有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸

提供了一种有机发光显示装置及其制造方法。该有机发光显示装置包括：具有多个沟槽的基板；在基板上的薄膜晶体管；连接至薄膜晶体管的发光二极管；连接至发光二极管的阳极和阴极中之一的上辅助电极；以及在基板的所述多个沟槽中的辅助电极沟槽中并且连接至上辅助电极的下辅助电极。

【技术实现步骤摘要】
有机发光显示装置及其制造方法本申请要求于2015年12月29日提交的韩国专利申请第2015-0188439号的权益，其通过引用合并到本文中如同在本文中完全阐述一样。
本专利技术涉及有机发光显示装置及其制造方法，并且更具体地，涉及可以简化有机发光显示装置的构造并且可以减少掩模工艺的数目的有机发光显示装置及其制造方法。
技术介绍
在屏幕上显示各种信息的图像显示装置为信息通信时代的核心技术，并且正被开发为更薄、更轻并且更方便携带并仍具有较高性能。与传统重的并且体积大的阴极射线管(CRT)相比，作为具有减小重量和体积的平板显示装置的一个实例，通过控制来自有机发光层的光的发射来显示图像的有机发光显示(OLED)装置受到关注。OLED装置为具有低功耗、高响应速度、高亮度效率、高亮度以及宽视角的自发光装置。为了制造这种OLED装置，进行了使用光掩模的单独的掩模工艺。每个掩模工艺涉及一系列工艺，例如洗涤、曝光、显影以及蚀刻工艺。为此，每当增加另外的掩模工艺时，制造OLED装置的时间和成本增大，并且有缺陷的产品的产生率增大，从而导致较低的产品收率。因此，需要简化的构造以及减少掩模工艺的数目以降低生产成本、增大产品收率并且提高生产效率。
技术实现思路
因此，本专利技术涉及一种基本上避免了由于相关技术的限制和缺点所造成的一个或更多个问题的有机发光显示装置及其制造方法。本专利技术的目的是提供一种简化了有机发光显示装置的构造并且减少了掩模工艺的数目的有机发光显示装置及其制造方法。本专利技术的另一目的是提供一种具有降低的生产成本、增大的产品收率以及提高的生产效率的有机发光显示装置及其制造方法。将在下面的描述中阐述本专利技术的另外的特征和优点，并且部分根据描述将变得明显，或者可以通过本专利技术的实践获知这些另外的特征和优点。可以通过在所书写的描述和其权利要求书以及附图中特别指出的结构来实现和获得本专利技术的目的和其他优点。为了实现这些目的和其他优点，并且根据本专利技术的目标，如本文中所呈现以及宽泛描述的，一种有机发光显示装置，其包括：具有多个沟槽的基板；在基板上的薄膜晶体管；连接至薄膜晶体管的发光二极管；连接至发光二极管的阳极和阴极中之一的上辅助电极；以及在基板的多个沟槽中的辅助电极沟槽中并且连接至上辅助电极的下辅助电极。在另一方面，一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：在基板中形成多个沟槽；在多个沟槽之一中设置下辅助电极；在基板上形成薄膜晶体管；形成连接至薄膜晶体管的阳极和连接至下辅助电极的上辅助电极；在阳极上形成有机发光层；以及在有机发光层上形成阴极。应理解的是，本专利技术的前述总体描述和下面的详细描述是示例性的和说明性的，并且旨在提供所要求保护的本专利技术的进一步说明。附图说明本申请包括附图来提供对本专利技术的进一步理解并且附图并入本说明书并构成本说明书的一部分，附图示出本专利技术的实施方案并且与描述一起用于说明本专利技术的原理。在附图中：图1是示出根据本专利技术的有机发光显示装置的第一示例性实施方案的截面图；图2是示出根据本专利技术的有机发光显示装置的第二示例性实施方案的截面图；图3A至图3D是示出制造用于如图1中所示的装置的遮光层、下辅助电极、下焊盘电极、对准标记和沟槽的方法的截面图；图4A至图4D是示出制造用于如图2中所示的装置的遮光层、下辅助电极、下焊盘电极、对准标记和沟槽的方法的截面图；图5是将其中没有对基板进行表面处理的比较例其中对基板进行表面处理的实施例彼此进行比较的图；以及图6A至图6H是示出制造图1的有机发光显示装置的方法的截面图。