一种大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺制造技术

一种大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺，大张角玻璃镜片的减反膜，包括设置在大张角玻璃镜片表面的减反膜，所述减反膜为八层的多层膜结构，其包括依次堆叠的高折射率膜层及低折射率膜层。所述高折射率膜层为五氧化三钛膜层；低折射率膜层为氟化镁膜层或二氧化硅膜层。一种大张角玻璃镜片的减反膜的制作工艺，包括以下步骤：步骤一，采用行星镀膜机台进行镀膜加工，在镀膜真空室镀膜前，使用高能离子源进行清洁处理60秒；步骤二，镀第一膜层时，镀膜压力为2.0*10

Antireflection film and its production process of a large angle glass lens

Antireflection film and its production process of a large angle glass lens, large angle glass lens antireflection film, which is arranged in a large angle glass lens surface antireflection film, the reduction of the multilayer structure film into eight layers, which includes stacked high refractive index films and low refractive index film. The high refractive index film five oxidation three titanium film; low refractive index film for MgF2 film or silicon dioxide film. Reduce the production process of a large angle reflection film glass lens, comprising the following steps: 1, the planetary coating machine coating process, coating in the coating chamber, cleaned 60 seconds using high-energy ion source; step two, the first film plating, deposition pressure of 2.0*10

【技术实现步骤摘要】
一种大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺
本专利技术涉及工艺制造领域，具体涉及一种大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺。
技术介绍
大张角玻璃镜片减反膜主要应用于广角性能要求高的成像系统等领域，如车载摄像头等数码成像以及运动摄像机SDV的光学模组。为达到其成像系统的广角性能，必须使得光路系统中的第一片镜片的凹面的曲率越来越大，当采取现有镀膜工艺与中心回转机台加工时，就造成了镜片中心与边缘的反射率偏差越来越大，也就是色差越来越大，最终造成成像鬼影的出现，从而无法满足镜头的成像性能。并且，在现有镀膜技术中，加工后产品凹面的膜层均匀性比较差，如图5所示，且加工后的凹面边缘膜层不致密，膜强度差，易产生掉膜不良。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在提供一种膜层均匀性一致，且凹面边缘膜强度佳的大张角玻璃镜片的减反膜及其制作工艺，以克服现有技术中的不足之处。按此目的设计的一种大张角玻璃镜片的减反膜，包括设置在大张角玻璃镜片表面的减反膜，其结构特征是所述减反膜为八层的多层膜结构，其包括依次堆叠的高折射率膜层及低折射率膜层。进一步，所述减反膜包括依次堆叠的高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层。进一步，所述高折射率膜层为五氧化三钛膜层；低折射率膜层为氟化镁膜层或二氧化硅膜层。一种大张角玻璃镜片的减反膜的制作工艺，包括以下步骤：步骤一，采用行星镀膜机台进行镀膜加工，在镀膜真空室镀膜前，使用高能离子源进行清洁处理60秒；步骤二，镀第一膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为117～120秒；所述第一膜层为五氧化三钛膜层；步骤三，镀第二膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为90～93秒；所述第二膜层为二氧化硅膜层；步骤四，镀第三膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为305～308秒；所述第三膜层为五氧化三钛膜层；步骤五，镀第四膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为37～40秒；所述第四膜层为二氧化硅膜层；步骤六，镀第五膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为465～468秒；所述第五膜层为五氧化三钛膜层；步骤七，镀第六膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为75～78秒；所述第六膜层为为二氧化硅膜层；步骤八，镀第七膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为172～175秒；所述第七膜层为五氧化三钛膜层；步骤九，镀第八膜层时，镀膜压力为1.1*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为560～563秒；所述第八膜层为氟化镁膜层；步骤十，镀膜完成后需冷却3～5分钟，方可使行星镀膜机台进气，至此镀膜完成。进一步，当镀膜真空室的真空度到达1.5×10-3Pa时，开始镀膜，高能离子源轰击辅助镀膜的参数见表1；表1进一步，所述行星镀膜机台在进行真空镀时，行星镀膜机台的工作温度为110℃～130℃，恒温时间12min～15min。本专利技术中的大张角玻璃镜片表面的减反膜为八层的多层膜结构，其包括依次堆叠的高折射率膜层及低折射率膜层；当整个膜层镀制完成后，大张角玻璃镜片表面镀制的减反膜的膜层均匀性一致，且凹面边缘膜强度佳。本专利技术采用具有公转和自转功能的行星镀膜机台，再加上专门设计的镀膜制作工艺，使大张角玻璃镜片表面镀制的减反膜的膜层均匀性一致，且凹面边缘膜强度佳。采用此工艺获得的本产品，在使用过程中具有广角性能高和成像清晰的特点，且能从根本上杜绝红斑鬼影，从而达到此类成像系统的光学要求，并且本产品的凹面边缘膜强度佳、品质好、产品使用期限长，能达到节约成本的效果。综上所述，本专利技术具有膜层均匀性一致，且凹面边缘膜强度佳的特点。附图说明图1为本专利技术一实施例的结构示意图。图2为本专利技术第一实施例的实测曲线图。图3为本专利技术第二实施例的实测曲线图。图4为本专利技术第三实施例的实测曲线图。图5为现有产品的实测曲线图。图中，1为镜片边缘，2为镜片R/2，3为镜片中心。具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术作进一步描述。第一实施例参见图1-图2，本大张角玻璃镜片的减反膜，包括设置在大张角玻璃镜片表面的减反膜，其结构特征是所述减反膜为八层的多层膜结构，其包括依次堆叠的高折射率膜层及低折射率膜层。所述减反膜包括依次堆叠的高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层。所述高折射率膜层为五氧化三钛膜层；低折射率膜层为氟化镁膜层或二氧化硅膜层。一种大张角玻璃镜片的减反膜的制作工艺，包括以下步骤：步骤一，采用行星镀膜机台进行镀膜加工，在镀膜真空室镀膜前，使用高能离子源进行清洁处理60秒；步骤二，镀第一膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为117～120秒；所述第一膜层为五氧化三钛膜层；步骤三，镀第二膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为90～93秒；所述第二膜层为二氧化硅膜层；步骤四，镀第三膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为305～308秒；所述第三膜层为五氧化三钛膜层；步骤五，镀第四膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为37～40秒；所述第四膜层为二氧化硅膜层；步骤六，镀第五膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为465～468秒；所述第五膜层为五氧化三钛膜层；步骤七，镀第六膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为75～78秒；所述第六膜层为为二氧化硅膜层；步骤八，镀第七膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为172～175秒；所述第七膜层为五氧化三钛膜层；步骤九，镀第八膜层时，镀膜压力为1.1*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为560～563秒；所述第八膜层为氟化镁膜层；步骤十，镀膜完成后需冷却3～5分钟，方可使行星镀膜机台进气，至此镀膜完成。当镀膜真空室的真空度到达1.5×10-3Pa时，开始镀膜，高能离子源轰击辅助镀膜的参数见表1；表1所述行星镀膜机台在进行真空镀时，行星镀膜机台的工作温度为110℃～130℃，恒温时间12min～15min。在本实施例中，大张角玻璃镜片的结构，见图1。采用具有公转和自转功能的昭和行星镀膜机台进行镀膜加工，在大张角玻璃镜片上进行镀制减反膜。实际镀膜的膜层及其厚度见表2。表2单位：mm。步骤一，采用行星镀膜机台进行镀膜加工，在镀膜真空室镀膜前，使用高能离子源进行清洁处理60秒；步骤二，镀第一膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为118秒；所述第一膜层为五氧化三钛膜层；步骤三，镀第二膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为91秒；所述第二膜层为二氧化硅膜层；步骤四，镀第三膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为306秒；所述第三膜层为五氧化三钛膜层；步骤五，镀第四膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为38秒；所述第四膜层为二氧化硅膜层；步骤六，镀第五膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为466秒；所述第五膜层为五氧化三钛膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大张角玻璃镜片的减反膜，包括设置在大张角玻璃镜片表面的减反膜，其特征是所述减反膜为八层的多层膜结构，其包括依次堆叠的高折射率膜层及低折射率膜层。

