液体喷出头、液体喷出设备及制造方法技术

提供一种能够抑制压力室的压力变化的液体喷出头、液体喷出设备及制造方法。因此，在晶圆状的元件基板上形成盖构件，将该元件基板切割成芯片以制造打印元件基板。

Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus and manufacturing method

A liquid ejecting head, a liquid ejecting apparatus, and a method of manufacturing are disclosed that can suppress pressure variations in a pressure chamber. Thus, a cover member is formed on a wafer like element substrate to cut the element substrate into a chip to produce a printed element substrate.

【技术实现步骤摘要】
液体喷出头、液体喷出设备及制造方法
本专利技术涉及从喷出口喷出液体的液体喷出头、液体喷出设备及制造方法。
技术介绍
近年来，由于打印设备被用于各种用途，因此存在对高精度和高品质打印操作的越来越多的要求。为了以更高的精度打印图像，需要在液体喷出头中高密度地配置多个喷出口，该液体喷出头能够选择性地喷出来自多个喷出口的液体。此外，为了高品质地打印图像，需要喷出具有均一尺寸的液滴。为了高密度地配置喷出口，还需要减小至喷出口的液体供给流路的尺寸。美国专利第7347534号的说明书公开了一种用于将墨供给到元件基板的构件的加工方法。这里，通过在行式头(linetypehead)的长度方向上一体化的密封膜来层叠头支撑构件并且通过激光加工供给开口。随后，将打印元件基板安装在设置有供给开口的密封膜上。然而，在美国专利第7347534号的说明书公开的方法中，在用作打印元件基板的支撑构件的密封膜中加工供给开口并且使打印元件基板以与所形成的供给开口对应地定位的方式安装在密封膜上。在这种构造中，从打印元件基板的背面附近的流路和密封膜的供给开口的定位精度的观点出发，难以实现供给开口或打印元件基板的背面附近的流路的尺寸的进一步减小或密度的进一步增大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够实现打印元件基板的背面附近的流路结构的尺寸进一步减小或密度进一步增大的液体喷出头、液体喷出设备及制造方法。为此，根据本专利技术，提供了一种如下的液体喷出头的制造方法，该液体喷出头包括元件基板，所述元件基板包括：喷出液体的多个喷出口；被设置成与多个喷出口中的每一个喷出口对应且产生用于从喷出口喷出液体的能量的元件；以及将液体供给到喷出口的供给路径，该方法包括：盖构件形成步骤，其用于形成在彼此相邻邻接的多个元件基板的与设置有喷出口的面相反的面形成有与供给路径连通的开口的盖构件；以及切割步骤，其在盖构件形成步骤之后将多个邻接的元件基板切成芯片。一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括元件基板，所述元件基板包括：喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件以及内部设置该元件的压力室，所述方法包括：制备在元件基板的设置有所述喷出口的面的背面处设置有将液体供给到所述压力室的供给路径的所述元件基板；在设置有所述供给路径的所述元件基板的背面设置膜状的盖构件以覆盖所述供给路径；以及在所述盖构件处形成与所述供给路径连通的多个供给开口。一种液体喷出头，其包括：元件基板，所述元件基板包括喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件以及内部设置该元件的压力室；以及树脂膜，所述树脂膜包括向所述压力室供给液体的供给开口，其中，液体路径的一部分由所述树脂膜形成，并且设置与所述压力室和所述供给开口连通的供给路径，所述树脂膜的外形部分地小于所述元件基板的外形，以便不从所述元件基板的外形突出。一种喷出液体的液体喷出头，其包括：元件基板，所述元件基板包括喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件和内部设置该元件的压力室；以及树脂膜，所述树脂膜设置于所述元件基板的设置有所述喷出口的面的背面，并且所述树脂膜包括向所述压力室供给液体的供给开口和从所述压力室回收液体的回收开口，其中，所述元件基板的背面设置有将从所述供给开口供给的液体供给到所述压力室的供给路径和将从所述压力室回收的液体回收到所述回收开口的回收路径，并且所述供给路径的一部分和所述回收路径的一部分由所述树脂膜形成。一种液体喷出设备，其具有液体喷出头，所述液体喷出头包括元件基板和树脂膜，所述元件基板包括：喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件以及内部设置该元件的压力室，所述树脂膜设置在所述元件基板的设置有所述喷出口的面的背面并且所述树脂膜包括向所述压力室供给液体的供给开口和从所述压力室回收液体的回收开口，其中，所述元件基板的背面设置有将从所述供给开口供给的液体供给到所述压力室的供给路径和将从所述压力室回收的液体回收到所述回收开口的回收路径，并且所述供给路径和所述回收路径的一部分由所述树脂膜形成。根据本专利技术，可以实现能够抑制压力室的压力变化的液体喷出头、液体喷出设备及制造方法。通过以下对示例性实施方式的说明(参照附图)，本专利技术的其它特征将变得明显。附图说明图1是示出喷出液体的液体喷出设备的示意性构造的图；图2是示出适用于打印设备的循环路径中的第一循环模式的示意图；图3是示出适用于打印设备的循环路径中的第二循环模式的示意图；图4是示出至液体喷出头的墨流入量的差异的示意图；图5A是示出液体喷出头的立体图；图5B是示出液体喷出头的立体图；图6是示出构成液体喷出头的部件或单元的分解立体图；图7是示出第一流路构件至第三流路构件的正面和背面的图；图8是示出图7的(a)的部分α的当从喷出模块安装面观察时的透视图；图9是沿着图8的线IX-IX截取的截面图；图10A是示出一个喷出模块的立体图；图10B是示出一个喷出模块的分解图；图11A是示出打印元件基板的图；图11B是示出打印元件基板的图；图11C是示出打印元件基板的图；图12是示出打印元件基板和盖构件的截面的立体图；图13是打印元件基板的邻接部的局部放大俯视图；图14A是示出液体喷出头的立体图；图14B是示出液体喷出头的立体图；图15是示出液体喷出头的斜视分解图；图16是示出第一流路构件的图；图17是示出打印元件基板与流路构件之间的液体连接关系的透视图；图18是沿着图17的线XVIII-XVIII截取的截面图；图19A是示出一个喷出模块的立体图；图19B是示出一个喷出模块的分解图；图20是示出打印元件基板的示意图；图21是示出通过喷出液体来打印图像的喷墨打印设备的图；图22是示出打印元件基板和盖构件的图；图23A是示出液体喷出头的立体图；图23B是示出液体喷出头的立体图；图23C是示出液体喷出头的立体图；图23D是示出液体喷出头的立体图；图23E是示出液体喷出头的立体图；图24A是示出液体喷出打印设备的概要的图；图24B是示出液体喷出打印设备的概要的图；图24C是示出液体喷出打印设备的流路结构的图；图25是示出液体喷出单元的分解立体图；图26是示出液体喷出单元的分解立体图；图27是示出与第一流路层的局部放大图重叠的喷出口的图；图28是示出第二流路层的液体供给路径和液体回收路径的截面图；图29是示出第二流路层的液体供给路径和液体回收路径的立体图；图30是示出液体喷出头的制造过程的示例的流程图；图31A是示出打印元件基板的图；图31B是示出打印元件基板的图；图32A是沿着图31A的线XXXII-XXXII截取的截面图；图32B是沿着图31A的线XXXII-XXXII截取的截面图；图32C是沿着图31A的线XXXII-XXXII截取的截面图；图32D是沿着图31A的线XXXII-XXXII截取的截面图；图32E是沿着图31A的线XXXII-XXXII截取的截面图；图32F是沿着图31A的线XXXII-XXXII截取的截面图；图33A是沿着图31A的线XXXII-XXXII截取的截面图；图33B是沿着图31A的线XXXII-XXXII截取本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括元件基板，所述元件基板包括：喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件以及内部设置该元件的压力室，其特征在于，所述方法包括：制备在元件基板的设置有所述喷出口的面的背面处设置有将液体供给到所述压力室的供给路径的所述元件基板；在设置有所述供给路径的所述元件基板的背面设置膜状的盖构件以覆盖所述供给路径；以及在所述盖构件处形成与所述供给路径连通的多个供给开口。

