The utility model relates to a magnetic field microwave discharge plasma polymerization surface coating device, belonging to the plasma technology field. In the device, a vacuum chamber at the top or side mounted cylindrical discharge chamber; installation of electromagnetic coil or permanent magnet external discharge cavity; the discharge cavity end away from the vacuum chamber equipped with microwave window, the microwave window is connected with the microwave waveguide at one end, the other end is connected with the microwave waveguide microwave source; microwave source discharge occurs in the action of discharge the cavity with the electromagnetic coil and the permanent magnet magnetic field, the monomer to polymerize and deposited polymer coating on the substrate surface by plasma polymerization, surface coating of microwave source continuous output microwave, microwave source switching output microwave plasma polymerization coating. The carrier gas passing through the device of the utility model is low in pressure, and the monomer diffusion is good, so that the prepared plasma polymerized surface coating is more uniform.
【技术实现步骤摘要】
一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置
本技术属于等离子体
,具体涉及到一种等离子体聚合表面涂层装置。
技术介绍
等离子体聚合是利用放电把有机类气态单体等离子体化,使其产生各类活性种,由这些活性种之间或活性种与单体之间进行加成反应形成聚合物的方法。等离子体聚合可分为等离子体态聚合和等离子体引发聚合两种形式,它们的区别是:等离子体态聚合整个反应过程中单体完全暴露于等离子体环境,而等离子体引发聚合中气体只在短时间内通过辉光放电形成的等离子体,使单体蒸气发生气相反应生成活性中心,引发单体蒸气在长时间无等离子体的后续过程中进行聚合反应。等离子体态聚合与等离子体引发聚合有各自的优缺点。几乎所有的单体都可以发生等离子体态聚合,但等离子体态聚合产物存在结构复杂,反应重现性差,处理效果随时间衰减等问题。另一方面,等离子体引发聚合方式可以较少破坏单体的结构,保留单体优良性能,使聚合产物结构较为单一,易于形成线性大分子产物,还能够通过与材料表面发生接枝反应增强表面的附着力,使涂层效果不随时间衰减,但只有特定的单体能够发生等离子体引发聚合。等离子体态聚合与等离子体引发聚合在不同方面有各自的应用价值。等离子体态聚合一般通过连续辉光放电实现,这为相关领域技术人员所熟知。现有的等离子体引发聚合技术通过脉冲调制高频辉光放电实现。例如文献《表面涂层》(CN1190545C)公开了一种疏水和/或疏油基材,其中包括利用脉冲调制高频辉光放电制备聚合物涂层的方法;文献《通过低压等离子体工艺施加保形纳米涂层的方法》(CN201180015332.1)也涉及利用脉冲调制高频辉光放电制备聚合物 ...
【技术保护点】
一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置,其特征在于:在真空室(1)的顶部或侧面安装圆柱形放电腔(2);放电腔(2)外部安装电磁线圈(3)或永久磁铁;放电腔(2)远离真空室的一端安装有微波窗口(4),微波窗口(4)与微波波导(5)一端连接,微波波导(5)另一端连接微波源(6);载体气体管路(7)一端连接载体气体源(8),另一端连接放电腔(2),并在放电腔(2)远离真空室(1)的一端开口;单体蒸汽管路(9)一端连接单体蒸汽源(10),另一端连接真空室(1)并在真空室(1)内靠近放电腔(2)处开口;真空排气管(11)设置在真空室(1)远离放电腔(2)的一侧,且连接真空泵(12)。
【技术特征摘要】
1.一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置,其特征在于:在真空室(1)的顶部或侧面安装圆柱形放电腔(2);放电腔(2)外部安装电磁线圈(3)或永久磁铁;放电腔(2)远离真空室的一端安装有微波窗口(4),微波窗口(4)与微波波导(5)一端连接,微波波导(5)另一端连接微波源(6);载体气体管路(7)一端连接载体气体源(8),另一端连接放电腔(2),并在放电腔(2)远离真空室(1)的一端开口;单体蒸汽管路(9)一端连接单体蒸汽源(10),另一端连接真空室(1)并在真空室(1)内靠近放电腔(2)处开口;真空排气管(11)设置在真空室(1)远离放电腔(2)的一侧,且连接真空泵(12)。2.根据权利要求1所述的一种磁场微波放电...
【专利技术属性】
技术研发人员:宗坚,
申请(专利权)人:无锡荣坚五金工具有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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