一种集成MEMS传感的超高频RFID标签及读出装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种集成MEMS传感的超高频RFID标签，包括集成为一体的MEMS传感器基片和超高频RFID基片，所述MEMS传感器基片包括机械元件、机械量转电量元件和信号处理电路，所述机械元件、机械量转电量元件和信号处理电路依次连接，所述超高频RFID基片包括微型印刷天线、射频电路模块、模拟电路模块和数字电路模块，所述微型印刷天线、射频电路模块、模拟电路模块和数字电路模块依次连接。本发明专利技术还明公开了该标签的读写装置。本发明专利技术的RFID标签芯片可通过微型印刷微型印刷天线采集10米外的10微瓦能量，MEMS和RFID单芯片集成可解决传感芯片即时通电、即时读取、即时关闭电源的难题。本发明专利技术可以将传感器的实时信息进行传递。

UHF RFID tag and readout device integrated with MEMS sensing

The invention discloses an integrated MEMS sensor of UHF RFID tags, including integrated MEMS sensor substrate as a whole and ultra high frequency RFID substrate, the MEMS sensor substrate including mechanical components, mechanical energy transfer element and the signal processing circuit, the mechanical components, mechanical energy transfer element and signal processing the control circuit, the UHF RFID substrate includes micro printed antenna, RF circuit module, analog circuit and digital circuit module, the micro printed antenna, RF circuit module, analog circuit module and digital circuit module are sequentially connected. The invention also discloses a read-write device for the label. The RFID tag chip of the invention can be printed by the micro miniature printed antenna acquisition 10 meters outside the 10 MW energy, MEMS and RFID single chip integrated sensor chip to solve the problem of real-time electricity, instant read, instant power off. The invention can transmit the real-time information of the sensor.

【技术实现步骤摘要】
一种集成MEMS传感的超高频RFID标签及读出装置
本专利技术涉及RFID领域，尤其涉及一种集成MEMS传感的超高频RFID标签及读出装置。
技术介绍
当今的趋势，无论是物联网的发展、智能手机的热潮、移动网络的崛起，都和传感器有着密切的关系。传感器已经渗透到我们日常生活，存在于每个角落，大到汽车、工业设备，小到手机，都大量使用了各种传感器——这正符合了智能化的潮流，而传感器则是其中最基本也是最重要的一环。传感器种类多样，因此根据用途、原理都有特定的分类。例如接近传感器、霍尔传感器、温度/压力传感器、电流传感器等等。而传感技术在近年来也得到了长足的发展，MEMS就是最具代表性的例子，完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统，能够将信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平，还能够使得制造商能将一件产品的所有功能集成到单个芯片上，从而降低成本，适用于大规模生产。大把事故MEMS传感器无法实时上传信息到云端，无法及时获取信息。
技术实现思路
专利技术目的：本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成MEMS传感的超高频RFID标签，其特征在于：包括集成为一体的MEMS传感器基片和超高频RFID基片，所述MEMS传感器基片包括机械元件、机械量转电量元件和信号处理电路，所述机械元件、机械量转电量元件和信号处理电路依次连接，所述超高频RFID基片包括微型印刷天线、射频电路模块、模拟电路模块和数字电路模块，所述微型印刷天线、射频电路模块、模拟电路模块和数字电路模块依次连接,所述MEMS传感器基片的信号处理电路还连接至所述超高频RFID基片的数字电路模块。

【技术特征摘要】
1.一种集成MEMS传感的超高频RFID标签，其特征在于：包括集成为一体的MEMS传感器基片和超高频RFID基片，所述MEMS传感器基片包括机械元件、机械量转电量元件和信号处理电路，所述机械元件、机械量转电量元件和信号处理电路依次连接，所述超高频RFID基片包括微型印刷天线、射频电路模块、模拟电路模块和数字电路模块，所述微型印刷天线、射频电路模块、模拟电路模块和数字电路模块依次连接,所述MEMS传感器基片的信号处理电路还连接至所述超高频RFID基片的数字电路模块。2.根据权利要求1所述的集成MEMS传感的超高频RFID标签，其特征在于：所述射频电路模块包括匹配网络、静电释放器、调制器、解调器和整流电路，所述匹配网络连接微型印刷天线，所述静电释放器、调制器、解调器和整流电路分别连接所述匹配网络。3.根据权利要求2所述的集成MEMS传感的超高频RFID标签，其特征在于：所述模拟电路模块包括稳压电路、时钟电路和上电复位电路，所述稳压电路分别连接所述调制器、解调器和整流电路，所述时钟电路和上电复位电路相互连接。4.根据权利要求3所述的集成MEMS传感的超高频...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱晓东，阮昊，
申请(专利权)人：智坤江苏半导体有限公司，上海智坤半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32