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本发明公开了一种快速冷却沉积均匀金属氧化膜的装置及方法，包括气氛控制系统、金属熔化及雾化系统和膜收集系统：气氛控制系统包括具备氧含量调节模块的保护气罩；金属熔化及雾化系统包括将金属熔化为液态的加热炉及与加热炉连接的雾化喷洒设备，所述雾化喷洒...
该专利属于中南大学所有，仅供学习研究参考，未经过中南大学授权不得商用。

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