边沿缓变制造技术

本发明专利技术涉及边沿缓变，具体描述了用于执行边沿缓变的方法。一种方法包括产生第一射频信号。所述第一射频信号从一种状态渡越到另一种状态。所述第一射频信号从一种状态到另一种状态的所述渡越导致等离子体阻抗的改变。该方法进一步包括产生第二射频信号。所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态以稳定所述等离子体阻抗的改变。该方法包括当所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二射频信号的边沿缓变。当所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二射频信号的边沿缓变，其中执行第二射频信号的边沿缓变以将第二射频信号的渡越速率改变为不同于所述第一射频信号的渡越速率。

【技术实现步骤摘要】
边沿缓变本申请是申请号为201310422559.9、申请日为2013年9月16日、专利技术名称为“边沿缓变”的申请的分案申请。
本专利技术涉及改善对等离子体阻抗的改变的响应，更具体地涉及用于执行边沿缓变的装置、方法和计算机程序。
技术介绍
在一些等离子体处理系统中，多个射频(RF)信号被提供给等离子体室内的一或多个电极。该RF信号帮助在等离子体室内产生等离子体。该等离子体被用于各种操作，例如，清洁被置于下电极上的衬底、蚀刻该衬底、斜面蚀刻该衬底，等等。当RF信号之一的功率值改变时，等离子体阻抗改变且该等离子体内产生扰动。当等离子体被用于上述各种操作时，控制该扰动是重要的。在这种背景下，提出本公开中所记载的实施方式。
技术实现思路
本公开的实施方式提供了用于边沿缓变(edgeramping)的装置、方法和计算机程序。应当理解的是这些实施方式可以多种方式实现，例如，工艺、装置、系统、设备、或者计算机可读介质上的方法。下面描述若干实施方式。在实施方式中，一种系统包括用于产生第一RF信号的主RF产生器。第一RF信号从一种状态渡越到另一种状态。第一RF信号从一种状态到另一种状态的渡越导致等离子体阻抗的改变。该系统进一步包括用于产生第二RF信号的次级RF产生器。第二RF信号从一种状态渡越到另一种状态以稳定等离子体阻抗的改变。该系统包括耦合到次级RF产生器的控制器。该控制器用于提供参数值给次级RF产生器以在第二RF信号从一种状态渡越到另一种状态时执行第二RF信号的边沿缓变。在一实施方式中，描述了一种用于减少射频(RF)信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统。该系统包括主产生器。该主产生器包括用于产生主RF信号的主激励器和放大器以及用于识别数字脉冲信号的状态的主数字信号处理器(DSP)。该状态包括第一状态和第二状态。该主DSP用于在该数字脉冲信号处于第一状态时识别第一主频率输入以及用于在该数字脉冲信号处于第二状态时识别第二主频率输入。该主产生器进一步包括耦合到主DSP以及主激励器和放大器的第一主自动频率调谐器(AFT)。第一主AFT用于从主DSP接收第一主频率输入以及调谐主RF信号以达到对应于第一主频率输入的等离子体阻抗。该主产生器包括耦合到主DSP以及主激励器和放大器的第二主AFT。第二主AFT用于从主DSP接收第二主频率输入以及调谐主RF信号以达到对应于第二主频率输入的等离子体阻抗。该主RF信号具有从第一主频率输入到第二主频率输入的渡越的主速率。在该实施方式中，该系统进一步包括次级产生器。该次级产生器包括用于产生次级RF信号的次级激励器和放大器以及用于识别数字脉冲信号的状态的次级数字信号处理器(DSP)。该次级DSP用于在该数字脉冲信号处于第一状态时识别第一次级频率输入以及用于在该数字脉冲信号处于第二状态时识别第二次级频率输入。该次级产生器进一步包括耦合到次级DSP以及次级激励器和放大器的第一次级AFT。第一次级AFT用于从次级DSP接收第一次级频率输入以及调谐次级RF信号以达到对应于第一次级频率输入的等离子体阻抗。该次级产生器包括耦合到次级DSP以及次级激励器和放大器的第二次级AFT。第二次级AFT用于从次级DSP接收第二次级频率输入以及调谐次级RF信号以达到对应于第二次级频率输入的等离子体阻抗。该次级DSP被配置来确定从第一次级频率输入到第二次级频率输入的渡越的次级速率。渡越的次级速率不同于渡越的主速率。在一实施方式中，描述了一种用于减少射频(RF)信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的系统。该系统包括主产生器。该主产生器包括用于产生主RF信号的主激励器和放大器以及耦合到该主激励器和放大器的一或多个主控制器。该一或多个主控制器被配置来识别数字脉冲信号的状态。该状态包括第一状态和第二状态。该一或多个主控制器中进一步被配置来调谐主RF信号以在数字脉冲信号处于第一状态时达到对应于第一主功率输入的等离子体阻抗。此外，该一或多个主控制器被配置来调谐主RF信号以在该数字脉冲信号处于第二状态时达到对应于第二主功率输入的等离子体阻抗。该主RF信号具有从第一主功率输入到第二主功率输入的渡越的主速率。在该实施方式中，该系统进一步包括次级产生器。该次级产生器包括用于产生次级RF信号的次级激励器和放大器。该次级产生器还包括耦合到该次级激励器和放大器的一或多个次级控制器。该一或多个次级控制器被配置来调谐次级RF信号以在数字脉冲信号处于第一状态时达到对应于第一次级功率输入的等离子体阻抗。该一或多个次级控制器进一步被配置来调谐次级RF信号以在该数字脉冲信号处于第二状态时达到对应于第二次级功率输入的等离子体阻抗。该一或多个次级控制器被配置来确定从第一次级功率输入到第二次级功率输入的渡越的次级速率。渡越的次级速率不同于渡越的主速率。在一实施方式中，描述了一种用于减少射频(RF)信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的方法。该方法包括识别数字脉冲信号的状态。该状态包括第一状态和第二状态。该方法包括当该数字脉冲信号处于第一状态时识别第一主频率输入以及当该数字脉冲信号处于第二状态时识别第二主频率输入。该方法还包括调谐主RF信号以在该数字脉冲信号处于第一状态时达到对应于第一主频率输入的等离子体阻抗以及调谐主RF信号以在该数字脉冲信号处于第二状态时达到对应于第二主频率输入的等离子体阻抗。该主RF信号具有从第一主频率输入到第二主频率输入的渡越的主速率。该方法包括当该数字脉冲信号处于第一状态时识别第一次级频率输入以及当该数字脉冲信号处于第二状态时识别第二次级频率输入。该方法进一步包括调谐次级RF信号以在该数字脉冲信号处于第一状态时达到对应于第一次级频率输入的等离子体阻抗以及调谐次级RF信号以在该数字脉冲信号处于第二状态时达到对应于第二次级频率输入的等离子体阻抗。该方法包括确定从第一次级频率输入到第二次级频率输入的渡越的次级速率。渡越的次级速率不同于渡越的主速率。上述实施方式的一些优点包括在主信号(例如，2兆赫兹(MHz)信号、27MHz信号等)从高功率值变为低功率值或者从低功率值变为高功率值时减少等离子体阻抗的振铃(ringing)或急冲(shoot)。在一实施方式中，振铃或急冲被避免。在一实施方式中，当主信号从第一功率值(例如，高功率值或低功率值)变为第二功率值(例如，低功率值或高功率值)时，另一RF信号边沿缓变以控制该另一RF信号从该另一RF信号的一功率值向该另一RF信号的另一功率值的渡越。在另一实施方式中，当主信号从第一功率值变为第二功率值时，该另一RF信号边沿缓变以控制该另一RF信号从该另一RF信号的一频率值向该另一RF信号的另一频率值的渡越。在另一实施方式中，当主信号从第一功率值变为第二功率值时，该另一RF信号边沿缓变以控制该另一RF信号从该另一RF信号的一频率值向该另一RF信号的另一频率值的渡越并控制该另一RF信号从该另一RF信号的一功率值向该另一RF信号的另一功率值的渡越。具体而言，本专利技术的一些方面可以阐述如下：1.一种方法，其包括：产生第一射频(RF)信号，其中所述第一RF信号从一种状态渡越到另一种状态，所述第一RF信号从一种状态到另一种状态的所述渡越导致等离子体阻抗的改变；产生第二RF信号，其中所述第二RF信号从一种状态本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方法，其包括：产生第一射频(RF)信号，其中所述第一RF信号从一种状态渡越到另一种状态，所述第一RF信号从一种状态到另一种状态的所述渡越导致等离子体阻抗的改变；产生第二RF信号，其中所述第二RF信号从一种状态渡越到另一种状态以稳定所述等离子体阻抗的改变；当所述第二RF信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二RF信号的边沿缓变，其中执行第二RF信号的边沿缓变以将第二RF信号的渡越速率改变为不同于所述第一RF信号的渡越速率。

