The utility model relates to a testing aspheric optical distance measurement system, which belongs to the field of aspheric surface testing, the system includes sequentially along the optical path of the mirror plate, cross positioning, differentiation Offner compensator, the measured aspheric lens, five dimensional adjusting frame two, five dimensional adjusting frame three, four and five dimensional adjusting frame five dimensional adjusting frame five; the mirror positioner is placed in the five dimensional adjusting frame five, the cross plate is placed on the differentiation of the five dimensional adjusting frame four, the Offner compensator placed in five dimensional adjusting frame two and the measured aspheric mirror is placed in a five dimensional adjusting frame three; the mirror positioning instrument cross board, Offner, differentiation of compensator and the measured aspheric lens composed of light path and the best measured surface of the aspheric lens shaped optical detection optical axis; between the mirror positioner and the cross plate is greater than the distance between the mirror set differentiation The working distance of the meter is that the mirror positioning device is connected with the PC machine. The measuring accuracy of the utility model is about 0.05mm, and the detection accuracy is high, and the non-contact measurement is adopted.
【技术实现步骤摘要】
一种非球面检测光路中光学间隔测量系统
本技术属于光学检测领域,尤其涉及一种带有Offner补偿器的非球面检测光路中光学间隔非接触精密测量的系统。
技术介绍
在非球面镜加工检测过程中,经常会借助补偿器实现干涉检测。补偿器按类型可分为折射式光学补偿器、反射式光学补偿器和衍射式光学补偿器。Offner补偿器属于折射式补偿器中最常用的一种,一般由两片透镜组成,可将干涉仪发出的平面波或球面波转换成非球面波经被检非球面反射后再次经补偿器回到干涉仪,与参考光束形成干涉条纹。采用激光干涉仪配备合适F数的球面标准镜头即可实现非球面面形的干涉检测。在光学非球面的设计制造中,顶点曲率半径R、二次常数K等几何参数是表述非球面的重要参数,然而这两个几何参数不能直接测量,只有通过测量激光干涉仪标准镜头、Offner补偿器与被测非球面镜之间的光学间隔,并将其带入到光学设计软件进行复算得到顶点曲率半径R、二次常数K,所以说只有将这些检测光路中的光学间隔控制在其设计的公差范围内,并能精确测量,这样才能够满足非球面的加工制造检测及使用要求。目前,对于带有Offner补偿器的非球面检测光路光学间隔通常采用钢卷尺或固定长度的间隔测量杆等工具进行测量。这种测量方法采用人为估读的方式,很难准确定位在各个表面的顶点位置,测量精度较低,约为0.5mm;该方法是一种接触式测量方法,存在镜面被划伤的风险,而且也存在由于光学间隔距离较短无法用钢卷尺或测量杆进行测量的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种非接触式并且能够精密测量带有Offner补偿器的非球面检测光路中的光学间隔的系统及检测方法。本技术 ...
【技术保护点】
一种非球面检测光路中光学间隔测量系统,其特征在于:包括沿光路依次设置的镜面定位仪、十字分化板、Offner补偿器、被测非球面镜、五维调整架二、五维调整架三、五维调整架四和五维调整架五;所述镜面定位仪放置在五维调整架五上,所述十字分化板放置在五维调整架四上,所述Offner补偿器放置在五维调整架二上,所述被测非球面镜放置在五维调整架三上;所述镜面定位仪、十字分化板、Offner补偿器和被测非球面镜组成的光路与被测非球面镜的最佳面形检测光路共光轴;所述镜面定位仪与十字分化板之间的距离大于镜面定位仪的工作距;所述镜面定位仪和PC机连接。
【技术特征摘要】
2016.09.28 CN 20161085973441.一种非球面检测光路中光学间隔测量系统,其特征在于:包括沿光路依次设置的镜面定位仪、十字分化板、Offner补偿器、被测非球面镜、五维调整架二、五维调整架三、五维调整架四和五维调整架五;所述镜面定位仪放置在五维调整架五上,所述十字分化板放置在五维调整架四上,所述Offner补偿器放置在五维调整架二上,所述被测非球面镜放置在五维调整架三上;所述镜面定位仪、十字...
【专利技术属性】
技术研发人员:付西红,李华,马娜娜,刘杰,宋冲,李硕,
申请(专利权)人:中国科学院西安光学精密机械研究所,
类型:新型
国别省市:陕西,61
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