一种清洁口金模块的磨具制造技术

本发明专利技术公开一种清洁口金模块的磨具，其中，所述磨具包括：本体；能测定所述清洁口金模块角度的角度测试器，所述角度测试器凸设于所述本体上，且能在所述本体内上下移动。本发明专利技术的磨具结构简单，可以实现解决直接用口金测试清洁口金模块角度和高度时造成的刮坏口金表面及撞坏口金头的问题，本发明专利技术的磨具可通过调整参数，来达到需要的角度，保证其精密性，又可解决直接用口金测试刮坏口金表面及撞坏口金头，又可针对不同改进型清洁口金模块对应不同角度校正问题；同时本发明专利技术的磨具可通过调整参数，来达到需要的高度，可精确到0.01mm，保证校正时高度的精密性，同样可防止校正时刮坏口金表面及撞坏口金头。

【技术实现步骤摘要】
一种清洁口金模块的磨具
本专利技术涉及一种磨具，特别涉及一种清洁口金模块的磨具。
技术介绍
涂料器(Coater)为彩膜基板(CF)制程中的重要设备之一，主要功能为涂布成膜，并在成膜后利用真空干燥抽除光阻中70％成分的溶剂，保证成膜稳定性。涂料器主要构成部分为门架(Gantry)传动机构(含喷嘴(Nozzle))、真空台(VaccumStage)、托盘单元(TrayUnit)、喷湿单元(Wetunit)和其他控制单元。喷嘴为涂料器最重要部品，作用为均匀地涂布光阻，保证涂膜质量，而清洁口金模块(rubber)的作用即为刮拭干净喷嘴口金。在安装清洁口金模块时，因安装手法问题，出现了安装角度、高度细微差别，而人又无法明确判断，这就会导致后续生产的基板出现严重的裂缝不均匀(slitmura)，导致产品报废，而且安装过程中，容易刮坏口金表面及撞坏口金头。为避免在安装过程中避免刮坏口金表面及撞坏口金头，有必要提出一种能够测定清洁口金模块的角度和高度的磨具。
技术实现思路
本专利技术的清洁口金模块的磨具能够实现解决直接用口金测试刮坏口金表面及撞坏口金头的问题，又可针对不同改进型清洁口金模块对应不同角度校对(teaching)问题，同时能够测定清洁口金模块的高度，从而实现防止校对时刮坏口金表面及撞坏口金头的目的。为实现上述目的，本专利技术的清洁口金模块的磨具，其特征在于，所述磨具包括：本体；能测定所述清洁口金模块角度的角度测试器，所述角度测试器凸设于所述本体上，且能在所述本体内上下移动。如上所述的磨具，其中，所述角度测试器设于所述本体的下方，所述本体的下方设有两个对称设置的角度测试器。下方设有两个对称设置的角度测试器。如上所述的磨具，其中，所述角度测试器的纵截面的形状为三角形。如上所述的磨具，其中，所述本体的纵截面的形状为矩形。如上所述的磨具，其中，所述三角形的一直角边沿水平方向设于所述本体内，所述三角形的另一直角边沿竖直方向凸设在所述本体上，所述另一直角边在所述本体内上下移动。如上所述的磨具，其中，所述磨具与控制系统相接。如上所述的磨具，其中，所述控制系统能够调整所述角度测试器凸出所述本体的高度。如上所述的磨具，其中，所述清洁口金模块包括模块本体和设于所述模块本体上方的模块斜部。如上所述的磨具，其中，所述模块斜部的纵截面的形状为三角形状，所述三角形状的一条直角边与所述模块本体的上表面相平行，所述三角形状的另一条直角边与所述模块本体的上表面相垂直。如上所述的磨具，其中，所述三角形的另一直角边与所述三角形的斜边形成第一夹角，所述三角形状的一条直角边与所述三角形状的斜边形成第二夹角，所述第一夹角和所述第二夹角互余。本专利技术的清洁口金模块的磨具结构简单，通过控制系统调整磨具的参数，来达到需要的角度和高度，从而能够实现对清洁口金模块的定高和定角的目的，从而实现解决直接用口金测试刮坏口金表面及撞坏口金头的问题的目的，即实现防止校对时刮坏口金表面及撞坏口金头的目的。附图说明在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本专利技术公开的范围。另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本专利技术的理解，并不是具体限定本专利技术各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本专利技术的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本专利技术。图1为本专利技术的清洁口金模块的磨具的主视图；图2为本专利技术的清洁口金模块的磨具的侧视图。具体实施方式结合附图和本专利技术具体实施方式的描述，能够更加清楚地了解本专利技术的细节。但是，在此描述的本专利技术的具体实施方式，仅用于解释本专利技术的目的，而不能以任何方式理解成是对本专利技术的限制。在本专利技术的教导下，技术人员可以构想基于本专利技术的任意可能的变形，这些都应被视为属于本专利技术的范围，下面将结合附图对本专利技术作进一步说明。图1至图2分别为本专利技术的清洁口金模块的磨具的主视图和清洁口金模块的磨具的侧视图。如图1和图2所示，本专利技术的磨具包括本体1和角度测试器2，其中，角度测试器2能够测定清洁口金模块(rubber)3的角度，角度测试器2凸设在本体1上，且角度测试器2能够在本体1内上下移动。通过角度测试器2来测定清洁口金模块3的角度，同时，角度测试器2上下移动，根据其凸出本体1外的高度h来测定清洁口金模块3的高度，从而解决不同改进型清洁口金模块所对应不同角度和高度校对问题。在一具体实施例中，角度测试器2凸设在本体1的下方，且本体1的下方设有两个对称设置的角度测试器2。如图1所示，在本专利技术中，具体的，本体1的纵截面的形状为矩形状，角度测试器2的纵截面的形状为三角形，三角形的一条直角边21沿水平方向设于本体1内，即直角边21设于本体1内且与本体1的底面相平行，三角形的另一条直角边22沿竖直方向凸设在本体1的底面上，即另一条直角边22与本体1的底面相垂直，且该直角边22在本体1内上下移动，该直角边22上下移动带动整个角度测试器2上下移动。进一步地，本专利技术的磨具与控制系统(图中未示出)相接，通过控制系统能够控制角度测试器2的上下移动过程，并能得到角度测试器2凸设于本体1外的高度h，从而实现解决高度校对问题，即实现解决直接用口金测试刮坏口金表面及撞坏口金头的问题，在一具体实施例中，本专利技术的磨具可通过控制系统来调整其高度h参数，来达到需要的高度h，高度h可精确到0.01mm，保证校对时高度的精密性，同样可防止校对时刮坏口金表面及撞坏口金头。在本专利技术中，清洁口金模块3包括模块本体31和设有模块本体31上方的模块斜部32，角度测试器2能够测定模块斜部32的角度，从而实现解决针对不同改进型清洁口金模块3对应不同模块斜部32的角度校对问题。具体的，模块斜部32的纵截面的形状同样为三角形状，该三角形状的一条直角边321与模块本体31的上表面相平行，该三角形状的另一条直角边322与模块本体31的上表面相垂直。在此实施例中，直角边22与三角形的斜边23形成第一夹角A，直角边321与三角形状的斜边323形成第二夹角B，且第一夹角A与第二夹角B互余，即第一夹角A与第二夹角B之和为90°。本专利技术的磨具的角度测试器2具有不同型号，每个型号的角度测试器2的第一夹角A的角度都不相同，通过第一夹角A来实现测定第二夹角B。在本专利技术中，角度测试器2与模块斜部32相配合，也即通过第一夹角A与第二夹角B互余来实现角度测试器2与模块斜部32相配合，本专利技术的磨具可通过更换不同型号的角度测试器2来实现调整其角度的参数，来达到需要的角度，保证其精密性，又可解决直接用口金测试刮坏口金表面及撞坏口金头的问题，又可解决针对不同改进型清洁口金模块所对应不同角度校对问题。本专利技术的磨具结构简单，可以实现解决直接用口金测试清洁口金模块的角度和高度时造成的刮坏口金表面及撞坏口金头的问题，本专利技术的磨具可通过调整参数，来达到需要的角度，保证其精密性，又可解决直接用口金测试刮坏口金表面及撞坏口金头，又可针对不同改进型清洁口金模块所对应不同角度校对问题；同时本专利技术的磨具可通过调整参数，来达到需要的高度h，可精确到0.01mm，保证校对时高度h的精密性，同样可防止校对时刮坏口金表面及撞坏口金头。上述技术方案只是本专利技术的一种实施方式，对于本领域内的技术人员而言，在本专利技术公开了应用方法和原理的基础上，很容易做本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洁口金模块的磨具，其特征在于，所述磨具包括：本体；能测定所述清洁口金模块角度的角度测试器，所述角度测试器凸设于所述本体上，且能在所述本体内上下移动。

【技术特征摘要】
1.一种清洁口金模块的磨具，其特征在于，所述磨具包括：本体；能测定所述清洁口金模块角度的角度测试器，所述角度测试器凸设于所述本体上，且能在所述本体内上下移动。2.如权利要求1所述的磨具，其特征在于，所述角度测试器设于所述本体的下方，所述本体的下方设有两个对称设置的角度测试器。3.如权利要求2所述的磨具，其特征在于，所述角度测试器的纵截面的形状为三角形。4.如权利要求1所述的磨具，其特征在于，所述本体的纵截面的形状为矩形。5.如权利要求3所述的磨具，其特征在于，所述三角形的一直角边沿水平方向设于所述本体内，所述三角形的另一直角边沿竖直方向凸设在所述本体上，所述另一直角边在所述本体内上下移动。6.如权利要求1至5中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈沈，年婷，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42