一种电控磁光开关芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种电控磁光开关芯片，由2×2的3dB光耦合器、磁光微环谐振器组及其上面覆盖的金属微带环线组成。2×2的3dB光耦合器一端的两个接口分别作为磁光开关芯片装置的外部输入和输出接口，另一端的两个接口串联有磁光微环谐振器组，磁光微环谐振器组上面覆盖有“S”形金属微带环线，通过改变施加到金属微带环线中的电流大小实现光开关功能；同时，本发明专利技术可以通过改变磁光微环谐振器的级联个数和微环半径大小，优化各波导之间的耦合系数，设计出不同带宽需求的电控磁光开关芯片，具有结构简单、消光比高、3dB带宽可灵活设计的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种电控磁光开关芯片
本专利技术属于光信息处理
，更为具体地讲，涉及一种电控磁光开关芯片。
技术介绍
光开关是光通信中不可或缺的器件，它在光信息交换和信号处理中有着广泛的应用。光开关是光分插复用设备、光交叉连接和光路由器等设备的核心器件之一，其对整个光网络的性能有着至关重要的影响。新一代的器件逐步向小型化、集成化的方向发展，因此硅基波导被广泛应用到各种光器件中。随着磁光材料的研究以及生长水平的提高，利用硅基波导磁光效应制作磁光开关逐渐受到人们的关注。现有的磁光开关大都依赖于体状磁光材料和分立的偏振合/分束器加以实现，体积较大，而且磁场的加载方式也受到一定限制，不利于磁光开关的小型化和集成化。利用磁光光纤制作的光纤开关虽然具有插入损耗低、结构和制作工艺简单等特点，但在稳定可靠性、磁光开关速度、多端口构建等方面还需要进一步发展。总体而言，实用化的波导型磁光开关并不常见，人们更为关注的是，如何发挥波导型磁光开关的小型化、易集成、稳定可靠等优势，又要达到现有磁光开关的开关消光比性能，且满足现在光通信信号传输带宽要求？
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种电控磁光开本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电控磁光开关芯片，其特征在于，包括：一2×2的3dB光耦合器，包括两个端口，每个端口均包含两个接口；其中第一个端口的两个接口分别串联一个耦合光栅，第二个端口的两个接口串联磁光微环谐振器组的直波导；两耦合光栅，分别位于2×2的3dB光耦合器的第一个端口的两个接口处，通过与两接口串联作为电控磁光开关芯片的外部输入、输出接口接口；一磁光微环谐振器组，采用串联方式将多个磁光微环谐振器级联，并与一直波导进行耦合，直波导的两端分别与2×2的3dB光耦合器的第二端口的两个接口串联，在磁光微环谐振器的上表面覆盖有金属微带环线，其下表面覆盖有连接金属微带环线两端的金属焊盘；一外部驱动电路，分别与磁光微环谐振...

【技术特征摘要】
1.一种电控磁光开关芯片，其特征在于，包括：一2×2的3dB光耦合器，包括两个端口，每个端口均包含两个接口；其中第一个端口的两个接口分别串联一个耦合光栅，第二个端口的两个接口串联磁光微环谐振器组的直波导；两耦合光栅，分别位于2×2的3dB光耦合器的第一个端口的两个接口处，通过与两接口串联作为电控磁光开关芯片的外部输入、输出接口接口；一磁光微环谐振器组，采用串联方式将多个磁光微环谐振器级联，并与一直波导进行耦合，直波导的两端分别与2×2的3dB光耦合器的第二端口的两个接口串联，在磁光微环谐振器的上表面覆盖有金属微带环线，其下表面覆盖有连接金属微带环线两端的金属焊盘；一外部驱动电路，分别与磁光微环谐振器的金属焊盘接，用于给金属微带环线施加电流；外部光信号通过耦合光栅输入至输入接口，再经过2×2的3dB光耦合器后，分成顺时针和逆时针传播的两束光信号，通过第二个端口串联的直波...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪双，武保剑，喻刚，文峰，邱昆，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51