基于MEMS技术的差压流量传感器及其加工方法技术

本发明专利技术揭示了基于MEMS技术的差压流量传感器及其加工方法，包括位于外壳内腔中的MEMS差压传感器芯片封装体及信号处理电路板，MEMS差压传感器芯片封装体设置于信号处理电路板上且它们通信，MEMS差压传感器芯片封装体的去向压力导压口与信号处理电路板上的通孔共轴以及与外壳上的一个导通孔密封配接，MEMS差压传感器芯片封装体的来向压力导压口与另一个导通孔密封配接；MEMS差压传感器芯片封装体及信号处理电路板通过填充内腔的防水密封层密封固定，信号处理电路板上还连接延伸到所述外壳和防水密封层外的引出线缆。本发明专利技术省去了二次装置，提高了整体的集成度，减小体积，提高了测量精度，适用于低流速流量测量，多结构的密封防水层，密封性和防水性大大提高。

Differential pressure flow sensor based on MEMS technology and processing method thereof

The invention discloses a differential pressure flow sensor and its processing method based on MEMS technology, includes a body and a signal processing circuit board MEMS differential pressure sensor chip package in the shell cavity, MEMS differential pressure sensor chip encapsulation body is arranged on the signal processing circuit board and their communication, MEMS pressure differential pressure sensor chip package to guide a pressure guide port and the signal processing circuit board through holes on the coaxial shell and a through hole on the sealing connection, MEMS pressure sensor chip package to guide pressure pressure with one another via hole sealing matching; MEMS differential pressure sensor chip package and signal processing circuit board through the inner cavity filled with waterproof sealing layer seal fixed, extraction cable signal processing circuit board is also connected extending to the outer shell and the waterproof sealing layer outside. The invention saves two device, improve the overall integration, reduce the volume, improve the measurement accuracy, suitable for low flow rate measurement, the waterproof layer sealing structure, sealing and waterproof greatly improved.

【技术实现步骤摘要】
基于MEMS技术的差压流量传感器及其加工方法
本专利技术涉及一种差压流量传感器及其加工方法，尤其是一种基于MEMS技术的差压流量传感器及其加工方法。
技术介绍
在工业生产、日常生活中，流量作为能源计量及其重要的组成部分之一，对于科学实验计量、经济核算以及工程生产都具有及其重要的意义。从上两个世纪的石油、机械、冶金到航空、热电等不同领域的流量检测，现在已经深入发展到了医疗器械、汽车电子等诸多领域。不同流体的性状、流动条件、流动状态以及感测机理的复杂多样给流体的测量带来了诸多不便，同时也使得流量计的测量原理、测量精度、适用条件以及价格多样化。压差流量计是一种测定流量的仪器，例如中国专利CN200810012819.4所示，一般由一次装置和二次装置组成，一次装置称流量测量元件，它安装在被测流体的管道中，产生与流量(流速)成比例的压力差，二次装置称显示仪表，它接收测量元件产生的差压信号，并将其转换为相应的流量进行显示。差压流量计的一次装置常为节流装置或动压测定装置(皮托管、均速管等)，节流装置是在管道中安装的一个局部收缩元件，最常用的有孔板、喷嘴和文丘里管，二次装置为各种机械式、电子式、组合本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于MEMS技术的差压流量传感器，用于低流速流量监测，其特征在于：包括设置于同一外壳（3）的内腔中的MEMS差压传感器芯片封装体（1）及信号处理电路板（2），所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）设置于所述信号处理电路板（2）上并与其连接通信，且所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）的去向压力导压口（11）与信号处理电路板（2）上的通孔（21）共轴以及与所述外壳（3）上的一个导通孔（31）共轴且四周密封连接，所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）的来向压力导压口（12）与外壳（3）上的另一导通孔（31）共轴并四周密封连接；所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）及信号处理电路板（2）通过填充所述...

【技术特征摘要】
1.基于MEMS技术的差压流量传感器，用于低流速流量监测，其特征在于：包括设置于同一外壳（3）的内腔中的MEMS差压传感器芯片封装体（1）及信号处理电路板（2），所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）设置于所述信号处理电路板（2）上并与其连接通信，且所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）的去向压力导压口（11）与信号处理电路板（2）上的通孔（21）共轴以及与所述外壳（3）上的一个导通孔（31）共轴且四周密封连接，所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）的来向压力导压口（12）与外壳（3）上的另一导通孔（31）共轴并四周密封连接；所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）及信号处理电路板（2）通过填充所述外壳（3）的内腔的防水密封层（4）密封固定，所述信号处理电路板（2）上连接引出线缆（5），所述引出线缆（5）延伸到所述外壳（3）和防水密封层（4）外。2.根据权利要求1所述的基于MEMS技术的差压流量传感器，其特征在于：所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）包括量程在0-10kPa的硅压阻式差压芯片，其压力应变膜为微米级并采用恒流源或恒压源供电。3.根据权利要求2所述的基于MEMS技术的差压流量传感器，其特征在于：所述MEMS差压传感器芯片封装体（1）与信号处理电路板（2）通过键合线连接通信，所述键合线的弧高度小于60um，且其包覆于防水胶层（6）中。4.根据权利要求3所述的基于MEMS技术的差压流量传感器，其特征在于：所述外壳（3）至少包括探测段（33）及连接段（34），所述MEMS差压传感器芯片封装体（3）位于所述探测段（33）所在的内腔区域，所述连接段（34）用于与流体管道（7）密封连接。5.根据权利要求4所述的基于MEMS技术的差压流量传感器，其特征在于：所述连接段（34）包括一段外螺纹、密封圈（341）及限位凸台（342），所述密封圈（341）位于所述外螺纹的根部并与所述限位凸台（342）的侧壁贴合。6.根据权利要求4所述的基于MEMS技术的差压流量传感器，其特征在于：所述连接段（34）包括两个位于两个导通孔（31）所在表面上且对称的坡面（343），所述坡面（343）的后端设置有防水密封圈（344），所述防水密封圈（344）抵靠于第一凸台（345）的一侧，所述第一凸台（345）的另一侧与第二凸台（346）配合形成一凹槽（347）。7.根据权利要求1-6任一所述的基于MEMS技术的差压流量传感器，其特征在于：所述外壳（3）的内壁上设置有支撑台阶（35），所述支撑台阶（35）与一个导通孔的孔壁配合形成用于放置信号处理电路板（2）的支撑面。8.根据权利要求7所述的基于MEMS技术...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建国，申亚琪，
申请(专利权)人：苏州捷研芯纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32