压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制电串扰并实现小型化的压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述压电器件具备流道形成基板(10)和配线基板(30)，所述流道形成基板(10)具备多列压电元件列(150A)，所述压电元件列(150A)具有多个压电元件(150)，流道形成基板(10)具备与各个压电元件列(150A)的压电元件(150)共用的第二电极(80)连接的多个第一共用配线(92)，配线基板(30)具备与多个压电元件列(150A)各自的第一共用配线(92)连接的多个第二共用配线(32)以及被埋设在槽部(330)中的多个辅助配线(33)，辅助配线(33)与第二共用配线(32)分别连接，并且多个辅助配线(33)不相互连接。

Piezoelectric device, liquid ejecting head, and liquid ejecting device

The present invention provides a piezoelectric device, a liquid jet head and a liquid ejecting device that can suppress electrical crosstalk and achieve miniaturization. The piezoelectric substrate (10) with a flow passage is formed and a wiring board (30), the passage forming substrate (10) with multiple piezoelectric element column (150A), the piezoelectric element column (150A) has a plurality of piezoelectric elements (150), channel (10) with the substrate the piezoelectric element column (150A) of the piezoelectric element (150) second common electrode (80) first shared wiring connection (92), (30) and the wiring board has a plurality of piezoelectric element column (150A) of each of the first shared wiring (92) connected to a plurality of second share wiring (32) and was buried in the groove part (330) and a plurality of auxiliary wiring in (33), (33) and the auxiliary wiring second shared wiring (32) are connected, and a plurality of auxiliary wiring (33) is connected to each other.

