产品的批优先级调整装置及调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种产品的批优先级调整装置及调整方法。所述调整装置包括输入模块，分类模块，管控模块和输出模块；所述输入模块用于输入待加工产品的生产信息，所述待加工产品包括目标批产品，并将所述生产信息传递至分类模块；所述分类模块用于将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并将划分信息传递至所述管控模块；所述管控模块用于依据所划分的段计算所述目标批产品的关键比，并将算得的关键比传递至输出模块；所述输出模块用于依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。利用所述装置进行调整时，能够直观的展现出每批产品的紧急程度，从而使得产品的批优先级调整合理，使得生产过程稳定，容易把控。

【技术实现步骤摘要】
产品的批优先级调整装置及调整方法
本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种产品的批优先级调整装置及调整方法。
技术介绍
当前一条半导体生产线的待加工产品(也即生产线在制品，WIP)，通常是包括多种不同的产品(product)，对于每种产品，则是会涉及到不同工艺节点(如28纳米、38纳米等)的器件(device)。因此，在晶圆沿着生产线一步步被加工执行时，其在每一站点(stage)，都将占据一定的优先级(priority)，尤其是在待加工产品数量较多时，每批晶圆的优先级将更加重要和严格。在实际生产中，通常会出现一种情况：某批产品(或晶圆)由于特殊原因(例如设备异常，客户需求调整等)，需要将一些产品的优先级进行大幅调整。这种改动如若缺乏正确的管控，容易导致生产线紊乱，造成资源的浪费。传统的优先等级调整方式，仅以需求调整比率(RequestTurnRatio)来衡量，其计算方法为(交货日期-当前日期)/剩余站点数量(RemainStageCount)作为参考依据。该方式有以下缺陷：一方面，生产线的流速并不是完全一致的，各个生产线各段(Loop)的流速不同，相对于流速快的生产段，在流速较慢的生产段中，产品批(LOT)可能需要更高的等级；另一方面，不同的器件因生产流程(Flow)不同，即便在同一生产段中，其流速也不相同。具体可参考图1和图2，其中图1为现有技术中产品的批优先级等级比例分布图，图2为现有技术中经过人为调整产品的批优先级等级后的比例分布图。如图1所示，等级1占据了较大部分，而等级3则很少，可见等级分配杂乱无章，且等级比例分配不合理，势必导致生产资源的浪费。如图2所示，当某些产品的等级需要变动时，虽然由于人为的调整使得优先级得以细化，但是却引发变化剧烈，从而导致生产线压力变化过大，也不利于生产。因此可见，现有的方法无法进行合理的优先等级分配。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种产品的批优先级调整装置及调整方法，以对产品批的优先级进行合理的调整，避免失控。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种产品的批优先级调整装置，包括：输入模块，分类模块，管控模块和输出模块；所述输入模块用于输入待加工产品的生产信息，所述待加工产品包括目标批产品，并将所述生产信息传递至分类模块；所述分类模块用于将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并将划分信息传递至所述管控模块；所述管控模块用于依据所划分的段计算所述目标批产品的关键比，并将算得的关键比传递至输出模块；所述输出模块用于依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。可选的，对于所述的产品的批优先级调整装置，所述生产信息包括所述目标批产品的交货日期、第一时期内的待加工产品数、第二时期内的已有待加工产品数和已有动态生产周期。可选的，对于所述的产品的批优先级调整装置，所述第一时期为自当天起72小时之内的一段时间；所述第二时期为在当天之前选择大于等于30天的一段时间。相应的，本专利技术还提供一种利用所述的产品的批优先级调整装置进行产品的批优先级调整方法，包括：由输入模块输入待加工产品的生产信息；分类模块从输入模块获得所述生产信息，并将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段；管控模块从分类模块中获得分段信息，并依据所划分的段计算所述批目标产品的关键比；输出模块从管控模块中获得关键比，并依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。可选的，对于所述的产品的批优先级调整方法，所述关键比的计算方法为：提取所述目标批产品的每段在第一时期中的动态生产周期；依据所述目标批产品所未完成的段及每段的动态生产周期计算所述批产品的理论出货时间；依据所述理论出货时间及交货日期，计算所述目标批产品的关键比＝(交货日期-当天日期)/理论出货时间。可选的，对于所述的产品的批优先级调整方法，依据第二时期内的已有待加工产品数和已有动态生产周期，拟合出待加工产品数与动态生产周期的函数关系，由此依据所述第一时期内的待加工产品数获得所述动态生产周期。可选的，对于所述的产品的批优先级调整方法，所述多段为n段，所述目标批产品处于第m段，n≥m且皆为正整数，所述理论出货时间＝(第m段的动态生产周期*第m段中剩余光刻层的数量)+(第m+1段的动态生产周期*第m+1段中剩余光刻层的数量)+……+(第n段的动态生产周期*第n段中剩余光刻层的数量)。可选的，对于所述的产品的批优先级调整方法，所述关键比越小，所述批优先级越高。