一种用于真空玻璃元件的清洗检测系统技术方案

本发明专利技术公布了一种用于真空玻璃元件的清洗检测系统，包括电极板本体，电极板本体具有一定的厚度，在电极板本体内部开设有循环管路，在电极板本体上安装有与循环管路连通的管接头。本发明专利技术采用板状的电极，其表面均匀平稳，放电过程中可以形成均匀的电场，避免出现部分位置电场叠加的问题，彻底解决了现有的栅板电极存在的放电不均匀的问题，使得产品的蚀刻较为均匀，其内部设置的循环管路用于冷却水的流通，从而进行降温，循环管路的开口上安装有接头，便于与外部的冷却循环系统进行连接。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空玻璃元件的清洗检测系统
本专利技术涉及印刷电路板PCB的清洗加工工艺领域，具体是指一种用于真空玻璃元件的清洗检测系统。
技术介绍
在印刷电路板PCB行业，清洗是包括任何与去除污染物有关的关键工艺，随着微电子工艺的发展，传统的湿法清洗越来越受到局限，对高厚径比板、高频板、刚柔板等的处理已经达不到新的工艺要求，而干法清洗能够满足新的要求，并避免湿法清洗带来的环境污染，同时生产率也大大提高，等离子清洗就是方便、高效、优质的干法清洗技术。等离子清洗器(PlasmaCleaner)也叫等离子清洗机、等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗属于干法清洗，采用气相化学法去除材料表面污染物。气相化学法主要有热氧化法和等离子清洗法等，清洗过程就是将热化学气体或等离子态反应气体导入反应室，反应气体与需处理的PCB板表面发生化学反应生成易挥发性反应产物被真空抽去。等离子清洗原理与超声波原理不同，当舱体里接近真空状态时，开启等离子发生电源，这时气体分子电离，产生等离子体，并且伴随辉光放电现象，等离子体在电场下加速，从而在电场作用下高速运动，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空玻璃元件的清洗检测系统，其特征在于：包括电极板本体（1），电极板本体（1）具有一定的厚度，在电极板本体（1）内部开设有循环管路，在电极板本体（1）上安装有与循环管路连通的管接头（2）。

【技术特征摘要】
1.一种用于真空玻璃元件的清洗检测系统，其特征在于：包括电极板本体（1），电极板本体（1）具有一定的厚度，在电极板本体（1）内部开设有循环管路，在电极板本体（1）上安装有与循环管路连通的管接头（2）。2.根据权利要求1所述的一种用于真空玻璃元件的清洗检测系统，其特征在于：所述的循环管路包括开设在电极板本体（1）内部相互垂直的多条横向管道（3）、纵向管道（4）、以及安装在横...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘青，
申请(专利权)人：重庆留鑫玻璃钢制品厂，
类型：发明
国别省市：重庆,50