环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法制造方法及图纸

环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明专利技术为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明专利技术解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明专利技术适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。

Device and method for detecting surface shape error of ring casting correction plate

The invention relates to a device and a method for detecting the surface shape error of a circular casting correction plate, in particular to a device for detecting the shape error and a detection method thereof. The present invention in order to solve the existing technology in the ring polishing correction plate has a larger diameter and higher weight, causing the detection to surface shape error tester and the three coordinate measuring instrument of laser interference problem. Device is composed of marble plate and U shaped frame, precision positioning table, laser displacement sensor, supporting platform, and rectangular glass. Detection method: a hoisting ring polishing disc assembly and correction device; two, mark the diameter; three, adjust the marble plate and ring polishing wheel working surface parallel correction; four, data acquisition. The invention solves the difficult problem that the large-size correcting plate faces downward and is difficult to turn, and can automatically detect the surface shape error of the large-size correcting plate of the large ring casting machine, and the detection process is simple and the accuracy is high. The invention is suitable for detecting the surface error of a loop polishing plate.

【技术实现步骤摘要】
环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法
本专利技术涉及一种环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法。
技术介绍
环抛加工因其能够有效地抑制中频误差并且残留的亚表面损伤层深度很浅，因而被广泛用作平面光学元件的最终精密抛光。但是，低频面形误差的有效快速收敛难题却一直制约着加工效率的提高。面形误差主要取决于加工设备的运动参数以及元件和沥青抛光盘的界面接触应力分布。针对面形收敛问题，目前普遍采用的方法是改变修正盘的偏心距进而改变沥青抛光盘的面形，实现元件表面材料的非均匀去除，最终达到元件表面均一化的目的。而修正盘自身的面形误差对元件材料的单点去除率和界面接触应力分布的均匀性具有很大的影响，因而极大地制约了元件加工精度和效率的提升。在实际加工中，对于沥青抛光盘的面形检测技术已经成熟，但是由于大尺寸修正盘的直径大，修正盘直径约2m，重量约1t，搬运和翻转不便，因此很难直接应用常见的激光干涉仪、三坐标测量仪等进行测量，缺乏行之有效的方法进行检测。
技术实现思路
本专利技术为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种环抛加工修正盘表面形状误差检测装置，其特征在于：该装置由大理石平尺(1)、U形框(2)、精密定位台(3)、激光位移传感器(4)、两个第一支撑平台(5)、计算机、第二支撑平台(6)、第三支撑平台(7)和矩形玻璃(8)构成，第一支撑平台(5)的高度大于第二支撑平台(6)的高度，第二支撑平台(6)的高度大于第三支撑平台(7)的高度；所述两个第一支撑平台(5)并列设置，第二支撑平台(6)和第三支撑平台(7)设置于两个第一支撑平台(5)之间，精密定位台(3)设置于第三支撑平台(7)上表面，大理石平尺(1)的一端搭设在第二支撑平台(6)上表面，大理石平尺(1)的另一端搭设在精密定位台(3)上表面，U形...

【技术特征摘要】
1.一种环抛加工修正盘表面形状误差检测装置，其特征在于：该装置由大理石平尺(1)、U形框(2)、精密定位台(3)、激光位移传感器(4)、两个第一支撑平台(5)、计算机、第二支撑平台(6)、第三支撑平台(7)和矩形玻璃(8)构成，第一支撑平台(5)的高度大于第二支撑平台(6)的高度，第二支撑平台(6)的高度大于第三支撑平台(7)的高度；所述两个第一支撑平台(5)并列设置，第二支撑平台(6)和第三支撑平台(7)设置于两个第一支撑平台(5)之间，精密定位台(3)设置于第三支撑平台(7)上表面，大理石平尺(1)的一端搭设在第二支撑平台(6)上表面，大理石平尺(1)的另一端搭设在精密定位台(3)上表面，U形框(2)的U形开口朝下套扣在大理石平尺(1)上，激光位移传感器(4)设置于U形框(2)的上表面，且激光位移传感器(4)的感应端朝上设置，矩形玻璃(8)设置于大理石平尺(1)上表面和U形框(2)之间，且矩形玻璃(8)上表面与U形框(2)的水平内表面固接；所述矩形玻璃(8)与U形框(2)的水平内表面固接的方式为胶黏剂粘接。2.根据权利要求1所述的环抛加工修正盘表面形状误差检测装置，其特征在于：所述激光位移传感器(4)的信号输出端与计算机的信号输入端连接。3.根据权利要求1所述的环抛加工修正盘表面形状误差检测装置，其特征在于：所述大理石平尺(1)上表面的平面度优于2μm。4.根据权利要求1所述的环抛加工修正盘表面形状误差检测装置，其特征在于：所述U形框(2)上表面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：任乐乐，张飞虎，廖德锋，陈贤华，王健，许乔，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23