The utility model relates to a vacuum adsorption air conveying device, the device comprises: a work platform, working platform, carrying four base gap spacing mechanism and a vacuum adsorption air moving aspirated pneumatic control system; working platform for the process equipment work platform, configuration structure, function mechanism motion process the process and frame process equipment; on the moving platform for process equipment under the material conveying equipment conveying platform, configuration related movement composed of automatic feeding shifting equipment; column base gap spacing mechanism and working platform and moving platform is connected on the vacuum flotation; the adsorption air control system and move under the working platform and moving platform connection. The utility model has the advantages of ultra-thin glass substrate workpiece, ultra-thin flexible display substrate process on the material conveying workpiece deformation, greatly improve the yield, so as to achieve large-scale, automated production line manufacturing.
【技术实现步骤摘要】
一种气浮真空吸附搬送装置
本技术涉及半导体微电子、平板显示及光电子
,具体而言,本技术涉及一种应用于半导体微电子、平板显示及光电子
的工件搬送装置。
技术介绍
超薄玻璃0.1-1.5mm,极超薄玻璃<0.1mm,超薄玻璃0.3-1.1mm通常用于液晶显示LCD玻璃基板工件、有机发光显示OLED玻璃基板工件和触摸屏等工件,极超薄玻璃和聚酯薄膜0.03-0.2mm用于柔性显示工件。2012年美国康宁公司生产出100μm可绕式屏幕玻璃,2013年德国肖特公司生产出25-100μm卷状超薄玻璃,2014年日本旭硝子公司展示了50μm超薄浮法玻璃。在超薄玻璃和极超薄玻璃生产过程中,相关的工件搬送装置起着非常重要的作用。现有技术中,显示工件超薄玻璃0.3-1.1mm一般使用传统的滚轮支承式传送装置和机械手真空吸盘排布(局部)吸附支撑工件上下料物流搬送。然而,超薄玻璃显示基板类工件、超薄柔性显示基板工件随尺寸增大、厚度减少,即长厚比增加到一定程度,超薄玻璃和聚酯柔性薄膜显示工件使用机械手臂局部吸附支撑无法搬送平面工作台上工件上下料操作。厚度<0.3mm的超薄玻璃和聚酯薄膜显示玻璃基板移动引起的环境气流振动导致扭转振动疲劳和弯曲振动疲劳玻璃基板破损;超薄液晶玻璃成盒制程的双面翻转分割压断液晶显示屏过程中,机械手局部吸附支撑真空吸盘搬送对有切割线的整版玻璃液晶屏产生变形应力,使切割线自由扩散直接破坏显示屏;机械手臂搬送超薄柔性薄膜显示基板,真空吸盘吸附的局部变形的扭转振动疲劳和弯曲振动疲劳导致品质损坏;滚轮传送振动导致超薄玻璃基板振动疲劳破损。目前,厚度<0.3 ...
【技术保护点】
一种气浮真空吸附搬送装置,其特征在于,该装置包括:下工作平台、上搬送工作平台、四柱台板间隙限位机构、气浮真空吸附交换搬送气动控制系统;所述下工作平台为工艺制程设备的工作平台,配置运动结构、工艺制程功能机构以及相关机架组成工艺制程设备;所述上搬送工作平台为工艺制程设备上下料搬送设备的搬送工作平台,配置相关运动结构组成自动搬送移载设备,以将工艺制程设备的工作平台的工件真空吸附下料,并搬送到下一工序的工艺制程设备的工作平台上料;所述四柱台板间隙限位机构与所述下工作平台和所述上搬送工作平台连接,以使所述四柱台板间隙限位机构调节所述下工作平台和所述上搬送工作平台之间的平行间隙;所述气浮真空吸附交换搬送气动控制系统与所述下工作平台和所述上搬送工作平台连接,以使所述气浮真空吸附交换搬送气动控制系统控制所述下工作平台和所述上搬送工作平台配合工作。
【技术特征摘要】
1.一种气浮真空吸附搬送装置,其特征在于,该装置包括:下工作平台、上搬送工作平台、四柱台板间隙限位机构、气浮真空吸附交换搬送气动控制系统;所述下工作平台为工艺制程设备的工作平台,配置运动结构、工艺制程功能机构以及相关机架组成工艺制程设备;所述上搬送工作平台为工艺制程设备上下料搬送设备的搬送工作平台,配置相关运动结构组成自动搬送移载设备,以将工艺制程设备的工作平台的工件真空吸附下料,并搬送到下一工序的工艺制程设备的工作平台上料;所述四柱台板间隙限位机构与所述下工作平台和所述上搬送工作平台连接,以使所述四柱台板间隙限位机构调节所述下工作平台和所述上搬送工作平台之间的平行间隙;所述气浮真空吸附交换搬送气动控制系统与所述下工作平台和所述上搬送工作平台连接,以使所述气浮真空吸附交换搬送气动控制系统控制所述下工作平台和所述上搬送工作平台配合工作。2.根据权利要求1所述的气浮真空吸附搬送装置,其特征在于,所述四柱台板间隙限位机构设置有不同厚度尺寸或不同形状的间隙限位块和边限位块。3.根据权利要求2所述的气浮真空吸附搬送装置,其特征在于,所述间隙限位块为金属材料,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:安志强,田鹏明,张辽,
申请(专利权)人:北京京城清达电子设备有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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