000目、3000目、5000目；(3)机械抛光：对砂纸打磨过的样品采用金刚石抛光液进行机械抛光，抛光液粒度依次为2.5μm、1μm、0.25μm，抛光时间依次为1‑2分钟、1‑2分钟、3‑4分钟；(4)电解抛光：配制电解抛光液，将样品表面浸入抛光液内进行短时间电解抛光。

【技术特征摘要】
1.一种纳米结构材料表层EBSD样品的制备方法，其特征在于，包括以下具体工艺步骤：(1)电镀：配制镀液，将经过清洗的样品放入镀液中进行电镀。(2)砂纸研磨：将试样进行金相砂纸打磨，用水作为润滑剂，砂纸型号依次为400目、800目、1000目、2000目、3000目、5000目；(3)机械抛光：对砂纸打磨过的样品采用金刚石抛光液进行机械抛光，抛光液粒度依次为2.5μm、1μm、0.25μm，抛光时间依次为1-2分钟、1-2分钟、3-4分钟；(4)电解抛光：配制...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱敏，黄天林，吴桂林，黄晓旭，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：发明
国别省市：重庆,50