光学传感器制造技术

一种光学传感器，包括：光传送器；光接收器；评估单元；至少一个镜单元，其包括多个微镜元件，微镜元件具有至少局部的反射表面并包括电连接到所述微镜元件的电极装置；以及控制装置，其被配置为通过控制所述电极装置在至少两个不同的功能状态之间调节所述镜单元。镜单元包括至少基本上透明的基底，微镜元件设置在该基底上。控制装置被配置为将镜单元暂时设置为透射状态，透射状态中微镜元件处于打开位置并且入射到镜单元上的光辐射以穿过透明基底的方式经过微镜元件。

Optical sensor

An optical sensor includes a light transmitter; optical receiver; evaluation unit; at least one mirror unit, which comprises a plurality of micro mirror, micro mirror element has at least partial reflection surface and includes electrode device is electrically connected to the micro mirror element; and a control device configured to adjust the the mirror unit between at least two different function by controlling the electrode device. The mirror unit includes at least substantially transparent base, and the micromirror element is disposed on the substrate. Control device is configured to temporarily set mirror unit for transmission, transmission state of micro mirror is in the open position and the incident light radiation on the mirror unit through the transparent substrate through micro mirror element.

【技术实现步骤摘要】
光学传感器
本专利技术涉及一种光学传感器，包括：光传送器，用于将传送光束传输到测量区域中；光接收器，用于接收来自所述测量区域的接收光束；评估单元，用于使用由所述光接收器接收的接收光束来确定所述测量区域的性质；至少一个镜单元，用于控制所述传送光束和/或所述接收光束，所述镜单元包括多个微镜元件，微镜元件具有至少局部的反射表面并包括电连接到所述微镜元件的电极装置；以及控制装置，其被配置为通过控制所述电极装置在至少两个不同的功能状态之间调整至少一个所述镜单元。
技术介绍
这样的传感器通过多种方式，例如以灰尘测量单元、雾测量单元、气体浓度测量单元、光谱仪等的形式，用于监测工作和测量工作。在该过程中，取决于运用，光接收器检测透射通过测量区域的光、从测量区域反射的光或是从测量区域散射到特定空间角度区域的光。光学传感器的另一个应用领域是识别物体或确定位于测量区域中的物体的特定性质。光传感器、挡光板、光栅、颜色传感器或扫描仪被用于这样的工作。基于可移动的、电接触的微镜元件的布置的镜单元在本
中也被称为微镜阵列或MEMS镜阵列(MEMS＝微机电系统)。与具有可移动的宏观镜或分束器的光束成形光学器件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学传感器(11)，包括：光传送器(13)，用于将传送光束(15)传送到测量区域(12)中；光接收器(17)，用于接收来自所述测量区域(12)的接收光束(19)；评估单元，用于使用由所述光接收器(17)接收的所述接收光束(19)来确定所述测量区域(12)的性质；至少一个镜单元(27、35、49)，用于散射所述传送光束(15)和/或所述接收光束(19)，其中所述镜单元(27、35、49)包括多个微镜元件(39)，所述多个微镜元件具有至少局部的反射表面并包括电连接到所述微镜元件(39)的电极装置；以及控制装置，配置成通过控制所述电极装置来在至少两个不同的功能状态之间调整所述至少一个镜单元(27...

【技术特征摘要】
2016.01.18 EP 16151704.01.一种光学传感器(11)，包括：光传送器(13)，用于将传送光束(15)传送到测量区域(12)中；光接收器(17)，用于接收来自所述测量区域(12)的接收光束(19)；评估单元，用于使用由所述光接收器(17)接收的所述接收光束(19)来确定所述测量区域(12)的性质；至少一个镜单元(27、35、49)，用于散射所述传送光束(15)和/或所述接收光束(19)，其中所述镜单元(27、35、49)包括多个微镜元件(39)，所述多个微镜元件具有至少局部的反射表面并包括电连接到所述微镜元件(39)的电极装置；以及控制装置，配置成通过控制所述电极装置来在至少两个不同的功能状态之间调整所述至少一个镜单元(27、35、49)，其特征在于：所述镜单元(27、35、49)包括至少基本上透明的基底(37)，所述微镜元件(39)布置在所述基底(37)处；并且所述控制装置被配置成将所述镜单元(27、35、49)暂时设置为透射状态，在所述透射状态中，所述微镜元件(39)处于打开位置，并且入射到所述镜单元(27、35、49)上的光辐射以穿过透明基底(37)的方式移动经过微镜元件(39)。2.根据权利要求1所述的光学传感器，其特征在于：当所述镜单元(27、35)被设置为透射状态时，所述传送光束(15)移动穿过所述镜单元(27、35)的所述基底(37)而不通过所述测量区域(12)到达所述光接收器(17)。3.根据权利要求1或2所述的光学传感器，其特征在于：所述控制装置被配置成在存在控制标准、比较标准或校正标准时将所述镜单元(27、35、49)设置为透射状态。4.根据前述权利要求中任一项所述的光学传感器，其特征在于：当所述镜单元(27、35、49)被设置为所述透射状态时，所述微镜元件(39)各自相对于所述基底(37)的光入射面(45)以倾斜角(α)倾斜，其中所述倾斜角(α)优选在40°和50°之间。5.根据前述权利要求中任一项所述的光学传感器，其特征在于：所述镜单元(27、35、49)被布置为使得当所述镜单元(27、35、49)被设置为所述透射状态时，所述微镜元件(39)至少与所述传送光束(15)或所述接收光束(19)的主入射方向基本平行地对准。6.根据前述权利要求中任一项所述的光学传感器，其特征在于：所述控制装置被配置成将所述至少一个镜单元(27、35、49)暂时设置为反射状态，所述反射状态中所述微镜元件(39)至少部分地覆盖所述镜单元(27、35、49)的光入射面(45)或光出射面，优选地至少其75％，特别优选地至少其90％。7.根据权利要求6所述的光学传感器，其特征在于：所述控制装置被配置成在传感器运作期间在所述反射状态和所述透射状态之间循环地调节所述镜单元(27、35、49)。8.根据权利要求6或7所述的光学传感器，其特征在于：所述光传送器(13)和所述光接收器(17)布置在直线光路上，并且所述测量区域(12)与所述直线光路间隔开，在所述镜单元(27)被设置为所述反射状态时，所述镜单元(27)将所述传送光束(15)从所述直线光路中去耦合，并将所述传送光束(15)偏转到所述测量区域(12)中。9.根据权利要求8所述的光学传感器，其特征在于：所述传感器(11)包括另外的镜单元(35)，所述另外的镜单元包...

【专利技术属性】
技术研发人员：卡伊·克林德，
申请(专利权)人：西克工程有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE