一种用于涂胶显影机的传感电路制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于涂胶显影机的传感电路，包括第一电阻R1至第七电阻R7、第一电容C1至第五电容C5、LED灯、可调电阻VR1、三极管PT1及运算放大器U1。本实用新型专利技术在该传感电路的发射端加入一个可调电阻，通过调节可调电阻的阻值，可以改变发射端输入电流的大小，从而改变侦测晶片的灵敏度，使其既可以侦测Si晶片，也可以侦测GaAs晶片，使现有设备资源得到充分利用。

Sensing circuit for gumming machine

The utility model provides a sensing circuit for gluing developing machine, which comprises a first resistor R1 to seventh R7, the first resistor capacitor C1 to fifth capacitor C5, LED lamp, adjustable resistor VR1, a triode PT1 and operational amplifier U1. The utility model is added in the circuit transmitting end of a variable resistor and the adjustable resistor, the transmitter can change the size of the input current, thus changing the sensitivity of detection chip, which can detect the Si chip, can also detect the GaAs chip, the existing equipment resources are fully utilized.

【技术实现步骤摘要】
一种用于涂胶显影机的传感电路
本技术涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种用于涂胶显影机的传感电路。
技术介绍
ACT8涂胶显影机用于光刻胶的涂胶工艺和晶片曝光后的显影工艺，在200~300mm晶片的生产市场中处于主流领域，其产量可以达到120片/每小时。在这个高集成度的设备内部有专门的机械手臂，对晶片在各个模块间进行快速、准确、稳定的传送。其中主手臂上设置有用于探测晶片的传感器，早期主要生产Si晶片，而Si晶片与GaAs晶片的材料特性不同，对LED光的反射和折射不同，因此主手臂上的传感器只能侦测Si晶片。要想侦测第三代半导体GaAs需要重新设计主手臂，这样造成了原有设备资源的浪费。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于涂胶显影机的传感电路，该方法可以很好地解决以上问题。为达到上述要求，本技术采取的技术方案是：提供一种用于涂胶显影机的传感电路，包括可调电阻模块、第二电阻R2至第七电阻R7、第一电容C1至第五电容C5、LED灯、三极管PT1及运算放大器U1；可调电阻模块的一端连接光源侦测电路控制板的P1接线端，另一端连接主机械手臂X方向控制板的J1接线端；主机械手臂X方向控制板的J1接线端分别连接电源、第二电阻R2一端、第四电容C4一端、第三电阻R3一端、第一电容C1一端、第七电阻R7一端及第六电阻R6一端；第二电阻R2另一端分别连接运算放大器U1的反相输入端、三极管PT1集电极及第三电容C3一端；三极管PT1发射极接地并分别连接第三电容C3另一端、第四电容C4另一端、第四电阻R4一端及第一电容C1另一端；第四电阻R4另一端分别连接第三电阻R3另一端、第五电阻R5一端及运算放大器U1同相输入端；运算放大器U1的输出端分别连接第七电阻R7另一端、第五电阻R5另一端及LED灯负极后作为输出端；LED灯的正极连接第六电阻R6另一端。与现有技术相比，本技术具有的优点是：该传感电路增加了一个可调电阻模块，通过调节可调电阻的阻值，可以改变发射端输入电流的大小，从而改变侦测晶片的灵敏度，使其既可以侦测Si晶片，也可以侦测GaAs晶片，使现有设备资源得到充分利用。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1为本技术的电路图。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图及具体实施例，对本申请作进一步地详细说明。