一种转弯锁模波导激光器制造技术

本发明专利技术属于激光器技术领域，具体涉及一种转弯锁模波导激光器，包括泵浦源、谐振腔和位于谐振腔内的波导激光介质，其特征在于：所述波导激光介质内分布有转弯的波导模场；所述谐振腔包括耦合输入镜和耦合输出镜，所述耦合输入镜位于泵浦源的泵浦光输出端和波导模场的泵浦光输入端之间，所述耦合输出镜位于波导模场的激光输出端处。本发明专利技术采用带有转弯波导模场的波导激光介质，由于波导模场的限制，使高阶模比低阶模损耗更多的能量，在模式竞争中被削弱甚至被抑制，激光器可以输出较好光束质量的激光；而且转弯波导模场结构有助于增加波导激光器波导长度的同时获得更加紧凑的结构，从而进一步实现飞秒激光光刻锁模波导激光器的微型化。

A turn mode locked waveguide laser

The invention belongs to the technical field of laser, in particular to a turn mode-locked waveguide laser, which comprises a pumping source, a resonant cavity and in resonant cavity waveguide laser medium, which is characterized in that the waveguide mode of the waveguide laser medium are distributed in turn; the resonant cavity comprises a coupled input mirror and output mirror. Between the input coupling mirror at the pump source pump output and waveguide pump input, output of the laser output mirror is located in waveguide end. The invention adopts a laser medium waveguide bend waveguide mode field, the waveguide mode field limit, the high order more than the low order modes of energy loss in the mode competition is weakened or even suppressed, laser can output good beam quality; and turning waveguide structure contributes to the increase of waveguide laser waveguide the length of the obtained at the same time has the advantages of compact structure, miniaturization and thus further mode-locked femtosecond laser lithography waveguide laser.

【技术实现步骤摘要】
一种转弯锁模波导激光器
本专利技术属于激光器
，具体涉及一种转弯锁模波导激光器。
技术介绍
波导激光器是基于波导结构的微型激光器，其核心是光波导，光波导是集成光学器件的基础。波导激光用激光增益介质上的波导结构作为激光谐振腔，将泵浦光耦合到波导中，在波导增益介质中产生激光振荡。激光增益介质是以晶体、玻璃、透明陶瓷、钛宝石为基质，其中掺入作为激活离子的稀土元素(如Nd3+、Er3+、Yb3+、Tm3+等)形成的。与体器件相比，波导激光利用波导结构把光束的能量约束在截面非常小的波导内，能够有效的提高光的能量密度，获得高增益，从而降低激光的泵浦阈值，提高斜率效率。波导本身具有很大的纵横比，散热面积大，因此波导激光不容易受到热效应的影响。与一般的集成光学元件相比，波导激光应用范围更广，它可以与其它光学器件结合使用，制备多功能的集成光学元件，为功能化的集成光学芯片提供可靠的激光源，也可以单独作为激光器使用，因此具有广阔的发展前景。目前，波导激光器的波导结构大多是通过基质表面沉积、表面构造以及内部构造得到，而且波导结构均为直线型，如果要获得较好的增益效果就必须将波导结构做的很长，难以满足微型本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种转弯锁模波导激光器，包括泵浦源、谐振腔和位于谐振腔内的波导激光介质，其特征在于：所述波导激光介质内分布有转弯的波导模场；所述谐振腔包括耦合输入镜和耦合输出镜，所述耦合输入镜位于泵浦源的泵浦光输出端和波导模场的泵浦光输入端之间，所述耦合输出镜位于波导模场的激光输出端处。

【技术特征摘要】
1.一种转弯锁模波导激光器，包括泵浦源、谐振腔和位于谐振腔内的波导激光介质，其特征在于：所述波导激光介质内分布有转弯的波导模场；所述谐振腔包括耦合输入镜和耦合输出镜，所述耦合输入镜位于泵浦源的泵浦光输出端和波导模场的泵浦光输入端之间，所述耦合输出镜位于波导模场的激光输出端处。2.根据权利要求1所述的转弯锁模波导激光器，其特征在于：所述波导激光介质的截面为直角三角形，所述波导模场为L型或者V型，波导模场的泵浦光输入端和激光输出端分别位于直角三角形的两条直角边上；所述波导模场在波导激光介质内的分布路径是：由直角三角形的一条直角边向斜边延伸，在斜边处折转后再向另一条直角边延伸。3.根据权利要求1所述的转弯锁模波导激光器，其特征在于：所述波导激光介质的截面为直角三角形，所述波导模场为U型，波导模场的泵浦光输入端和激光输出端均位于直角三角形的斜边上；所述波导模场在波导激光介质内的分布路径是：由直角三角形的斜边向第一条直角边延伸，在第一条直角边处折转后...

【专利技术属性】
技术研发人员：程光华，孙哲，吕静，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：陕西,61