The invention discloses a method for manufacturing a wafer temperature protective film tape and adhesive tape and method of use for the side of polyimide film, the other side is the adhesive layer of solvent based acrylate adhesive and crosslinking agent formed by copolymerization. The method of processing the adhesive tape comprises the steps of glue preparation, equipment debugging, parameter setting, trial coating and formal coating. The tape can be used for cutting semiconductor wafer, spraying, computer chassis and other metal surface paint shielding, shielding and insulating electronic circuit processing, and printed circuit boards, electronic parts, resistor capacitor production is fixed, leaching of shielding the finger part and prevent the immersion plating solution and the pollution of PCB plate with a printed circuit board, gold-plated masking etc..
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆高温保护膜及其制作方法、使用方法
本专利技术涉及化学领域,特别涉及一种晶圆高温保护膜及其制作方法、使用方法。
技术介绍
圆晶是制作硅半导体所用的硅片,形状似圆形,故称晶圆。将硅单晶棒制备成硅晶圆片的工艺即为晶圆成型。晶圆切割保护膜就是在半导体制作过程中起到保护作用。SOI技术是降低晶体管漏电流的有效措施,而应变硅技术是提高晶体管速度的有效途径。目前制造SOI晶圆的方法主要有两种:一是注氧隔离法,另一种是智能剥离法,注氧隔离法是采用大束流专用氧离子注入机把氧离子注入到硅晶圆中,然后在惰性气体中进行不小于1300℃高温退火,从而在硅晶圆顶部形成厚度均匀的极薄表面硅层和Sio2埋层。这两种方法的优点是硅薄层和Sio2埋层的厚度可精确控制,缺点在于由于氧注入会引起对硅晶格的破坏,导致硅薄层缺陷密度增高。在这两种方法中,若晶圆切割时不进行固定,则容易产生飞料、背崩的问题,而且产品切割后也不容易拾取。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提出一种适用于半导体制作的保护膜及其制作方法,旨在解决晶圆在切割时的固定问题。为实现上述目的,本专利技术提出一种晶圆高温保护膜胶带,用于晶圆的切割工艺,其为一面为聚酰亚胺膜,另一面为溶剂型丙烯酸酯胶黏剂及其共聚交联剂形成的胶粘剂层。本专利技术应用于半导体的切割工艺或光学和电气设备制造工艺中,其固定工件的作用,可保障保护产品切割后的完整,防止产品在切割过程中发生飞料、背崩;而且产品切割后容易拾取,不残胶。根据本专利技术的晶圆高温保护膜胶带,本专利技术还提出一种加工所述晶圆高温保护膜胶带的方法,其包括如下步骤:步骤一:胶水准备,将溶剂 ...
【技术保护点】
一种晶圆高温保护膜胶带,其特征在于:其为一面为聚酰亚胺膜,另一面为溶剂型丙烯酸酯胶黏剂及其共聚交联剂形成的胶粘剂层。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆高温保护膜胶带,其特征在于:其为一面为聚酰亚胺膜,另一面为溶剂型丙烯酸酯胶黏剂及其共聚交联剂形成的胶粘剂层。2.一种加工权利要求1所述的晶圆高温保护膜胶带的方法,其特征在于:其包括如下步骤:步骤一:胶水准备,将溶剂型丙烯酸酯胶黏剂及其共聚交联剂进行混合搅拌,搅拌量为每次40-60KG,搅拌完成后静置20min待用,并且2小时内用完;步骤二:装好逗号刮刀式涂布机的料槽、挡板;把聚酰亚胺膜从放卷装置料;将搅拌好的胶水材料经过400目筛网过滤导入所述料槽中,并保持料槽七分满;步骤三:在烤箱及涂布设备控制器上设定涂布温度、风量、速比、涂布张力、速度;步骤四:试涂,试涂两段聚酰亚胺膜,长度分别为5M-7M;采用所述烤箱烘干并检验涂长、涂宽、间隙、厚度;步骤五:正式涂布,试涂合格开始正式涂布,所述放卷装置中...
【专利技术属性】
技术研发人员:易治权,
申请(专利权)人:东莞市吉晨胶粘制品有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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