The utility model discloses an automatic coaxial micro stretching clamp. The fixture includes a coaxial set first stretching block and the first stage, the first micro structure of steel wire, steel wire, second specimens, second stage, second tensile block, the micro structure between the specimen is arranged in the first block and the second block stretch stretch, the first stage in the first stretch end block inside, the first stage is arranged on the first ball, the first ball can rotate, the second stage on the other end of the second tension within the block, the second ball can rotate, the first block, the first ball, stretching second ball, second block stretch of the first wire coaxial. Through the first stage is connected with the first ball, the second wire through the second stage and the second ball. The clamping device of the utility model is provided with a ball device to make the tensile load of both ends of the micro structural specimen both coaxial and the tensile surface perpendicular to the applied tensile load, thereby improving the success rate of the tensile test.
【技术实现步骤摘要】
一种自动共轴微拉伸夹具
本技术涉及MEMS件制造领域,具体涉及一种自动共轴微拉伸夹具。
技术介绍
对于键合试件的键合界面质量,目前存在着各种不同的性能表征参数。这些键合界面表征参数间的相互关系需要视具体的应用而定。每种性能参数都只对应于某类具体的实验方法,有各自相应的适用范围。键合界面的结合强度是衡量键合质量的重要参数。键合强度可以通过键合界面Dupré粘着功或断裂表面能等参量来表征,但是用不同实验方法得到的这些参数具有较大的差异。目前检测键合界面结合质量普遍采用较大的传统标准尺寸试件和拉伸实验方法,但是由于实际微器件中键合界面的尺度远小于传统拉伸实验用的键合试件尺度,导致传统试件的结构边界条件与实际微器件键合区域的结构边界条件存在较大差异,从而影响了传统拉伸试件实验结果的可参考性。为了使拉伸强度试验能够更真实反映MEMS器件中实际键合结构的键合界面强度,因此需要采用具有与实际MEMS器件中键合界面尺度量级相当的小尺度键合结构试件。而此类小尺度键合结构试件由于结构尺寸小,同时破坏载荷也远小于传统试件,无法使用传统的拉伸实验夹具装夹此类微小试件。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种自动共轴微拉伸夹具,用以解决在小型拉伸实验仪上装夹微结构拉伸试件,确保微结构试件在安装过程中避免安装应力对试件的破坏,同时保持试件两端所受拉伸载荷共轴、受拉伸面与所施加的拉伸载荷垂直。为解决现有技术问题,本技术采取的技术方案为:一种自动共轴微拉伸夹具,包括共轴设置的第一拉伸块、第一载物台、第一钢丝、微结构试件、第二钢丝、第二载物台、第二拉伸块,所述微结构试件设于 ...
【技术保护点】
一种自动共轴微拉伸夹具,其特征在于,包括共轴设置的第一拉伸块(1)、第一载物台(2)、第一钢丝(3)、微结构试件(4)、第二钢丝(5)、第二载物台(6)、第二拉伸块(7),所述微结构试件(4)设于第一拉伸块(1)和第二拉伸块(7)之间,所述第一载物台(2)位于第一拉伸块(1)内部的另一端,所述第一载物台(2)上设有第一滚珠(8),所述第一滚珠(8)可转动,所述第二载物台(6)位于第二拉伸块(7)内部的另一端,所述第二载物台(6)上设有第二滚珠(9),所述第二滚珠(9)可转动,所述第一拉伸块(1)、第一滚珠(8)、第二滚珠(9)、第二拉伸块(7)共轴,所述第一钢丝(3)穿过第一载物台(2)与第一滚珠(8)相连,所述第二钢丝(5)穿过第二载物台(6)与第二滚珠(9)相连。
【技术特征摘要】
1.一种自动共轴微拉伸夹具,其特征在于,包括共轴设置的第一拉伸块(1)、第一载物台(2)、第一钢丝(3)、微结构试件(4)、第二钢丝(5)、第二载物台(6)、第二拉伸块(7),所述微结构试件(4)设于第一拉伸块(1)和第二拉伸块(7)之间,所述第一载物台(2)位于第一拉伸块(1)内部的另一端,所述第一载物台(2)上设有第一滚珠(8),所述第一滚珠(8)可转动,所述第二载物台(6)位于第二拉伸块(7)内部的另一端,所述第二载物台(6)上设有第二滚珠(9),所述第二滚珠(9)可转动,所述第一拉伸块(1)、第一滚珠(8)、第二滚珠(9)、第二拉伸块(7)共轴,所述第一钢丝(3)穿过第一载物台(2)与第一滚珠(8)相连,所述第二钢丝(5)穿过第二载物台(6)与第二滚珠(9)相连。2.根据权利要求1所述的自动共轴微拉伸夹具,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘伟,胡宇群,陈川,
申请(专利权)人:南京航空航天大学,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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