【技术实现步骤摘要】
压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置
本专利技术涉及一种压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。
技术介绍
作为喷出液滴的液体喷射头的代表例，可列举出喷出油墨滴的喷墨式记录头。作为该喷墨式记录头，已知有例如下述的记录头，该记录头具备：流道形成基板，其形成与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其被设置在该流道形成基板的一面侧，通过利用压电元件而使压力产生室内的油墨产生压力变化，从而从喷嘴开口喷射油墨滴。以与流道形成基板对置的方式配置有配线基板，被设置在配线基板上的配线与各个压电元件连接。具体而言，压电元件具备：针对每个有源部而单独被设置的单独电极；共用电极，其以多个有源部共用的方式而被设置，单独电极被供给驱动信号，共用电极被供给偏压(vbs)(例如，参照专利文献1)。在具备多列将压电元件在一个方向上并排设置而形成的压电元件列的结构中，具备以压电元件列的共用电极共用的方式而被连接的供给配线。即，由一条供给配线对多个压电元件列的共用电极供给偏压。此外，在供给配线上连接有辅助配线。通过该辅助配线，能够降低供给配线的电阻值。被施加在各个压电元件列的共用电极上的偏压通过在压电元件列中共用的供给配线而被供给。在这样的结构中，根据在一个压电元件列中同时驱动的压电元件的数量，有可能产生另一个压电元件列的驱动尤其是电源发生变化的所谓电串扰。虽然在该供给配线上连接有辅助配线，但该辅助配线也在压电元件列中共用。因此，也有可能因辅助配线而产生电串扰。由于电串扰的产生，而存在通过与另一个压电元件列相对应的压电元件而被喷射的油墨滴的喷射特性，尤其是油墨滴的飞行速度、油墨滴尺寸产生偏差的问题。此外，在配线基板的流道形成基板侧的面上设置辅助配线的情况下，以满足所需的电阻值的方式而形成辅助配线的结果为，根据辅助配线的厚度，而存在与流道形成基板侧接触，或向压电元件等进行放电的可能。当为了避免这种情况而将配线基板与流道形成基板之间的间隔拓宽固定值以上时，喷墨式记录头的高度会增加，从而无法实现小型化。这样的问题并不限于喷墨式记录头等液体喷射头所使用的压电器件，在其他装置所使用的压电器件中也同样存在。专利文献1：日本特开2012-171149号公报
技术实现思路
本专利技术鉴于这样的实际情况，其目的在于，提供一种能够抑制电串扰并实现小型化的压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。解决上述课题的本专利技术的方式为一种压电器件，其特征在于，具备致动器基板和配线基板，所述致动器基板具备多个压电元件列，所述压电元件列具有多个压电元件，所述配线基板以与所述致动器基板对置的方式而被配置，所述压电元件列具备所述多个压电元件共用的共用电极，所述致动器基板具备与多个所述压电元件列各自的所述共用电极连接的多个第一共用配线，所述配线基板具备多个第二共用配线和多个辅助配线，多个所述第二共用配线与多个所述压电元件列各自的所述第一共用配线连接，多个所述辅助配线被埋设于形成在所述配线基板上的槽部中，所述辅助配线与所述第二共用配线分别连接，并且多个所述辅助配线不相互连接。在上述方式中，在各个第二共用配线上连接有辅助配线，并且辅助配线彼此不相互连接。由此，能够对经由辅助配线而在压电元件列之间产生电串扰的情况进行抑制。另外，辅助配线被埋设在配线基板的槽部中。因此，与以未埋设在槽部中的方式而在配线基板上形成辅助配线的情况相比较，能够缩小致动器基板与配线基板之间的间隔。由此，能够减小压电器件在高度方向上的大小。此外，优选为，所述第二共用配线具备第一主面侧配线、第二主面侧配线以及贯穿配线，所述第一主面侧配线被设置在所述配线基板的与所述致动器基板相反的一侧的第一主面上，所述第二主面配线被配置在所述配线基板的所述致动器基板侧的第二主面上，所述贯穿配线被形成于在所述配线基板的厚度方向上贯穿的贯穿孔中并且对所述第一主面侧配线与所述第二主面侧配线进行连接，所述辅助配线被设置在所述第一主面或所述第二主面中的至少一方上，并且与所述第一主面侧配线或所述第二主面侧配线连接。根据该结构，由于经由贯穿配线而将第一共用配线与第二共用配线连接，因此能够减少在致动器基板上形成第一共用配线的空间，从而能够使致动器基板的大小小型化。此外，优选为，所述第二主面侧配线具备共同用芯部和共同用配线部，所述共同用芯部被设置在所述第二主面上并在第一方向上延伸设置，所述共同用配线部对所述共同用芯部的至少一部分进行覆盖并与所述第一共用配线连接，所述辅助配线被设置在所述第二主面上，并与所述共同用配线部连接。根据该结构，由于共同用配线部兼具使辅助配线与供给配线连接的功能，因此无需另外设置用于使辅助配线与供给配线连接的配线，从而能够减少制造或部件所花费的成本。此外，优选为，所述致动器基板具备多个第一单独配线，多个所述第一单独配线与以同所述压电元件一一对应的方式而设置的多个所述单独电极分别连接，所述配线基板具备多个第二单独配线，多个所述第二单独配线与多个所述第一单独配线分别连接，所述第二单独配线具备单独用芯部和单独用配线部，所述单独用芯部被设置在所述第二主面上并在第一方向上延伸设置，所述单独用配线部对所述单独用芯部的至少一部分进行覆盖并与所述第一单独配线连接，与每个所述压电元件列的多个压电元件连接的所述第一单独配线与所述单独用配线部连接，所述第二主面侧配线具有共同用配线部，所述共同用配线部对所述单独用芯部的至少一部分进行覆盖，并与所述第一共用配线进行连接。根据该结构，能够减小压电元件列彼此的间隔，从而相应地使压电器件小型化。此外，解决上述课题的本专利技术的其他方式为一种液体喷射头，其特征在于，具备上述方式所记载的压电器件。根据该结构，能够提供一种抑制了电串扰从而液体的喷射特性良好，且能够实现小型化的液体喷射头。此外，解决上述课题的本专利技术的其他方式为一种液体喷射装置，其特征在于，具备上述方式所记载的液体喷射头。根据该结构，能够提供一种抑制了电串扰从而液体的喷射特性良好，且能够实现小型化的液体喷射装置。附图说明图1为实施方式1所涉及的记录头的分解立体图。图2为实施方式1所涉及的记录头的俯视图。图3为实施方式1所涉及的记录头的流道形成基板的俯视图。图4为实施方式1所涉及的记录头的配线基板的俯视图。图5为实施方式1所涉及的记录头的配线基板的俯视图。图6为图2的A-A′线剖视图。图7为图6的放大图。图8为图2的B-B′线剖视图。图9为实施方式2所涉及的流道形成基板的俯视图。图10为实施方式2所涉及的配线基板的仰视图。图11为表示喷墨式记录装置的一个示例的概要图。具体实施方式实施方式1对本专利技术的一个实施方式进行详细说明。在本实施方式中，作为液体喷射头的一个示例而对喷出油墨的喷墨式记录头(以下也简称为记录头)进行说明。图1为记录头的分解立体图，图2为记录头的俯视图，图3为记录头的流道形成基板的俯视图，图4为记录头的配线基板的俯视图，图5为记录头的配线基板的俯视图，图6为图2的A-A′线剖视图，图7为图6的放大图，图8为图2的B-B′线剖视图。图2以及图4为记录头1的底面侧(液体喷射面20a侧)的俯视图，图3以及图5为记录头1的上表面侧(壳部件40侧)的俯视图。记录头1具备流道形成基板10、连通板15、喷嘴板20、配线基板30、可塑性基板45等多个部件。流道形成基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电器件，其特征在于，具备致动器基板和配线基板，所述致动器基板具备多个压电元件列，所述压电元件列具有多个压电元件，所述配线基板以与所述致动器基板对置的方式而被配置，所述压电元件列具备所述多个压电元件共用的共用电极，所述致动器基板具备与多个所述压电元件列各自的所述共用电极连接的多个第一共用配线，所述配线基板具备多个第二共用配线和多个辅助配线，多个所述第二共用配线与多个所述压电元件列各自的所述第一共用配线连接，多个所述辅助配线被埋设于形成在所述配线基板上的槽部中，所述辅助配线与所述第二共用配线分别连接，并且多个所述辅助配线不相互连接。