具体实施方式在下文中，将参照附图详细描述根据本专利技术的实施方案。图1是示出根据本专利技术的有机发光显示装置的第一示例性实施方案的截面图。如图1中所示，有机发光显示装置可以包括开关薄膜晶体管(未示出)、驱动薄膜晶体管100、有机发光二极管130、存储电容器140、辅助电极160、信号焊盘150以及对准标记170。驱动薄膜晶体管100包括栅电极106、源电极108、漏电极110以及氧化物半导体层104。同时，开关薄膜晶体管具有与驱动薄膜晶体管100的构造类似的构造，并且因此包括与驱动薄膜晶体管100的部件类似的部件。栅电极106形成在可以具有与栅电极106的图案相同的图案的栅极绝缘体图案112上。栅电极106与氧化物半导体层104交叠，并且栅极绝缘体图案112介于栅电极106与氧化物半导体层104之间。栅电极106可以是由选自钼(Mo)、铝(Al)、铬(Cr)、金(Au)，钛(Ti)、镍(Ni)、钕(Nd)和铜(Cu)或其合金中任一种形成的单个层或多个层，但是不限于此。源电极108通过穿过层间绝缘膜116的源极接触孔124S连接至氧化物半导体层104。漏电极110通过穿过层间绝缘膜116的漏极接触孔124D连接至氧化物半导体层104。另外，漏电极110通过穿过保护膜118和平坦化层148的像素接触孔120连接至阳极132。源电极108和漏电极110中的每一个可以包括透明导电层172a和形成在透明导电层172a上的不透明导电层172b。透明导电层172a可以由诸如铟锡氧化物(ITO)的透明导电材料形成，不透明导电层172b可以是由选自钼(Mo)、铝(Al)、铬(Cr)、金(Au)，钛(Ti)、镍(Ni)、钕(Nd)和铜(Cu)或其合金中任一种形成的单个层或多个层，但是不限于此。氧化物半导体层104形成为在栅极绝缘体图案112下方并且与栅电极106交叠或者沿栅电极106的至少一个维度延伸到栅电极106之外，从而形成源电极108与漏电极110之间的沟道。氧化物半导体层104由包括选自Zn、Cd、Ca、In、Sn、Hf和Zr的至少一种金属的氧化物形成。可以在氧化物半导体层104与遮光层102之间以及信号链路174与下辅助电极162之间依次上下堆叠第一缓冲层126、耐热缓冲层122和第二缓冲层128，从而有效确保装置的稳定性。在此，耐热缓冲层122和第二缓冲层128可以具有相同的图案。耐热缓冲层122由介电常数比第一缓冲层126和第二缓冲层128的介电常数小的有机膜材料例如丙烯酸类树脂形成。耐热缓冲层122形成在开关/驱动薄膜晶体管100的氧化物半导体层104的下方。另外，耐热缓冲层122形成在信号链路174的下方，每个信号链路174将选自栅极线、数据线和电源线中的至少一个信号线与信号焊盘150连接。此外，耐热缓冲层122还形成在信号线与下辅助电极162(其与信号线交叉(交叠))之间。以这种方式，(a)信号线、每个信号链路以及嵌入在基板101的沟槽101a中的下辅助电极162之间的寄生电容，以及(b)开关/驱动薄膜晶体管100的每个电极与遮光层102之间的寄生电容，随着耐热缓冲层122的介电常数成比例地减小。以这种方式，信号线、每个信号链路、以及嵌入在基板101的沟槽101a中的下辅助电极162之间的信号干扰、以及开关/驱动薄膜晶体管100的每个电极与遮光层102之间的信号干扰可以最小化。第二缓冲层128以与耐热缓冲层122相同的图案形成在耐热缓冲层122上，并且用于防止在由有机膜材料形成的耐热缓冲层122中生成烟。因此，第二缓冲层128例如可以防止由于这种烟而导致薄膜晶体管100的劣化。第二缓冲层128可以以与第一缓冲层126相同的方式由S本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光显示装置，包括：具有多个沟槽的基板；在所述基板上的薄膜晶体管；连接至所述薄膜晶体管的发光二极管；连接至所述发光二极管的阳极和阴极中之一的上辅助电极；以及在所述基板的所述多个沟槽之中的辅助电极沟槽中的并且连接至所述上辅助电极的下辅助电极。