为简单起见，以下描述中省略了本领域技术人员公知的某些技术特征。光源侦测电路控制板，起到提供传感电路的电压以及信号的功能。主机械手臂X方向控制板，起到处理X方向各信号电路，并实时对手臂X方向的移动进行处理和控制的功能。本技术提供一种用于涂胶显影机的传感电路，如图1所示，包括可调电阻模块、第二电阻R2至第七电阻R7、第一电容C1至第五电容C5、LED灯、三极管PT1及运算放大器U1；可调电阻模块的一端连接光源侦测电路控制板的P1接线端，另一端连接主机械手臂X方向控制板的J1接线端；主机械手臂X方向控制板的J1接线端分别连接电源、第二电阻R2一端、第四电容C4一端、第三电阻R3一端、第一电容C1一端、第七电阻R7一端及第六电阻R6一端；第二电阻R2另一端分别连接运算放大器U1的反相输入端、三极管PT1集电极及第三电容C3一端；三极管PT1发射极接地并分别连接第三电容C3另一端、第四电容C4另一端、第四电阻R4一端及第一电容C1另一端；第四电阻R4另一端分别连接第三电阻R3另一端、第五电阻R5一端及运算放大器U1同相输入端；运算放大器U1的输出端分别连接第七电阻R7另一端、第五电阻R5另一端及LED灯负极后作为输出端；LED灯的正极连接第六电阻R6另一端。可调电阻模块加在主机械手臂X方向控制板CN12端口的第一根信号线，此线颜色为红色，即在P1接线端与J1接线端的红色线上串联上可调电阻模块。可调电阻模块包括第一电阻R1和可调电阻VR1，可调电阻VR1的一端连接光源侦测电路控制板的P1接线端，另一端连接第一电阻R1一端，第一电阻R1另一端连接主机械手臂X方向控制板的J1接线端。在本实施例中可调电阻VR1的阻值为200Ω，第一电阻R1-第七电阻R7的阻值分别为50Ω、4.7kΩ、4.7kΩ、3.3kΩ、100kΩ、1kΩ、4.7kΩ，第一电容C1-第五电容C5分别为0.1μF、10μF、0.01μF、0.1μF、0.1μF。在使用时，调节可调电阻的具体步骤为：用万用表测试该传感电路的电压值和电流值并记录，手动将载有GaAs晶片的机械手臂移出，看机械手臂的传感器是否能探测出GaAs晶片，如不能，调整电阻值，使其灵敏度能够达到探测GaAs晶片的要求。以上所述实施例仅表示本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能理解为对本技术范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术保护范围。因此本技术的保护范围应该以所述权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于涂胶显影机的传感电路，其特征在于，包括可调电阻模块、第二电阻R2至第七电阻R7、第一电容C1至第五电容C5、LED灯、三极管PT1及运算放大器U1；可调电阻模块的一端连接光源侦测电路控制板的P1接线端，另一端连接主机械手臂X方向控制板的J1接线端；主机械手臂X方向控制板的J1接线端分别连接电源、第二电阻R2一端、第四电容C4一端、第三电阻R3一端、第一电容C1一端、第七电阻R7一端及第六电阻R6一端；第二电阻R2另一端分别连接运算放大器U1的反相输入端、三极管PT1集电极及第三电容C3一端；三极管PT1发射极接地并分别连接第三电容C3另一端、第四电容C4另一端、第四电阻R4一端及第一电容C1另一端；第四电阻R4另一端分别连接第三电阻R3另一端、第五电阻R5一端及运算放大器U1同相输入端；运算放大器U1的输出端分别连接第七电阻R7另一端、第五电阻R5另一端及LED灯负极后作为输出端；LED灯的正极连接第六电阻R6另一端。

【技术特征摘要】
1.一种用于涂胶显影机的传感电路，其特征在于，包括可调电阻模块、第二电阻R2至第七电阻R7、第一电容C1至第五电容C5、LED灯、三极管PT1及运算放大器U1；可调电阻模块的一端连接光源侦测电路控制板的P1接线端，另一端连接主机械手臂X方向控制板的J1接线端；主机械手臂X方向控制板的J1接线端分别连接电源、第二电阻R2一端、第四电容C4一端、第三电阻R3一端、第一电容C1一端、第七电阻R7一端及第六电阻R6一端；第二电阻R2另一端分别连接运算放大器U1的反相输入端、三极管PT1集电极及第三电容C3一端；三极管PT1发射极接地并分别连接第三电容C3另一端、第四电容C4另一端、第四电阻R4一端及第一电容C1另一端；第四电阻R4另一端分别连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷易东，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51