【技术特征摘要】
2016.02.05 JP 2016-0212581.一种压电器件，其特征在于，具备致动器基板和配线基板，所述致动器基板具备多个压电元件列，所述压电元件列具有多个压电元件，所述配线基板以与所述致动器基板对置的方式而被配置，所述压电元件列具备所述多个压电元件共用的共用电极，所述致动器基板具备与多个所述压电元件列各自的所述共用电极连接的多个第一共用配线，所述配线基板具备多个第二共用配线和多个辅助配线，多个所述第二共用配线与多个所述压电元件列各自的所述第一共用配线连接，多个所述辅助配线被埋设于形成在所述配线基板上的槽部中，所述辅助配线与所述第二共用配线分别连接，并且多个所述辅助配线不相互连接。2.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述第二共用配线具备第一主面侧配线、第二主面侧配线以及贯穿配线，所述第一主面侧配线被设置在所述配线基板的与所述致动器基板相反的一侧的第一主面上，所述第二主面配线被配置在所述配线基板的所述致动器基板侧的第二主面上，所述贯穿配线被形成于在所述配线基板的厚度方向贯穿的贯穿孔中并且对所述第一主面侧配线与所述第二主面侧配线进行连接，所述辅助配线被设置在所述第一主面或所述第二主面中的至少一方上，并且与所述第一主面侧配线...

【专利技术属性】
技术研发人员：平井荣树，高部本规，塚原克智，长沼阳一，西面宗英，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP