一种用于玻璃基板的传送装置及其传送方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于玻璃基板的传送装置及其传送方法，传送装置包括机架(7)和设在机架(7)上将玻璃基板(6)悬浮在空中的气浮平台(9)，所述机架(7)经由隔震气囊(8)支承在地面，所述隔震气囊(8)包括连接机架(7)的上连接板(15)、支承地面的下连接板(11)和设在上连接板(15)和下连接板(11)之间的用于隔绝振动的气囊(19)，所述气浮平台(9)的一侧设有用于传送所述玻璃基板(6)的传送吸盘(5)和驱动所述传送吸盘(5)的驱动机构，所述传送吸盘(5)包括用于同时吸附在玻璃基板(6)表面边缘处的多个吸盘(10)，由聚醚醚酮制成的所述吸盘(10)的硬度处于150V到200V之间。该传送装置平稳可靠且避免了划痕。

Transmission device for glass substrate and transmission method thereof

\u672c\u53d1\u660e\u6d89\u53ca\u4e00\u79cd\u7528\u4e8e\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u7684\u4f20\u9001\u88c5\u7f6e\u53ca\u5176\u4f20\u9001\u65b9\u6cd5\uff0c\u4f20\u9001\u88c5\u7f6e\u5305\u62ec\u673a\u67b6(7)\u548c\u8bbe\u5728\u673a\u67b6(7)\u4e0a\u5c06\u73bb\u7483\u57fa\u677f(6)\u60ac\u6d6e\u5728\u7a7a\u4e2d\u7684\u6c14\u6d6e\u5e73\u53f0(9)\uff0c\u6240\u8ff0\u673a\u67b6(7)\u7ecf\u7531\u9694\u9707\u6c14\u56ca(8)\u652f\u627f\u5728\u5730\u9762\uff0c\u6240\u8ff0\u9694\u9707\u6c14\u56ca(8)\u5305\u62ec\u8fde\u63a5\u673a\u67b6(7)\u7684\u4e0a\u8fde\u63a5\u677f(15)\u3001\u652f\u627f\u5730\u9762\u7684\u4e0b\u8fde\u63a5\u677f(11)\u548c\u8bbe\u5728\u4e0a\u8fde\u63a5\u677f(15)\u548c\u4e0b\u8fde\u63a5\u677f(11)\u4e4b\u95f4\u7684\u7528\u4e8e\u9694\u7edd\u632f\u52a8\u7684\u6c14\u56ca(19)\uff0c\u6240\u8ff0\u6c14\u6d6e\u5e73\u53f0(9)\u7684\u4e00\u4fa7\u8bbe\u6709\u7528\u4e8e\u4f20\u9001\u6240\u8ff0\u73bb\u7483\u57fa\u677f(6)\u7684\u4f20\u9001\u5438\u76d8(5)\u548c\u9a71\u52a8\u6240\u8ff0\u4f20\u9001\u5438\u76d8(5)\u7684\u9a71\u52a8\u673a\u6784\uff0c\u6240\u8ff0\u4f20\u9001\u5438\u76d8(5)\u5305\u62ec\u7528\u4e8e\u540c\u65f6\u5438\u9644\u5728\u73bb\u7483\u57fa\u677f(6)\u8868\u9762\u8fb9\u7f18\u5904\u7684\u591a\u4e2a\u5438\u76d8(10)\uff0c\u7531\u805a\u919a\u919a\u916e\u5236\u6210\u7684\u6240\u8ff0\u5438\u76d8(10)\u7684\u786c\u5ea6\u5904\u4e8e150V\u5230200V\u4e4b\u95f4\u3002 The transmitting device is smooth and reliable and avoids scratches.

【技术实现步骤摘要】
一种用于玻璃基板的传送装置及其传送方法
本专利技术涉及玻璃基板
，特别涉及一种用于玻璃基板的传送装置及其传送方法。
技术介绍
当前，随着技术的发展与市场的需求，平板显示的玻璃基板幅面不断扩大，厚度不断变薄，因此在微观检查机对平板显示玻璃基板进行传送时，要求与玻璃基板接触的每个吸盘吸力大小一致，在传送过程中若有吸盘没有吸附在玻璃上，会导致与吸盘之间产生摩擦，导致玻璃基板上出现划痕，影响产品品质，严重时会导致产品报废。专利文献CN106044225A公开的一种玻璃基板传送装置包括：气浮装置，用于放置所述玻璃基板；定位装置，用于将在传送所述玻璃基板前将所述玻璃基板定位在所述气浮装置上；以及移动装置，用于驱动所述玻璃基板沿所述气浮装置移动。该专利使用气流支撑玻璃基板，避免玻璃基板在运输过程中与支撑装置接触，从而防止造成划伤和污染，但该专利无法避免玻璃基板运输过程中玻璃基板和夹持部件之间的摩擦，导致玻璃基板上出现划痕，影响产品品质，另外，该专利无法避免由于细微地面振动以及不平度导致的摩擦，从而无法避免玻璃基板上出现划痕。专利文献CN205328207U公开的一种玻璃基板的气浮运输装置包括固定台和工作台，所述固定台两端设有若干组滚轮，固定台的中间设有第一凹槽，第一凹槽内安装有工作台，工作台通过U型薄板安装在固定台上，所述U型薄板设有气流进入的通孔，通孔与工作台下方的第二凹槽连通，在工作台上设有若干个压力腔，压力腔通过节流孔与第二凹槽连通，工作台上方设有传送带，传送带上安装有若干个非接触式真空吸盘，非接触式真空吸盘上设有开关阀，在靠近第一凹槽的两个滚轮上设有传感器，传感器与控制器信号连接，控制器与开关阀信号连接。该专利通过非接触式真空吸盘吸住玻璃基板带动玻璃基板运动，但该专利由于非接触式真空吸盘的夹持的不稳定性导致废品率上升，不利于大规模生产。因而如何高效、安全、可靠地传送玻璃基板且不会在玻璃基板上产生划痕是玻璃基板领域所要进一步解决的问题。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供了一种用于玻璃基板的传送装置及其传送方法。该装置不但可以实现高效、安全、可靠地传送玻璃基板，同时可以克服由于运输过程中玻璃基板和夹持部件之间的摩擦导致的划痕问题。采用本专利技术的传送装置具有高效、经济的效果，并且自动化、规模化和便于维护。根据本专利技术的一方面，本专利技术的用于玻璃基板的传送装置包括包括机架和设在所述机架上将玻璃基板悬浮在空中的气浮平台，所述机架经由隔震气囊支承在地面，所述隔震气囊包括连接机架的上连接板、支承地面的下连接板和设在所述上连接板和下连接板之间的用于隔绝振动的气囊，所述气浮平台的一侧设有用于传送所述玻璃基板的传送吸盘和驱动所述传送吸盘的驱动机构，所述传送吸盘包括用于同时吸附在玻璃基板表面边缘处的多个吸盘，由聚醚醚酮制成的所述吸盘的硬度处于150V到200V之间。在本专利技术的一个实施方式中，所述气囊经由阀门连接压缩空气源，所述隔震气囊包括测量机架水平度的感应头和用于控制气囊进气量的控制器，所述阀门电连接所述控制器，当机架下沉触发所述感应头，控制器控制阀门开闭以控制气囊进气量直至所述机架水平。在本专利技术的一个实施方式中，所述隔震气囊包括调整机架水平度的调整螺钉。在本专利技术的一个实施方式中，所述气囊经由阀门连接压缩空气源，所述阀门电连接所述控制器。在本专利技术的一个实施方式中，所述机架一侧设有大理石制成的梁，所述梁的平面度在5微米以内，所述梁上设有所述驱动机构。在本专利技术的一个实施方式中，所述驱动机构包括导轨和驱动电机，所述驱动电机驱动所述传送吸盘沿着导轨移动。在本专利技术的一个实施方式中，所述驱动电机为直线电机，所所述传送吸盘设在连接板上，所述连接板通过所述直线电机驱动沿导轨移动。在本专利技术的一个实施方式中，所述传送吸盘经由固定座连接所述连接板，所述固定座设有用于调节吸盘高度的调节螺栓，所述传送吸盘包括16到25个吸盘，每个吸盘高度平面误差在-5微米到5微米。在本专利技术的一个实施方式中，所述吸盘设有压力传感器，当每个吸盘和玻璃基板之间的压力到达预定阈值，所述驱动机构驱动所述传送吸盘。在本专利技术的一个实施方式中，所述传送装置设有电连接驱动机构、压力传感器和控制器的处理器，所述处理器为通用处理器、数字信号处理器、专用集成电路ASIC、现场可编程门阵列FPGA、模拟电路或数字电路，所述处理器包括存储器，所述存储器为只读存储器ROM、随机存取存储器RAM、快闪存储器或电子可擦除可编程只读存储器EEPROM。根据本专利技术的另一方面，一种使用所述的用于玻璃基板的传送装置的传送方法包括以下步骤：第一步骤中：调节隔震气囊使得机架水平且隔绝来自地面的振动。第二步骤中：气浮平台将玻璃基板悬浮于空气中。第三步骤中：多个吸盘同时吸附在玻璃基板表面边缘处，经由驱动机构驱动所述吸盘以传送所述玻璃基板。采用本专利技术的装置及其方法，可以实现：通过多个吸盘同时吸附玻璃基板能够实现高效、安全、可靠地传送，通过隔震气囊隔绝细微的地面振动的影响以及经由如大理石制成的梁、控制器等确保机架水平度，通过硬度处于150V到200V之间由聚醚醚酮制成的吸盘同时吸附且每个吸盘高度保持在同一平面，从而避免了玻璃基板产生划痕的问题。附图说明图1为本专利技术的一个实施例的用于玻璃基板的传送装置的部分立体示意图。图2为本专利技术的一个实施例的用于玻璃基板的传送装置的隔震气囊的结构示意图。图3为本专利技术的一个实施例的用于玻璃基板的传送装置的传送吸盘的结构示意图。图4为本专利技术的一个实施例的利用所述用于玻璃基板的传送装置的传送方法的步骤示意图。具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本专利技术的具体实施例。虽然附图中显示了本专利技术的具体实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本专利技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本专利技术，并且能够将本专利技术的范围完整的传达给本领域的技术人员。需要说明的是，在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可以理解，技术人员可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求并不以名词的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。如在通篇说明书及权利要求当中所提及的“包含”或“包括”为一开放式用语，故应解释成“包含但不限定于”。说明书后续描述为实施本专利技术的较佳实施方式，然所述描述乃以说明书的一般原则为目的，并非用以限定本专利技术的范围。本专利技术的保护范围当视所附权利要求所界定者为准。下面结合实施例及附图，对本专利技术作进一步的详细说明，但本专利技术的实施方式不仅限于此。图1为本专利技术的一个实施例的用于玻璃基板的传送装置的立体示意图，如图1所示，本实施例中的用于玻璃基板的传送装置包括机架7和设在所述机架7上将玻璃基板6悬浮在空中的气浮平台9，所述机架7经由隔震气囊8支承在地面，所述隔震气囊8包括连接机架7的上连接板15、支承地面的下连接板11和设在所述上连接板15和下连接板11之间的用于隔绝振动的气囊19，所述气浮平台9的一侧设有用于传送所述玻璃基板6的传送吸盘5和驱动所述传送吸盘5的驱动机构，所述传送吸盘5包括用于同时吸附在玻璃基板6表面边缘处的多个吸盘10，由聚醚醚酮制成的所述吸盘10的硬度处于150V到200V之间。本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于玻璃基板的传送装置，其包括机架(7)和设在所述机架(7)上将玻璃基板(6)悬浮在空中的气浮平台(9)，其特征在于：所述机架(7)经由隔震气囊(8)支承在地面，所述隔震气囊(8)包括连接机架(7)的上连接板(15)、支承地面的下连接板(11)和设在所述上连接板(15)和下连接板(11)之间的用于隔绝振动的气囊(19)，所述气浮平台(9)的一侧设有用于传送所述玻璃基板(6)的传送吸盘(5)和驱动所述传送吸盘(5)的驱动机构，所述传送吸盘(5)包括用于同时吸附在玻璃基板(6)表面边缘处的多个吸盘(10)，由聚醚醚酮制成的所述吸盘(10)的硬度处于150V到200V之间。

【技术特征摘要】
2017.01.26 CN 20171006156731.一种用于玻璃基板的传送装置，其包括机架(7)和设在所述机架(7)上将玻璃基板(6)悬浮在空中的气浮平台(9)，其特征在于：所述机架(7)经由隔震气囊(8)支承在地面，所述隔震气囊(8)包括连接机架(7)的上连接板(15)、支承地面的下连接板(11)和设在所述上连接板(15)和下连接板(11)之间的用于隔绝振动的气囊(19)，所述气浮平台(9)的一侧设有用于传送所述玻璃基板(6)的传送吸盘(5)和驱动所述传送吸盘(5)的驱动机构，所述传送吸盘(5)包括用于同时吸附在玻璃基板(6)表面边缘处的多个吸盘(10)，由聚醚醚酮制成的所述吸盘(10)的硬度处于150V到200V之间。2.根据权利要求1所述的用于玻璃基板的传送装置，其特征在于：所述气囊(19)经由阀门连接压缩空气源，所述隔震气囊(8)包括测量机架(7)水平度的感应头(16)和用于控制气囊进气量的控制器(18)，所述阀门电连接所述控制器(18)，当机架(7)下沉触发所述感应头(16)，控制器(18)控制阀门开闭以控制气囊进气量直至所述机架(7)水平。3.根据权利要求1所述的用于玻璃基板的传送装置，其特征在于：所述隔震气囊(8)包括调整机架水平度的调整螺钉(17)。4.根据权利要求1所述的用于玻璃基板的传送装置，其特征在于：所述机架(7)一侧设有大理石制成的梁(2)，所述梁(2)的平面度在5微米以内，所述梁(2)上设有所述驱动机构。5.根据权利要求1所述的用于玻璃基板的传送装置，其特征在于：所述驱动机构包括导轨(1)和驱动电机(3)，所述驱动电...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓永松，李青，丁力，李兆廷，刘磊，蔡杰，
申请(专利权)人：江苏东旭亿泰智能装备有限公司，东旭光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32