一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法技术
Nitride mode locking whispering wall micro laser and preparation method thereof
The invention discloses a nitride mode-locked echo wall micro laser and a preparation method thereof, nitride material on silicon substrate, using photolithography technology and process of deep silicon etching by floating band gap annular thin film micro cavity, and then in the micro cavity gap in the modified gold nanorods as semiconductor saturable absorber in optical pumping under the suitable conditions, mode-locked laser echo wall nitride.
【技术实现步骤摘要】
一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法
本专利技术属于激光
，涉及一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法。
技术介绍
激光按腔体结构可分为三类：第一类是光在纳米颗粒界面随机共振形成的随机激光；第二类是光在一维的微纳米结构中利用微纳米线两个端面作为腔镜形成共振产生的F-P激光。前者散射损耗很大，没有固定模式；后者的端面损耗很大，也不易得到高品质(Q)、低阈值激光。鉴于此，采用尺度较大的微米棒或微米碟等微腔利用其全内反射形成的回音壁模(WGM)激光则为人们提供了一条获得高品质激光的途径。但是圆形的悬空微碟或六边形的氮化镓单晶WGM激光器作为光通信器件或者集成光学器件而言还不够优秀，因为它输出的是多模式结构的激光，而有些工业应用需要的是单模式的激光。因此，如何优化WGM微腔结构，实现锁模激光，更有利于工业应用，是本专利技术要解决的问题。
技术实现思路
技术问题：本专利技术提供一种具有极高的光学增益和极低的损耗，有利于工业已经用，可以获得高品质因子低阈值的氮化物锁模回音壁微激光器，同时提供了一种工艺性好、加工精度高的制备上述氮化物锁模回音壁微激光器的方法。技术方案：...
【技术保护点】
一种氮化物锁模回音壁微激光器，其特征在于，该激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括硅基底、设置在所述硅基底上的硅柱、由所述硅柱支撑的悬空的环形薄膜微腔结构，所述环形薄膜微腔结构由氮化物构成，包括环形的本体(I)、设置在所述本体(I)内部的微腔、设置在本体(I)中将微腔与外部连通的缺口(II)，所述缺口(II)中修饰有金纳米棒。
【技术特征摘要】
1.一种氮化物锁模回音壁微激光器，其特征在于，该激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括硅基底、设置在所述硅基底上的硅柱、由所述硅柱支撑的悬空的环形薄膜微腔结构，所述环形薄膜微腔结构由氮化物构成，包括环形的本体(I)、设置在所述本体(I)内部的微腔、设置在本体(I)中将微腔与外部连通的缺口(II)，所述缺口(II)中修饰有金纳米棒。2.根据权利要求1所述的氮化物锁模回音壁微激光器，其特征在于，所述硅基底和硅柱均为在硅基氮化物晶片的硅衬底层(2)上刻蚀得到的。3.根据权利要求1或2所述的氮化物锁模回音壁微激光器，其特征在于，所述缺口(II)中修饰的金纳米棒，在光泵浦条件下，作为半导体饱和吸收体对微腔中的激光进行调制，实现氮化物的锁模回音壁激光。4.一种制备权利要求1、2或3所述氮化物锁模回音壁微激光器的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：第一步：在...
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