【技术实现步骤摘要】
刚玉-石墨复合感应加热板
本技术专利属于一种利用电磁感应原理产生高温对硅溶体进行加热的感应加热板。
技术介绍
目前,在物理法生产太阳能级多晶硅的工艺中,一个重要的环节就是利用定向凝固原理去除金属杂质。而要实现定向凝固需要两个条件:首先,热流向单一方向流动并垂直于生长中的固-液界面;其次,晶体生长前方的熔液中没有稳定的结晶核心。为此,首先要有一个在在硅溶体的顶部产生热量的加热装置;其次,在在硅溶体的下部要有一个冷却装置;通过这两点产生一个单一方向的热流动。另外在工艺上必须采取措施避免或或尽量减少侧向散热,同时在靠近固-液界面的熔液中应造成较大的温度梯度,以便尽量产生一个较为理想的温度场,最大限度地提高定向凝固去除金属杂质的效果。现有的技术方案中,在硅溶体的顶部加热是采取石墨或者电热合金材料制成加热器,通过焦耳热的方式实现电能-热能的转换,达到对硅溶体的顶部区域进行加热的目的。但现有的技术方案存在以下严重缺陷:一、硅的熔点在1430℃以上,为达到定向凝固的工艺要求,加热器的工作温度至少要在1550℃以上,此时,石墨材料极易氧化烧损,即使采取吹入氩气保护的措施也不能完全避免,加热器的寿命很短,甚至不能保证能使用一个炉次。二、如果采用电热合金材料制成加热器,在这样高的工作温度要求下,很少能有材料能够达到,而且使用寿命短,电热合金材料在高温下氧化掉皮还会污染硅料,使整个工艺生产过程失败。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种使用方便、寿命长、发热温度高且可控、对硅料不会产生产生污染的的刚玉-石墨复合感应加热板,以消除现有技术的上述缺陷。本技术采用下列技术方案来实现其目 ...
【技术保护点】
一种刚玉‑石墨复合感应加热板,为一块平板,其特征在于:它包括石墨板(2)、石墨毡(1)、刚玉密封层(3);石墨板(2)的侧边和上边被石墨毡(1)包覆,再整体夹心似地被包封在刚玉密封层(3)之中,从上至下构成刚玉密封层(3)‑石墨毡(1)‑石墨板(2)‑刚玉密封层(3)的层状结构。
【技术特征摘要】
1.一种刚玉-石墨复合感应加热板,为一块平板,其特征在于:它包括石墨板(2)、石墨毡(1)、刚玉密封层(3);石墨板(2)的侧边和上边被石墨毡(1)包覆,再整体夹心似地被包封在刚玉密封层(3)之中,从上至下构成刚玉密封层(3)-石墨毡(1)-石墨板(2)-刚玉密封层(3)的层状结构。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:张新军,王桥,
申请(专利权)人:中安信新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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