一种三氯氧磷源瓶制造技术
Three chlorine oxygen phosphorus source bottle
The utility model provides a source of phosphorus oxychloride three bottles, including the source of the bottle body, inlet pipe, outlet pipe and the temperature measuring sleeve, source of the bottle body just below the temperature measuring sleeve is provided with a first groove into the first groove at the bottom of the temperature measuring sleeve; one inlet tube and the outlet tube out of the source of the bottle body are provided with a one-way valve the source; the bottle body bottom is provided with second grooves, the bottom of the air inlet pipe extends into the second groove, outlet pipe is arranged on the bottom of the cover, the cover plate by a hinge and a connecting pipe at one end, the other end is arranged below the supporting plate, the supporting plate is fixed on the outlet pipe, the cover plate is positioned on one side of the hinge is connected at the bottom of the spring, the spring on the other one end and outlet pipe connection. The contact area of the spring and the cover plate of the utility model set can effectively increase the nitrogen into the bottle and the liquid source, ensure three phosphorus oxychloride amount and the carrying amount of nitrogen with stable diffusion effect, at the same time, three phosphorus oxychloride source in the bottle can be fully utilized.
【技术实现步骤摘要】
一种三氯氧磷源瓶
本技术涉及太阳能电池生产设备
，具体涉及一种三氯氧磷源瓶。
技术介绍
太阳能电池制作过程中的扩散工序是在P型硅上沉积一层磷原子来形成PN结，现在大部分采用液态源进行扩散。主要是利用氮气通入盛有三氯氧磷的石英源瓶中携带三氯氧磷蒸汽到扩散炉管内。三氯氧磷与氧气反应生成单质磷，并在高温下趋入硅基体内形成N型半导体。传统的扩散工艺，由于三氯氧磷液位随着工艺消耗不断变低，而进气管位置不变，当三氯氧磷存储容器内的三氯氧磷的液位较少时，进入瓶中的氮气与液态源的接触面积也减少，导致氮气携带的三氯氧磷随液位的变化逐渐减少，产生的源蒸汽(三氯氧磷蒸汽)变少，导致扩散效果较差，从而导致工艺稳定性变差，造成产品的不合格，影响到正常的生产。同时，底部的三氯氧磷无法得到充分的利用，造成浪费比较大。通常源瓶中液面高度在20mm时就需要更换三氯氧磷源瓶，这样不仅增加生产中三氯氧磷的耗损量，也会因废弃的三氯氧磷不便处理，给环境带来压力。而且，源瓶中的气压高于扩散炉，往往进入瓶中的氮气与液态源的接触不够就进入扩散炉，导致氮气携带的三氯氧磷量不足，影响扩散效果。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种三氯氧磷利用率高，降低生产成本，工艺稳定性高的三氯氧磷源瓶。本技术采用的技术方案为：一种三氯氧磷源瓶，包括源瓶本体，进气管，出气管和测温套管，其特征在于，所述测温套管正下方的源瓶本体上设有第一凹槽，测温套管伸入第一凹槽的底部；所述进气管和出气管设于源瓶本体顶部且与源瓶本体相连通，进气管和出气管伸出源瓶本体的一端均设有单向阀；所述源瓶本体底部设有第二...
【技术保护点】
一种三氯氧磷源瓶，包括源瓶本体，进气管，出气管和测温套管，其特征在于，所述测温套管正下方的源瓶本体上设有第一凹槽，测温套管伸入第一凹槽的底部；所述进气管和出气管设于源瓶本体顶部且与源瓶本体相连通，进气管和出气管伸出源瓶本体的一端均设有单向阀；所述源瓶本体底部设有第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽与源瓶本体的水平底面圆弧过渡或倒角过渡连接；所述进气管伸入至第二凹槽的底部，所述出气管的底部设有盖板，该盖板的一端通过铰链与出气管连接，另一端下方设有支撑板，该支撑板固定于出气管上，盖板位于铰链一侧的底部连接有弹簧，弹簧另一端与出气管连接。
【技术特征摘要】
1.一种三氯氧磷源瓶，包括源瓶本体，进气管，出气管和测温套管，其特征在于，所述测温套管正下方的源瓶本体上设有第一凹槽，测温套管伸入第一凹槽的底部；所述进气管和出气管设于源瓶本体顶部且与源瓶本体相连通，进气管和出气管伸出源瓶本体的一端均设有单向阀；所述源瓶本体底部设有第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽与源瓶本体的水平底面圆弧过渡或倒角过渡连接；所述进气管伸入至第二凹槽的底部，所述出气管的底部设有盖板，该盖板的一端通过铰链与出气管连接，另一端下方设有支撑板，该支撑板固定于出气管上，盖板位于铰链一侧的底部连接有弹簧，弹簧另一端与出气管连接。2.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志涛，甘职著，
申请(专利权)人：中赣新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36
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