一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置及方法，包括气氛控制系统、金属熔化及雾化系统和膜收集系统：气氛控制系统包括具备氧含量调节模块的保护气罩；金属熔化及雾化系统包括将金属熔化为液态的加热炉及与加热炉连接的雾化喷洒设备，所述雾化喷洒设备密封设置在保护气罩内；膜收集系统包括位于雾化喷洒设备下方的基底，所述基底密封设置在保护气罩内。本发明专利技术可实现不同成分金属的快速均匀沉积，可以简单改变膜的沉积条件并控制膜沉积厚度，随后取样对膜进行后期各项性质的研究，使对膜成分及性能研究变得可行。由于沉积膜喷洒较为均匀，不同位置的物化性质均相差不大，方便了样品各个性质的分析。

Device and method for rapidly cooling deposited homogeneous metal oxide film

The invention discloses a fast cooling device and method of depositing uniform metal oxide film, including the atmosphere control system, metal melting and atomization system and membrane collection system: atmosphere control system including gas protection with oxygen content control module cover; metal melting and atomization system including metal melting furnace and is connected with the liquid atomization the heating furnace spraying equipment, the spray equipment sealing is arranged in the protective hood; film collection system comprises a base located below the spray device, the base seal is arranged in the protective hood. The invention can realize rapid and uniform deposition of different metal composition, deposition conditions can simply change the membrane and control film thickness, then study the properties of the sampling period on the film, making the research on the film composition and properties becomes feasible. Because of the homogeneous spraying of the deposited film, the physicochemical properties of the different sites are not the same, which facilitates the analysis of the various properties of the sample.

【技术实现步骤摘要】
一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置及方法
本专利技术属于金属材料实验设备，具体涉及一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置及方法。
技术介绍
制造业是国民经济的基础产业，支撑着我国经济的稳定发展。在传统制造行业中，以黑色金属冶炼及其铸造为主的生产过程占有制造业中能源消耗的很大比重，优化黑色金属生产过程对于制造业的节能具有重大意义。铸造是钢铁材料生产的必经步骤，同时也是金属由液态变为固态的关键过程，在很大程度上决定了钢铁材料的表面质量以及力学性能。近年来，发现在不同钢种的连铸，特别是薄带连铸中，在水冷结晶器壁表面容易沉积膜，且这种膜对钢液凝固传热及其质量产生影响。在钢液凝固的过程中虽然可以得到所需的氧化膜，但是在实验室条件下的制膜过程十分复杂，而且所沉积的膜并不均匀，不能准确测量各项物化性质，用以后续分析。目前，在试验室条件下对金属氧化膜进行主动沉积制备的装置及方法的相关专利较少，多数是特定金属氧化膜的自然沉积。如申请号为201280063746.6的专利，在SrRuO3膜沉积方法中，提供了一种通过偏移旋转型DC磁控溅射法的SrRuO3膜沉积方法。通过等离子体加热基板以及挡板对靶材的选择本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置，其特征在于包括：气氛控制系统，包括具备氧含量调节模块的保护气罩；金属熔化及雾化系统，包括将金属熔化为液态的加热炉及与加热炉连接的雾化喷洒设备，所述雾化喷洒设备密封设置在保护气罩内；膜收集系统，包括位于雾化喷洒设备下方的基底，所述基底密封设置在保护气罩内。

【技术特征摘要】
1.一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置，其特征在于包括：气氛控制系统，包括具备氧含量调节模块的保护气罩；金属熔化及雾化系统，包括将金属熔化为液态的加热炉及与加热炉连接的雾化喷洒设备，所述雾化喷洒设备密封设置在保护气罩内；膜收集系统，包括位于雾化喷洒设备下方的基底，所述基底密封设置在保护气罩内。2.根据权利要求1所述的一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置，所述保护气罩设有进气管和出气管，所述氧含量调节模块包括设置在所述进气管上的深度脱氧装置，所述深度脱氧装置与填装有压缩保护气体的气瓶连接。3.根据权利要求2所述的一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置，所述氧含量调节模块还包括分别设置在所述保护气罩进气口和出气口的进气口氧探头和出气口氧探头，所述进气口氧探头和出气口氧探头分别与氧含量分析仪通过信号连接。4.根据权利要求1所述的一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置，所述雾化喷洒设备的喷洒管道上设有加热线圈，所述加热线圈具有温度反馈单元。5.根据权利要求4所述的一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置，所述温度反馈单元包括红外高温仪以及与红外高温仪通过信号连接的温度反馈控制仪表，所述红外高温仪的照射方向针对加热线圈所在区域，所述温度反馈控制仪表与加热线圈的加热控制电路通过信号连接。6.根据权利要求1所述的一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置，所述基底具有光滑表面，基底内部与冷却水进水管和冷却水出水管连接。7.根据权利要求1-6中任一项所述的一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置，所述基底与升降机...

【专利技术属性】
技术研发人员：王万林，周乐君，路程，朱晨阳，谢森林，龙旭凯，李欢，
申请(专利权)人：中南大学，
类型：发明
国别省市：湖南,43