【技术特征摘要】
1.一种大张角玻璃镜片的减反膜，包括设置在大张角玻璃镜片表面的减反膜，其特征是所述减反膜为八层的多层膜结构，其包括依次堆叠的高折射率膜层及低折射率膜层。2.根据权利要求1所述的大张角玻璃镜片的减反膜，其特征是所述减反膜包括依次堆叠的高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层、高折射率膜层、低折射率膜层。3.根据权利要求1所述的大张角玻璃镜片的减反膜，其特征是所述高折射率膜层为五氧化三钛膜层；低折射率膜层为氟化镁膜层或二氧化硅膜层。4.一种根据权利要求1所述的大张角玻璃镜片的减反膜的制作工艺，其特征是包括以下步骤：步骤一，采用行星镀膜机台进行镀膜加工，在镀膜真空室镀膜前，使用高能离子源进行清洁处理60秒；步骤二，镀第一膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为117～120秒；所述第一膜层为五氧化三钛膜层；步骤三，镀第二膜层时，镀膜压力为1.5*10-3Pa，镀膜速率为镀膜时间为90～93秒；所述第二膜层为二氧化硅膜层；步骤四，镀第三膜层时，镀膜压力为2.0*10-2Pa，镀膜速率为镀膜时间为305～308秒；所述第三膜层为五氧化三钛膜层...

【专利技术属性】
技术研发人员：李毅桢，聂小飞，叶忠海，谢志高，唐甫星，王维，张强，闵丹丹，蒋连林，牟联伟，
申请(专利权)人：舜宇光学中山有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44