一种低压干燥设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种低压干燥设备，包括用于容置待干燥基板的腔室，腔室包括腔室本体，在腔室本体的底壁上设置有多个用于水平支撑待干燥基板的顶指。通过在顶指上设置用于增大支撑面积的支撑部件，增大顶指与待干燥基板的接触面积，减小顶指作用在待干燥基板上的压强，避免待干燥基板发生形变，使光刻胶在待干燥基板上均匀分布，从而改善顶指mura不良。而且，在抽真空装置抽气过程中，也可以避免因待干燥基板发生形变导致的破损，进而提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种低压干燥设备
本技术涉及光刻
，特别涉及一种低压干燥设备。
技术介绍
液晶显示技术日趋成熟，液晶显示面板以成为目前市场上各种尺寸显示面板中的主流产品。在液晶显示面板制程中，光刻工艺是基板制作中的关键制程。光刻工艺是在基板表面薄膜上涂布一层光刻胶，光刻胶经过干燥、曝光、显影和烘烤等步骤，形成抗刻蚀的图形，再将基板刻蚀后，使基板表面薄膜形成相应的图形的工艺。在光刻工艺中，通常采用低压干燥设备对光刻胶进行干燥，以去除光刻胶内含有的有机溶剂，使光刻胶固化。现有低压干燥设备，包括能够密封的腔室、抽真空装置和多个呈矩阵排布的顶指，在腔室内，顶指水平支撑待干燥基板。抽真空装置对本体内部抽气，以去除光刻胶内含有的有机溶剂。现有低压干燥设备的顶指与待干燥基板的接触面积较小，使待干燥基板在自身重力的作用下发生较大形变，影响光刻胶在待干燥基板上的均匀分布，从而在顶指对应的位置产生mura不良。而且，在抽真空装置抽气过程中，较大形变的待干燥基板极易破损，降低产品良率。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的上述不足，提供一种低压干燥设备，用以至少部分解决待干燥基板形变较大的问题。为实现上述目的，本技术提供一种低压干燥设备，包括用于容置待干燥基板的腔室，所述腔室包括腔室本体，所述腔室本体的底壁上设置有多个用于水平支撑待干燥基板的顶指，所述顶指上设置有用于增大支撑面积的支撑部件。优选的，所述支撑部件设置在位于所述腔室本体的中间位置的顶指上。优选的，所述支撑部件包括支撑条，所述支撑条设置于所述顶指的顶端。优选的，所述支撑条为至少两根，且交叉设置于所述顶指的顶端。优选的，所述各支撑条交叉设置的交叉点与所述各支撑条的中点重合,且相邻的所述支撑条的夹角相同。优选的，所述支撑条的上表面呈圆弧状。优选的，所述低压干燥设备还包括吹气装置和第一气孔，所述第一气孔贯穿所述支撑部件和顶指，并与位于顶指底端的所述第一气孔的一端相连。优选的，所述低压干燥设备还包括抽真空装置，所述腔室本体底壁上设置有多个第二气孔，所述第二气孔与所述抽真空装置相连，且位于所述顶指之间。优选的，所述低压干燥设备还包括用于校正所述待干燥基板位置的对位装置，所述对位装置设置于所述腔室本体的外侧。优选的，所述对位装置包括第一伸缩部、用于夹持所述待干燥基板的边缘的夹持部和水平带动所述夹持部进出所述腔室的第二伸缩部，所述第一伸缩部和第二伸缩部与所述夹持部相连；所述夹持部包括垂直设置的第一限位件和第二限位件；所述第一伸缩部用于，同时带动所述第一限位件与第二限位件与所述待干燥基板的边缘相抵靠。本技术具有以下有益效果：本技术提供一种低压干燥设备，通过在顶指上设置用于增大支撑面积的支撑部件，增大顶指与待干燥基板的接触面积，减小顶指作用在待干燥基板上的压强，避免待干燥基板发生形变，使光刻胶在待干燥基板上均匀分布，从而改善顶指mura不良。而且，在抽真空装置抽气过程中，也可以避免因待干燥基板发生形变导致的破损，进而提高产品良率。附图说明图1为本实施例提供的低压干燥设备的侧视结构示意图；图2为本实施例提供的低压干燥设备的俯视结构示意图；图3为本实施例提供的顶指与支撑部件的结构放大示意图。图例说明：1、腔室2、腔室本体3、盖体4、顶指5、待干燥基板6、支撑部件7、支撑条8、第一气孔10、第二气孔11、升降装置12、对位装置13、第一伸缩部14、第二伸缩部15、夹持部16、第一限位件17、第二限位件18、连接件19、密封件具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术提供的一种低压干燥设备进行详细描述。本技术提供一种低压干燥设备，结合图1和图2所示，所述低压干燥设备包括腔室1，腔室1用于容置待干燥基板5。腔室1包括腔室本体2，腔室本体2的底壁上设置有多个顶指4，顶指4用于水平支撑待干燥基板5。顶指4上设置有支撑部件6，支撑部件6用于增大支撑待干燥基板5的面积。具体的，腔室1还包括盖体3，腔室本体2和盖体3可以形成密闭的空间，待干燥基板5容置在该密闭的空间内。