【技术实现步骤摘要】
一种复合型电泳悬浮液及其制备方法
本专利技术属于电泳
,涉及电泳沉积涂层技术,具体涉及一种复合型电泳悬浮液及其制备方法。
技术介绍
BaTiO3是钛酸盐系列电子陶瓷的基础原料,被称为电子陶瓷业的支柱。具有高介电常数和低介电损耗的特点,有优良的铁电、压电、耐压和绝缘性能,广泛地应用于制造陶瓷敏感元件,尤其是多层陶瓷容器、正温度系数热敏电阻等。近年来,随着微电子技术的发展,多层陶瓷容器的尺寸越来越小,为了在更小的尺寸下得到高的电容量,就要降低介电层的厚度而增加总的层数。为此,用多种沉积技术来制备BaTiO3膜,例如溶胶-凝胶法、金属有机物化学气相沉积、磁控溅射等。由于电泳沉积具有设备简单、操作方便、可控膜厚范围宽、沉积工艺温和、易于控制、适用于复杂形状等优点,近年来得到越来越多的关注,并取得了长足的发展。电泳沉积包括两个过程,首先是悬浮在分散介质中带电颗粒在电场作用下定向移动,其次是颗粒在电极上沉积形成致密均匀的薄膜。发生电泳沉积的前提是颗粒表面荷电并形成稳定的悬浮液,因此,有必要研究BaTiO3悬浮液的稳定性。目前,常用聚丙烯酸、聚乙烯醇和聚甲基丙烯酸等分散剂 ...
【技术保护点】
一种复合型电泳悬浮液,其特征在于,包括BaTiO3、TiO2,BaTiO3与TiO2的质量比为m:m=6~9:1~2,二者占悬浮液总量的2~13%。
【技术特征摘要】
1.一种复合型电泳悬浮液,其特征在于,包括BaTiO3、TiO2,BaTiO3与TiO2的质量比为m:m=6~9:1~2,二者占悬浮液总量的2~13%。2.根据权利要求1所述的一种复合型电泳悬浮液,其特征在于,所述悬浮液的溶剂为异丙醇、乙腈和甲苯的混合溶液,三者的体积比为,异丙醇:乙腈:甲苯=4~11:1~2:3~5。3.权利要求1或2所述的一种复合型电泳悬浮液的制备方法,其特征在于,包含以下步骤:(1)原料准备:将BaTiO3、TiO2按比例混合,研磨至粒径为50~300nm,加入去离子水中,超声振荡2~5分钟;(2)溶剂准备:将异丙醇、乙腈和甲苯按比例混合,机械搅拌3~6分钟后加入正丁胺,加入量为溶剂总体积的1~4%,超声振荡2~5分钟;(3)将步骤(1)获得的原料分散于步骤(2)获得的溶剂中,加入氯化钾,机械...
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