可选的，对于所述的产品的批优先级调整方法，在调整所述目标批产品的批优先级时，还结合批优先级等级配额进行调整。可选的，对于所述的产品的批优先级调整方法，所述优先级等级分为四级以上，最高级的等级配额小于第二级的等级配额。本专利技术提供的产品的批优先级调整装置，包括输入模块，分类模块，管控模块和输出模块；所述输入模块用于输入待加工产品的生产信息，所述待加工产品包括目标批产品，并将所述生产信息传递至分类模块；所述分类模块用于将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并将划分信息传递至所述管控模块；所述管控模块用于依据所划分的段计算所述目标批产品的关键比，并将算得的关键比传递至输出模块；所述输出模块用于依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。在利用所述装置进行调整时，根据待加工产品的生产信息将目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并依据所划分的段计算所述批目标产品的关键比，然后依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。与现有技术相比，本专利技术的装置及调整方法直接考虑的是每批产品的实际需求及理论情况，并具体结合实际的加工情况，直观的展现出每批产品的紧急程度，从而使得产品的批优先级调整更为合理，也使得生产过程更稳定，更易把控。附图说明图1为现有技术中产品的批优先级等级比例分布图；图2为现有技术中经过人为调整产品的批优先级等级后的比例分布图；图3为本专利技术实施例中的产品的批优先级调整装置的结构示意图；图4为本专利技术实施例中的产品的批优先级调整方法的流程图；图5为本专利技术实施例中拟合出的待加工产品数与动态生产周期的函数关系图；图6为本专利技术实施例中产品的批优先级等级比例分布图。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的产品的批优先级调整装置及调整方法进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术，而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本专利技术。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。本专利技术的核心思想是，提供一种产品的批优先级调整装置，包括：输入模块，分类模块，管控模块和输出模块；所述输入模块用于输入待加工产品的生产信息，所述待加工产品包括目标批产品，并将所述生产信息传递至分类模块；所述分类模块用于将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并将划分信息传递至所述管控模块；所述管控模块用于依据所划分的段计算所述目标批产品的关键比，并将算得的关键比传递至输出模块；所述输出模块用于依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。从而利用该装置切合生产过程中的实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种产品的批优先级调整装置，包括：输入模块，分类模块，管控模块和输出模块；所述输入模块用于输入待加工产品的生产信息，所述待加工产品包括目标批产品，并将所述生产信息传递至分类模块；所述分类模块用于将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并将划分信息传递至所述管控模块；所述管控模块用于依据所划分的段计算所述目标批产品的关键比，并将算得的关键比传递至输出模块；所述输出模块用于依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。

【技术特征摘要】
1.一种产品的批优先级调整装置，包括：输入模块，分类模块，管控模块和输出模块；所述输入模块用于输入待加工产品的生产信息，所述待加工产品包括目标批产品，并将所述生产信息传递至分类模块；所述分类模块用于将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段，并将划分信息传递至所述管控模块；所述管控模块用于依据所划分的段计算所述目标批产品的关键比，并将算得的关键比传递至输出模块；所述输出模块用于依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。2.如权利要求1所述的产品的批优先级调整装置，其特征在于，所述生产信息包括所述目标批产品的交货日期、第一时期内的待加工产品数、第二时期内的已有待加工产品数和已有动态生产周期。3.如权利要求2所述的产品的批优先级调整装置，其特征在于，所述第一时期为自当天起72小时之内的一段时间；所述第二时期为在当天之前选择大于等于30天的一段时间。4.一种利用权利要求3所述的产品的批优先级调整装置进行产品的批优先级调整方法，包括：由输入模块输入待加工产品的生产信息；分类模块从输入模块获得所述生产信息，并将所述目标批产品的生产工艺按顺序划分为多段；管控模块从分类模块中获得分段信息，并依据所划分的段计算所述批目标产品的关键比；输出模块从管控模块中获得关键比，并依据所述关键比输出所述目标批产品的批优先级。5.如权利要求4所述的产品的批优先级...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵樑，朱吉敏，肖柯，张瀛，俞玉林，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31