设置于顶指4顶端的支撑部件6与待干燥基板5的下表面接触，用于水平支撑待干燥基板5。本技术提供的低压干燥设备，通过在顶指4上设置支撑部件6，增大与待干燥基板5的接触面积，减小顶指4作用在待干燥基板5上的压强，避免待干燥基板5发生形变，使光刻胶在待干燥基板5上均匀分布，从而改善顶指mura不良。而且，在低压干燥过程中，也可以避免因待干燥基板5形变较大导致的破损，进而提高产品良率。为了保证腔室1的密闭性，如图1所示，在盖体3上与腔室本体2相对的表面设置有密封件19，优选的，密封件19可以选用密封胶圈。如图2所示，顶指4呈矩阵均匀分布于腔室本体2上，优选的，位于腔室本体2中间位置的顶指4上设置有支撑部件6，而位于腔室本体2边缘位置的顶指4上不再设置支撑部件6，这样，可以避免支撑部件6与腔室本体2的侧壁发生干涉。需要说明的是，如果位于腔室本体2边缘位置的顶指4与腔室本体2的边缘的距离大于支撑部件6的长度，全部的顶指4上均可以设置支撑部件6。优选的，支撑部件6均匀分布在腔室本体2的底壁上，以便待干燥基板5均匀受力，减小待干燥基板5整体形变的效果更佳。以下结合图2和图3对支撑部件6的具体结构进行详细说明。如图2和图3所示，支撑部件6包括支撑条7，支撑条7设置于顶指4的顶端。具体的，支撑条7水平设置于顶指4的顶端，支撑条7的上表面与待干燥基板5的下表面接触。优选的，支撑条7的中点位于顶指4的顶端，这样，支撑部件6对待干燥基板5的支撑效果更佳。优选的，支撑条7的长度为15-20cm。优选的，支撑条7至少两根，且交叉设置于顶指4的顶端，设置多根支撑条7可以增加支撑部件6与待干燥基板5的接触面积，减小待干燥基板5形变的效果更好。在本技术实施例中，如图2、3所示，支撑条7为两根。优选的，各支撑条7交叉设置的交叉点与各支撑条7的中点重合，且相邻的支撑条7的夹角相同。具体的，各支撑条7的中点均与顶指4的顶点重合，且各支撑条7以该中点中心对称，这样可以均匀分散支撑部件6作用在待干燥基板5上的压力，进一步的，减小支撑部件6作用在待干燥基板5上的压强。支撑条7的材质可以选用耐磨性好且成本低的材质，例如，合金、石英或陶瓷等。为了避免支撑部件6与待干燥基板5发生真空吸附，影响待干燥基板5的卸载。结合图1和图3所示，支撑条7的上表面呈圆弧状。具体的，如图3所示，支撑条7为圆柱体。需要说明的是，未设置支撑部件6的顶指4的上表面呈圆弧状，以避免顶指4与待干燥基板5发生真空吸附。进一步的，为了解决支撑部件6与待干燥基板5发生真空吸附问题，结合图2和图3所示，本实施例提供的低压干燥设备还包括吹气装置(图中未绘示)和第一气孔8，第一气孔8贯穿支撑部件6和顶指4，并与位于顶指4底端的第一气孔8的一端相连。具体的，吹气装置将气体输送至位于顶指4底端的第一气孔8的一端，气体从位于支撑部件6顶端的第一气孔8的另一端吹出，使待干燥基板5上浮。由于待干燥基板5在低压干燥过程中会产生抖动，使待干燥基板5的位置发生偏移，在后续制程中极易产生破损，影响产品良率。为避免待干燥基板5位置发生偏移，需要将待干燥基板5固定在腔室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低压干燥设备，包括用于容置待干燥基板的腔室，所述腔室包括腔室本体，所述腔室本体的底壁上设置有多个用于水平支撑待干燥基板的顶指，其特征在于，所述顶指上设置有用于增大支撑面积的支撑部件。

【技术特征摘要】
1.一种低压干燥设备，包括用于容置待干燥基板的腔室，所述腔室包括腔室本体，所述腔室本体的底壁上设置有多个用于水平支撑待干燥基板的顶指，其特征在于，所述顶指上设置有用于增大支撑面积的支撑部件。2.根据权利要求1所述的低压干燥设备，其特征在于，所述支撑部件设置在位于所述腔室本体的中间位置的顶指上。3.根据权利要求1所述的低压干燥设备，其特征在于，所述支撑部件包括支撑条，所述支撑条设置于所述顶指的顶端。4.根据权利要求3所述的低压干燥设备，其特征在于，所述支撑条为至少两根，且交叉设置于所述顶指的顶端。5.根据权利要求4所述的低压干燥设备，其特征在于，所述各支撑条交叉设置的交叉点与所述各支撑条的中点重合,且相邻的所述支撑条的夹角相同。6.根据权利要求3所述的低压干燥设备，其特征在于，所述支撑条的上表面呈圆弧状。7.根据权利要求1所述的低压干燥设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宇桐，赵永亮，毕鑫，宁智勇，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，重庆京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11