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用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备制造技术
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文档序号:16027133
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本发明涉及用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备。根据一示例性实施例,一种真空转移设备可包括:真空腔;二维样品驱动模块,安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆,所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品;...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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