用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备制造技术

本发明专利技术涉及用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备。根据一示例性实施例，一种真空转移设备可包括：真空腔；二维样品驱动模块，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆，所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品；以及四维样品驱动模块，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的四维驱动杆，所述四维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第二样品，其中，所述二维驱动杆能在二维平面内调整所述第一样品的位置，所述四维驱动杆能在三维空间内调整所述第二样品的位置，并且能绕与所述二维平面垂直的轴旋转所述第二样品，从而使所述第一样品与所述第二样品彼此贴附在一起。

Vacuum transfer device for preparing two-dimensional material Fan Dehua heterojunction

The invention relates to a vacuum transfer device for preparing a two-dimensional material Fan Dehua heterojunction. According to an exemplary embodiment, a vacuum transfer apparatus may include a vacuum chamber; a two-dimensional sample drive module is installed in the vacuum chamber and includes the extension to the two-dimensional vacuum chamber drive rod extends the two-dimensional drive rod to the vacuum chamber for supporting the first sample; and four sample driver module is installed in the vacuum chamber and includes extending into the vacuum chamber of the four-dimensional drive rod extends the four-dimensional drive rod into the vacuum chamber for supporting second samples, among them, the two drive rod can adjust the first sample in the two-dimensional plane position, the four-dimensional rod can adjust the position of the second samples in the three-dimensional space, and can rotate around the axis of the second samples and the vertical plane, so that the article. The product and the second sample are attached to each other.

【技术实现步骤摘要】
用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备
本专利技术总体上涉及新材料领域，更特别地，涉及一种用于转移二维材料的真空转移设备，其能够在真空中精确地转移和叠置两个二维材料样品，从而形成范德华异质结结构。
技术介绍
近来，二维材料范德华异质结越来越吸引研究人员的兴趣。二维材料范德华异质结是指两种二维材料通过在垂直于二维材料平面的方向上的范德华力结合在一起而形成的异质结。这种范德华异质结通常通过将两块机械剥离的二维材料堆叠在一起来制备。由于过去制备的二维材料面积较小，一般小于100μm×100μm，所以上述堆叠操作一般由人在大气中或者在手套箱中借助于显微镜来进行。例如，将两个二维材料样品分别固定在两个可以在XY平面内独立运动的样品台上，并且至少其中一个样品台在Z方向可以运动。然后，在显微镜下调整块二维材料的相对位置，最终让二者结合在一起以形成范德华异质结。然而，在上述堆叠过程中，有时会在两种二维材料的界面处包裹一些气体，形成一些纳米尺度甚至微米尺度的气泡。这些气泡会作为杂质严重影响二维材料范德华异质结的性能。而且，随着二维材料制备技术的发展，已经能够制备较大面积的高质量二维材料。当堆叠较大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空转移设备(100)，包括：真空腔(10)；二维样品驱动模块(30)，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆(35)，所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品；以及四维样品驱动模块(50)，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的四维驱动杆(57)，所述四维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第二样品，其中，所述二维驱动杆能在二维平面内调整所述第一样品的位置，所述四维驱动杆能在三维空间内调整所述第二样品的位置，并且能绕与所述二维平面垂直的轴旋转所述第二样品，从而使所述第一样品与所述第二样品彼此贴附在一起。

【技术特征摘要】
1.一种真空转移设备(100)，包括：真空腔(10)；二维样品驱动模块(30)，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆(35)，所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品；以及四维样品驱动模块(50)，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的四维驱动杆(57)，所述四维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第二样品，其中，所述二维驱动杆能在二维平面内调整所述第一样品的位置，所述四维驱动杆能在三维空间内调整所述第二样品的位置，并且能绕与所述二维平面垂直的轴旋转所述第二样品，从而使所述第一样品与所述第二样品彼此贴附在一起。2.如权利要求1所述的真空转移设备，其中，所述真空腔包括腔体(12)和形成在所述腔体上的第一、第二和第三接口，所述第一接口(13)用于安装所述四维样品驱动模块，所述第二接口(14)用于安装所述二维样品驱动模块，所述第三接口(23)用于连接到抽气泵(11)。3.如权利要求2所述的真空转移设备，其中，所述真空腔还包括形成在所述腔体上的一个或多个观察窗(17,18,19)，并且至少一个观察窗(19)用于连接到显微镜以通过显微镜观察所述第一样品和所述第二样品的位置。4.如权利要求3所述的真空转移设备，其中，所述真空腔还包括形成在所述腔体上的至少一个舱门(15)，所述舱门能打开和密封地闭合，从而用于将所述第一样品和所述第二样品装入到所述腔体内和从所述腔体内取出。5.如权利要求4所述的真空转移设备，其中，所述第一接口(13)和所述第二接口(14)分别设置在所述腔体(12)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张广宇，卢晓波，时东霞，杨蓉，汤建，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11