【技术特征摘要】
2012.09.14 US 61/701,547;2012.10.24 US 13/659,1021.一种方法，其包括：产生第一射频(RF)信号，其中所述第一RF信号从一种状态渡越到另一种状态，所述第一RF信号从一种状态到另一种状态的所述渡越导致等离子体阻抗的改变；产生第二RF信号，其中所述第二RF信号从一种状态渡越到另一种状态以稳定所述等离子体阻抗的改变；当所述第二RF信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二RF信号的边沿缓变，其中执行第二RF信号的边沿缓变以将第二RF信号的渡越速率改变为不同于所述第一RF信号的渡越速率。2.如权利要求1所述的方法，其中所述边沿缓变具有正或负的坡度。3.如权利要求1所述的方法，其中所述参数值包括频率值或功率值。4.如权利要求1所述的方法，其中所述第一RF信号的一种状态是打开状态而所述第一RF信号的另一种状态是关闭状态，其中所述第二RF信号的一种状态是打开状态而所述第二RF信号的另一种状态是关闭状态。5.一种用于减少射频(RF)信号的功率电平的改变对等离子体阻抗的影响的方法，其包括：识别数字脉冲信号的状态，所述状态包括第一状态和第二状态，识别对应于所述第一状态的第一主功率输入；识别对应于所述第二状态的第二主功率输入；当所述数字脉冲信号处于所述第一状态时，调谐主RF信号以达到所述第一主功率输入；当所述数字脉冲信号处于所述第二状态时，调谐所述主RF信号以达到所述第二主功率输入；所述主RF信号具有从所述第一主功率输入到所述第二主功率输入的渡越的主速率；识别对应于所述第一状态的第一次级功率输入；识别对应于所述第二状态的第二次级功率输入；当所述数字...

【专利技术属性】
技术研发人员：约翰·C·小瓦尔考，布拉德福德·J·林达克，安德鲁·S·方，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国,US