一种光纤气体压力传感器制造技术

本发明专利技术公开一种光纤气体压力传感器，该传感器通过放电熔接方法，可以在两根单模光纤的熔接界面处形成一个球形的空腔。然后，通过飞秒激光器在单模光纤包层侧面上烧灼加工长为24μm的微通道，微通道直接与球形空腔相连，微通道在光纤侧面开口处与玻璃毛细管相连，方便与外界待测气体接触。该气体压力传感器的灵敏度约为193.46pm/bar。根据本发明专利技术的方法制备光纤气体压力传感器，制造工艺简单，制作成本低，结构稳定，具有一定的机械强度，而且不会对周围电磁环境产生影响，不会产生电火花，能广泛用于精密化学实验室气压检测、石油气罐气压检测、各种高压气瓶的压力监测，航天航空器内气压检测等特殊领域。

【技术实现步骤摘要】
一种光纤气体压力传感器
本专利技术涉及一种光纤气体压力传感器，尤其是一种全光纤开腔式马赫-曾德尔干涉型(MZI)气体压力传感器。
技术介绍
与传统的各类传感器相比，光纤传感器有一系列独特的优点，如灵敏度高，抗电磁干扰、耐腐蚀，便于实现多路技术，结构简单，体积小，重量轻，耗电少等。应力、温度、气压是目前应用最广泛的光纤传感器，尤其是相位调制型的光纤传感器，因其可在大范围内实现对外界参量快速而精确的动态测量而受到诸多关注。在此类传感器当中，光纤马赫-曾德尔干涉仪(MZI)是重要且应用广泛的结构形式之一：它主要是通过外界参量改变信号臂与参考臂之间的相位差，再利用解调技术获知参量的实时变化信息。全光纤MZI由于将两路传输光集成在同一根光纤之中，使器件更加灵巧、性价比更高且易于封装，近几年成为人们的研究热点。光纤传感器开腔式的结构可以使气体压力值直接与光信号相互作用，增大了光纤接触面积，因此对待测量的气体压力响应更准确迅速，提高了测量精度和测量效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光纤马赫-曾德尔干涉型气体压力传感器，该传感器可以解决某些特殊应用场景，如强电磁场环境或易燃易爆环境下对气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光纤马赫‑曾德尔干涉型气体压力传感器，其特征在于：该方法包括通过飞秒激光器和光纤熔接机在单模光纤上制备微型开放空腔，以及利用光纤微型开放空腔构建马赫‑曾德尔干涉型气压传感器。

【技术特征摘要】
1.一种光纤马赫-曾德尔干涉型气体压力传感器，其特征在于：该方法包括通过飞秒激光器和光纤熔接机在单模光纤上制备微型开放空腔，以及利用光纤微型开放空腔构建马赫-曾德尔干涉型气压传感器。2.根据权利要求1所述飞秒激光器，其特征在于：输出激光波长为780nm，脉冲周期为120fs，重复率为1KHz，单脉冲功率为6μJ。3.根据权利要求1所述光纤熔接机，其特征在于：设置熔接电...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙友华，熊辉，
申请(专利权)人：深圳市中葛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44