【技术实现步骤摘要】
一种四束分光的等光程分光棱镜组装置
本专利技术涉及光干涉计量测试领域,特别是一种四束分光的等光程分光棱镜组装置。
技术介绍
移相干涉测量技术是指通过对干涉场的调制产生移相,再由所采集到的若干幅移相干涉图像利用一定算法,恢复待测物理量的一项测量技术。利用移相技术,可以通过干涉图之间简单的点对点计算来复原相位,不需要定位条纹中心,也不需要利用插值等算法拟合相位,因此移相干涉技术显著提高了干涉测量的精度和自动化程度。移相方式可以分为时域移相和空域移相。相对于时域移相,空域移相(即同步移相)的干涉测量技术可以很好的减轻环境振动和空气扰动对干涉测量的影响,提高测量的准确性和稳定性。空域移相(即同步移相)需要在同一时间内获得多幅干涉图像,因此需要在干涉测试装置中设计分光光路,而分光光路的设计会对探测器上获得的干涉图像的对比度、分辨率等重要性质产生直接影响。在先前的研究中,HongyiBai等人提出了一种利用反射光栅分光并移相的点衍射移相干涉测试装置(HongyiBai,MingguangShan,ZhiZhong,LiliGuo,YabinZhang,Commonpathin ...
【技术保护点】
一种四束分光的等光程分光棱镜组装置,其特征在于:包括λ/4波片(1)、第一分光棱镜组(2)、第二分光棱镜组(3)、第三分光棱镜组(4)偏振阵列(14)和探测器(15),第一分光棱镜组(2)包括第一三角棱镜(5)、第二三角棱镜(6)和第三三角棱镜(7),第二三角棱镜(6)和第三三角棱镜(7)形状、大小完全相同,第二三角棱镜(6)和第三三角棱镜(7)的两条长直角边所在的矩形面紧密贴合,两条短直角边所在的矩形面共面,第一三角棱镜(5)的斜边所在的矩形面上靠近长直角边的一侧开有凹槽,第三三角棱镜(7)的斜边所在的矩形面与第一三角棱镜(5)的斜边所在的矩形面开有凹槽的一侧紧密贴合,所 ...
【技术特征摘要】
1.一种四束分光的等光程分光棱镜组装置,其特征在于:包括λ/4波片(1)、第一分光棱镜组(2)、第二分光棱镜组(3)、第三分光棱镜组(4)偏振阵列(14)和探测器(15),第一分光棱镜组(2)包括第一三角棱镜(5)、第二三角棱镜(6)和第三三角棱镜(7),第二三角棱镜(6)和第三三角棱镜(7)形状、大小完全相同,第二三角棱镜(6)和第三三角棱镜(7)的两条长直角边所在的矩形面紧密贴合,两条短直角边所在的矩形面共面,第一三角棱镜(5)的斜边所在的矩形面上靠近长直角边的一侧开有凹槽,第三三角棱镜(7)的斜边所在的矩形面与第一三角棱镜(5)的斜边所在的矩形面开有凹槽的一侧紧密贴合,所述凹槽长度小于第三三角棱镜(7)的斜边长度;第二分光棱镜组(3)包括第四三角棱镜(8)、第五三角棱镜(9)和第六三角棱镜(10),第三分光棱镜组(4)包括第七三角棱镜(11)、第八三角棱镜(12)和第九三角棱镜(13),第二分光棱镜组(3)和第三分光棱镜组(4)的形状、大小与第一分光棱镜组(2)完全相同;第一分光棱镜组(2)中第二三角棱镜(6)的短直角边所在的矩形面与第二分光棱镜组(3)中第四三角棱镜(8)的短直角边所在的矩形面紧密贴合;第一分光棱镜组(2)中第三三角棱镜(7)的短直角边所在的矩形面与第三分光棱镜组(4)中第七三角棱镜(11)的短直角边所在的矩形面紧密贴合。2.根据权利要求1所述的四束分光的等光程分光棱镜组装置,其特征在于:所述第一分光棱镜组(2)中第一三角棱镜(5)的长直角边所在的矩形面镀有高反膜,第二三角棱镜(6)长直角边所在的矩形面与第三三角棱镜(7)长直角边所在的矩形面之间夹有一层半透半反膜;第二分光棱镜组(3)中第四三角棱镜(8)的长直角边所在的矩形面镀有高反膜,第五三角棱镜(9)长直角边所在的矩形面与第六三角棱镜(10)长直角边所在的矩形面之间夹有一层半透半反膜;第三分光棱镜组(4)中第七三角棱镜(11)的长直角边所在的矩形面镀有高反膜,第八三角棱镜(12)长直角边所在的矩形面与第九三角棱镜(13)长直角边所在的矩形面之间夹有一层半透半反膜。3.根据权利要求1或2所述的四束分光的等光程分光棱镜组装置,其特征在于:合束后的参考光和测试光透过λ/4波片(1)后,变为正交的圆偏光,从第一分光棱镜组(2)中第一三角棱镜(5)的短直角边所在的矩形面入射后,在第一三角...
【专利技术属性】
技术研发人员:周翔,张辉钦,郭仁慧,蒋超,郑东晖,陈磊,李建欣,何勇,
申请(专利权)人:南京理工大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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