【技术特征摘要】
2016.01.08 JP 2016-003077;2016.12.09 JP 2016-239691.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括元件基板，所述元件基板包括：喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件以及内部设置该元件的压力室，其特征在于，所述方法包括：制备在元件基板的设置有所述喷出口的面的背面处设置有将液体供给到所述压力室的供给路径的所述元件基板；在设置有所述供给路径的所述元件基板的背面设置膜状的盖构件以覆盖所述供给路径；以及在所述盖构件处形成与所述供给路径连通的多个供给开口。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述盖构件是感光性树脂膜，并且盖构件形成步骤至少包括将所述盖构件转印到所述元件基板的背面的转印步骤、使所述盖构件曝光的曝光步骤和使所述盖构件显影的显影步骤。3.根据权利要求2所述的方法，其中，在元件基板制备步骤中，将多个所述元件基板形成为晶圆，并且在供给开口形成步骤之后执行切割步骤以将所述晶圆切割成多个所述元件基板。4.根据权利要求2所述的方法，其中，在元件基板制备步骤中，所述元件基板的背面设置有回收所述压力室的液体的回收路径，在盖构件形成步骤中，所述元件基板的背面设置有覆盖所述回收路径的所述盖构件，并且在供给开口形成步骤中，所述盖构件设置有与所述回收路径连通并且比所述回收路径小的多个回收开口。5.一种液体喷出头，其包括：元件基板，所述元件基板包括喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件以及内部设置该元件的压力室；以及树脂膜，所述树脂膜包括向所述压力室供给液体的供给开口，其特征在于，液体路径的一部分由所述树脂膜形成，并且设置与所述压力室和所述供给开口连通的供给路径，所述树脂膜的外形部分地小于所述元件基板的外形，以便不从所述元件基板的外形突出。6.根据权利要求5所述的液体喷出头，其中，所述元件基板的背面设置有由所述树脂膜形成的液体路径的一部分和回收所述压力室的液体的回收路径，所述树脂膜设置有与所述回收路径连通的回收开口。7.一种喷出液体的液体喷出头，其包括：元件基板，所述元件基板包括喷出液体的喷出口、被设置为与所述喷出口对应并产生用于从所述喷出口喷出液体的能量的元件和内部设置该元件的压力室；以及树脂膜，所述树脂膜设置于所述元件基板的设置有所述喷出口的面的背面，并且所述树脂膜包括向所述压力室供给液体的供给开口和从所述压力室回收液体的回收开口，其特征在于，所述元件基板的背面设置有将从所述供给开口供给的液体供给到所述压力室的供给路径和将从所述压力室回收的液体回收到所述回收开口的回收路径，并且所述供给路径的一部分和所述回收路径的一部分由所述树脂膜形成。8.根据权利要求7所述的液体喷出头，其中，所述供给路径和所述回收路径被设置成与排列有多个所述喷出口的喷出口列的在用作所述喷出口列的延伸方向的第一方向上的长度对应。9.根据权利要求8所述的液体喷出头，其中，所述供给路径和所述回收路径在与所述第一方向相交的第二方向上交替配置。...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥岛真吾，青木孝纲，刈田诚一郎，永井议靖，佐藤环树，石川哲史，富永康亮，大塚学，岩永周三，森达郎，山田和弘，山本辉，为永善太郎，斋藤昭男，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP