清洗夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种清洗夹具，其包括：第一夹板和第二夹板；所述第一夹板边缘设置有卡扣，所述第二夹板的边缘设置有收容所述卡扣的卡槽，所述第一夹板通过所述卡扣和卡槽的配合实现与所述第二夹板的拆卸式连接，所述第一夹板和第二夹板之间形成所述石英件、石墨件的夹持空间；所述第一夹板和第二夹板的对应位置处开设有定位螺孔，所述定位螺孔中安装有定位螺栓。本实用新型专利技术的清洗夹具能够防止配件损伤、提高材料利用率、降低生产成本，使用本实用新型专利技术的清洗夹具时，石英件、石墨件在清洗移动的过程中能更好的得到保护，保证石英、石墨件不受外力挤压，碰撞等，最大限度保护石英件、石墨件的完整性。

【技术实现步骤摘要】
清洗夹具
本技术涉及一种清洗夹具，尤其涉及一种用于清洗MOCVD设备反应室中石英件、石墨件的夹具。
技术介绍
MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此，在进行MOCVD时，需要在MOCVD反应室中进行。其中，MOCVD反应室是由石英管和石墨基座组成。目前，MOCVD设备反应室的石英、石墨配件在使用后需要进行清洗以便再利用，然而，在清洁再利用的过程中，石英、石墨配件容易受到外力作用而损坏。因此，针对上述问题，有必要提出进一步的解决方案。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种清洗夹具，以克服现有技术中存在的不足。为实现上述技术目的，本技术提供一种清洗夹具，其用于清洗MOCVD设备反应室中石英件、石墨件的夹具，所述清洗夹具包括：第一夹板和第二夹板；所述第一夹板边缘设置有卡扣，所述第二夹板的边缘设置有收容所述卡扣的卡槽，所述第一夹板通过所述卡扣和卡槽的配合实现与所述第二夹板的拆卸式连接，所述第一夹板和第二夹板之间形成所述石英件、石墨件的夹持空间；所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗夹具，其用于清洗MOCVD设备反应室中石英件、石墨件的夹具，其特征在于，所述清洗夹具包括：第一夹板和第二夹板；所述第一夹板边缘设置有卡扣，所述第二夹板的边缘设置有收容所述卡扣的卡槽，所述第一夹板通过所述卡扣和卡槽的配合实现与所述第二夹板的拆卸式连接，所述第一夹板和第二夹板之间形成所述石英件、石墨件的夹持空间；所述第一夹板和第二夹板的对应位置处开设有定位螺孔，所述定位螺孔中安装有定位螺栓。

【技术特征摘要】
1.一种清洗夹具，其用于清洗MOCVD设备反应室中石英件、石墨件的夹具，其特征在于，所述清洗夹具包括：第一夹板和第二夹板；所述第一夹板边缘设置有卡扣，所述第二夹板的边缘设置有收容所述卡扣的卡槽，所述第一夹板通过所述卡扣和卡槽的配合实现与所述第二夹板的拆卸式连接，所述第一夹板和第二夹板之间形成所述石英件、石墨件的夹持空间；所述第一夹板和第二夹板的对应位置处开设有定位螺孔，所述定位螺孔中安装有定位螺栓。2.根据权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，所述第一夹板和第二夹板采用PVC材料。3.根据权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，所述卡扣自所述第一夹板边缘垂直延而出，所述卡槽自所述第二夹板的边缘水平凹陷而成。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖啸，张玉国，
申请(专利权)人：苏州长光华芯光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32