【技术特征摘要】
2015.12.29 KR 10-2015-01884391.一种有机发光显示装置，包括：具有多个沟槽的基板；在所述基板上的薄膜晶体管；连接至所述薄膜晶体管的发光二极管；连接至所述发光二极管的阳极和阴极中之一的上辅助电极；以及在所述基板的所述多个沟槽之中的辅助电极沟槽中的并且连接至所述上辅助电极的下辅助电极。2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，还包括在所述基板上的第一缓冲层。3.根据权利要求2所述的有机发光显示装置，还包括与所述薄膜晶体管交叠的遮光层，其中所述遮光层嵌入在所述基板的所述多个沟槽之中的遮光沟槽中。4.根据权利要求3所述的有机发光显示装置，还包括：耐热缓冲层；以及第二缓冲层，其中所述第一缓冲层、所述耐热缓冲层和所述第二缓冲层依次上下堆叠在所述遮光层与所述薄膜晶体管之间。5.根据权利要求4所述的有机发光显示装置，其中所述耐热缓冲层包括具有比所述第一缓冲层和所述第二缓冲层的介电常数小的介电常数的有机膜材料。6.根据权利要求3所述的有机发光显示装置，还包括嵌入在所述基板的下焊盘沟槽中的下焊盘电极、以及通过所述第一缓冲层连接至所述下焊盘电极的上焊盘电极。7.根据权利要求6所述的有机发光显示装置，还包括：位于所述下辅助电极上方的信号链路；以及连接至所述信号链路的信号焊盘，其中所述第一缓冲层、所述耐热缓冲层和所述第二缓冲层依次上下堆叠在所述下辅助电极与所述信号链路之间，以及其中：所述信号焊盘包括所述下焊盘电极和所述上焊盘电极；所述上焊盘电极通过焊盘接触孔连接至所述下焊盘电极；以及所述焊盘接触孔穿过所述第一缓冲层和层间绝缘膜。8.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，还包括对准标记，所述对准标记嵌入在所述基板的所述多个沟槽之中的对准标记沟槽中或者设置在所述基板上。9.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，还包括电连接至所述下辅助电极的中间辅助电极。10.根据权利要求9所述的有机发光显示装置，其中所述中间辅助电极包括透明导电层和形成在所述透明导电层上的不透明导电层。11.根据权利要求7所述的有机发光显示装置，其中所述下焊盘电极由与所述遮光层的材料相同的材料形成。12.一种制造有机发光显示装置的方法，所述方法包括：在基板中形成多个沟槽；在所述多个沟槽之一中设置下辅助电极；在所述基板上形成薄膜晶体管；形成连接至所述薄膜晶体管的阳极和连接至所述下辅助电极的上辅助电极；在所述阳极上形成有机发光层；以及在所述有机发光层上形成阴极。13.根据权利要求12所述的方法，其中形成所述多个沟槽包括：在所述基板上形成光致抗蚀剂图案；以及利用所述光致抗蚀剂图案通过蚀刻所述基板形成所述沟槽，以及其中设置所述下辅助电极包括：遍及所述基板的表面以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：南敬真，金正五，金容玟，朴恩荣，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR